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窒化物半導体上ペロブスカイトナノ結晶塗布技術の開拓とマイクロLEDディスプレイ応用

研究課題

研究課題/領域番号 23K03936
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
審査区分 小区分21050:電気電子材料工学関連
研究機関山形大学

研究代表者

大音 隆男  山形大学, 大学院理工学研究科, 准教授 (20749931)

研究分担者 千葉 貴之  山形大学, 大学院有機材料システム研究科, 准教授 (20751811)
研究期間 (年度) 2023-04-01 – 2026-03-31
研究課題ステータス 交付 (2024年度)
配分額 *注記
4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円)
2025年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2024年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2023年度: 2,340千円 (直接経費: 1,800千円、間接経費: 540千円)
キーワードペロブスカイトナノ結晶 / 窒化物半導体 / マイクロLED / 金属ハライドペロブスカイト / InGaN / マイクロLEDディスプレイ
研究開始時の研究の概要

InGaN/GaN量子井戸からの青色発光を効率よく厚膜の金属ハライドペロブスカイトナノ結晶に吸収させる波長変換型のLEDデバイスプロセス技術を確立する.また,InGaN系の青色発光に加えて,高効率な赤色・緑色ペロブスカイトナノ結晶をインクジェット技術を用いて微小領域に塗り分けて同一基板上に一体集積化することで,マイクロLEDディスプレイパネルの原理実証をすることを目指して研究を推進する.

研究実績の概要

超スマート社会の実現には,超小型で高精細なディスプレイ技術が必要不可欠である.窒化物半導体InGaNは化学的に安定であり,In組成の変化で可視光全域をカバーできるため,次世代のディスプレイを実現するための材料として期待されているが,原理的に赤色の発光効率が低く,新たなブレークスルーが求められている.そこで,InGaN系の赤色領域に関する問題を回避し,InGaN系青色LED上に金属ハライドペロブスカイトナノ結晶を厚く塗布した波長変換型の高効率緑色・赤色LEDを開拓し,マイクロLEDでディスプレイに向けたフルカラーデバイスを達成することを目的として,研究を推進した.

1) 光照射下における赤色ペロブスカイトナノ結晶の劣化抑制
CsPbI3ナノ結晶とその周囲のポリマー樹脂はどちらも熱伝導率が低い材料であるため,温度が上昇した際に放熱することが難しい.そこで,青色LED上CsPbI3ナノ結晶の素子温度を一定に保ち,励起光強度を一定にした条件下でナノ結晶の安定性を評価し,劣化メカニズムを解析した.熱の影響を抑制することで,10倍以上のデバイス半減寿命を達成した.
2) 波長変換型緑色LEDの原理実証とフルカラーデバイス応用
ペロブスカイトナノ結晶(CsPbBr3)を用いた波長変換型緑色LEDの試作を行い,デバイス特性を評価した.InGaN系青色LED上にポリマー分散した緑色発光CsPbI3ナノ結晶膜を接着して,緑色に発光する様子を確認し,波長変換の原理実証に成功した.発光効率・発光特性を詳細に評価して,20%以上の外部量子効率,500時間以上のデバイス半減寿命が得られ,高い発光効率と安定性を備えた緑色LEDを実現した.さらに,光の三原色(RGB)が達成できたため,これらを組み合わせることにより,フルカラーLED(ディスプレイの1ピクセル)の作製にも成功した.

