研究課題
基盤研究(C)
液晶ディスプレイに使用される材料の製造工程中における内部欠陥検出が問題になっている.薄膜はさらに薄く,光路長は短くなり,現在の複屈折位相差計測では検出限界を迎えた. また,可視域でのマルチカラー面内偏光情報も必要とされている.一般的には偏光顕微鏡が用いられるが,複屈折波長分散の定量計測,高空間分解能検出などは期待できない.そこで本研究では,薄肉ガラス基板,フィルム,樹脂,透明電極に代表される液晶ディスプレイ材料の高精度分光複屈折断層検出法を開発することを目的とする.