現在までの達成度
現在までの達成度

2: おおむね順調に進展している

理由

InGaNもペロブスカイトも可視LEDの材料として魅力的であるが,どちらもそれぞれの材料的な壁に直面しており,超スマート社会に向けた次世代ディスプレイの開発には新たなブレークスルーが必要である.本研究では,これらの問題を解決するために,InGaN系青色LEDとペロブスカイトナノ結晶を組み合わせることで,お互いの欠点を補い合った有機・無機ハイブリッド型のLEDを提案して研究を推進した.CsPbBr3, CsPbI3ナノ結晶を用いた波長変換型緑色・赤色LEDの作製に成功し,電流注入型LEDよりも長いデバイス半減寿命及びディスプレイ規格HDRを超える輝度を達成して,光の三原色(RGB)のすべてのLEDの作製に成功した.この成果により,フルカラーデバイス応用への道が拓け,一体集積化によるマイクロLEDディスプレイに繋がる結果が得られたと考えている.さらに,ペロブスカイトナノ結晶で問題となっているデバイス寿命に関しても熱の影響を取り除くことで大幅に長くできることを示した.
以上の結果から,本研究はおおむね順調に進展していると判断した.

今後の研究の推進方策

1) 青色LED基板上の緑・赤色ペロブスカイトナノ結晶の集積化
今年度に得られた技術をマイクロLEDディスプレイパネルに応用するために,青色LED基板上に緑・赤色ペロブスカイトナノ結晶を領域を変化させて塗布し,同一基板上にRGBを集積化したLED構造を作製する.窒化物半導体の表面を有機溶剤や不活性かつ透明な高分子層をコートすることで表面改質を実施すると同時に,発光が別のピクセルに漏れ出さないように,光吸収用インクの成膜を検討する.ペロブスカイトナノ結晶の劣化を抑制するため,樹脂等の透明な絶縁性の封止材でコーティングを実施して酸素や水分との反応を抑制し,熱の影響も取り除くようなデバイス構造を提案する.
2) 発光効率・デバイス寿命の向上技術の開拓
本研究で20%以上の外部量子効率,数百時間のデバイス半減寿命を実現したが,これらの値をさらに上げていく必要性がある.光照射下におけるペロブスカイトナノ結晶の劣化メカニズムを明らかにすることが重要である.そこで,膜厚を薄くしながら波長変換する技術を開拓して光取り出し効率を向上させると同時に熱の蓄積を抑制して,高効率かつ安定性の高い波長変換型LEDの開拓に繋げたい.

報告書

(2件)
  • 2024 実施状況報告書
  • 2023 実施状況報告書
  • 研究成果

    (43件)

すべて 2024 2023 その他

すべて 雑誌論文 (6件) (うち査読あり 4件、 オープンアクセス 2件) 学会発表 (35件) (うち国際学会 9件、 招待講演 4件) 備考 (2件)

  • [雑誌論文] Highly stable and bright CsPbI3 nanocrystal red emitters based on color-conversion from InGaN-based blue light-emitting diodes2024

    • 著者名/発表者名
      Yokota Daisuke、Abe Haruka、Saito Shingo、Yanagihashi Kento、Chiba Takayuki、Oto Takao
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 125 号: 13 ページ: 133502-133502

    • DOI

      10.1063/5.0227291

    • 関連する報告書
      2024 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Room temperature optical coupling of neodymium ions to photonic crystal L3 cavity in gallium nitride semiconductor2024

    • 著者名/発表者名
      Sato Shin-ichiro、Oto Takao
    • 雑誌名

      Applied Physics Express

      巻: 17 号: 7 ページ: 072001-072001

    • DOI

      10.35848/1882-0786/ad5bbd

    • 関連する報告書
      2024 実施状況報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] マイクロLED(μLED)ディスプレイに向けたInGaN/GaNナノコラムの進展2024

    • 著者名/発表者名
      岸野 克巳、富樫 理恵、大音 隆男
    • 雑誌名

      日本結晶成長学会誌

      巻: 51 号: 2 ページ: n/a

    • DOI

      10.19009/jjacg.51-2-02

    • ISSN
      0385-6275, 2187-8366
    • 関連する報告書
      2024 実施状況報告書
  • [雑誌論文] InGaN系ナノピラーにおける歪緩和と表面再結合2024

    • 著者名/発表者名
      大音隆男、小菅駿也、相川健喜、倉邉海史、菊池昭彦
    • 雑誌名

      信学技報

      巻: 124 ページ: 9-12

    • 関連する報告書
      2024 実施状況報告書
  • [雑誌論文] Plasmonic red-light-emission enhancement by honeycomb-latticed InGaN/GaN ordered fine nanocolumn arrays2023

    • 著者名/発表者名
      Oto Takao、Aihara Aoto、Motoyama Kai、Ishizawa Shunsuke、Okamoto Koichi、Togashi Rie、Kishino Katsumi
    • 雑誌名

      Applied Physics Express

      巻: 16 号: 11 ページ: 115001-115001

    • DOI

      10.35848/1882-0786/ad0653

    • 関連する報告書
      2023 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Guanidium iodide treatment of size-controlled CsPbI3 quantum dots for stable crystal phase and highly efficient red LEDs2023

    • 著者名/発表者名
      Ebe Hinako、Suzuki Rikuo、Sumikoshi Shunsuke、Uwano Mizuho、Moriyama Reine、Yokota Daisuke、Otaki Mahiro、Enomoto Kazushi、Oto Takao、Chiba Takayuki、Kido Junji
    • 雑誌名

      Chemical Engineering Journal

      巻: 471 ページ: 144578-144578

    • DOI

      10.1016/j.cej.2023.144578

    • 関連する報告書
      2023 実施状況報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [学会発表] Optical coupling with nanostructures to enhance photon emissions from Lanthanoid ions implanted in GaN2024

    • 著者名/発表者名
      S. Sato, T. Oto, S. Li, A.D. Greentree, M. Deki, T. Nishimura, H. Watanabe, S. Nitta, Y. Honda, H. Amano, B.C. Gibson, and T. Ohshima
    • 学会等名
      IWSQMD2024
    • 関連する報告書
      2024 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] CsPbI3 Perovskite Nanocrystals Thick Films for LEDs and Photodetector Applications2024

    • 著者名/発表者名
      H. Abe, D. Yokota, K. Yanagihashi, T. Oto, and T. Chiba
    • 学会等名
      A-COE 2024
    • 関連する報告書
      2024 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Improvement of Emission Efficiency and Optical Functionality for Visible Light Region by Designing InGaN-based Periodic Nanostructures2024

    • 著者名/発表者名
      T. Oto, K. Okamoto, R. Togashi, A. Kikuchi, and K. Kishino
    • 学会等名
      APWS2024
    • 関連する報告書
      2024 実施状況報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Temperature Dependence of Electron-Phonon Coupling in Heterostructure Nanoparticles2024

    • 著者名/発表者名
      S. Nakano, Y. Ito, M. Ono, K. Fujiwara, T. Katayama, and T. Oto, T. Chiba, and H. Gonome
    • 学会等名
      NanoRad 2024
    • 関連する報告書
      2024 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 波長変換技術を用いた高輝度・長寿命緑色CsPbBr3ナノ結晶LEDの開発2024

    • 著者名/発表者名
      横田大輔, 柳橋健人, 齋藤心護, 阿部遥, 上條蓮, 千葉貴之, 大音隆男
    • 学会等名
      第72回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2024 実施状況報告書
  • [学会発表] 青色発光InGaN/GaNナノピラーの表面再結合とキャリアダイナミクス2024

    • 著者名/発表者名
      小菅駿也, 相川健喜, 倉邉海史, 菊池昭彦, 大音隆男
    • 学会等名
      第72回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2024 実施状況報告書
  • [学会発表] InGaN系ハニカムナノコラムプラズモニック結晶の電磁界モード解析とフォトニック/プラズモニックバンド間相互作用2024

    • 著者名/発表者名
      大塚 拓登, 白鳥遼磨, 山田純平, 岡本晃一, 富樫理恵, 岸野克巳, 大音隆男
    • 学会等名
      応用物理学会東北支部第79回学術講演会
    • 関連する報告書
      2024 実施状況報告書
  • [学会発表] InGaN系ナノピラーにおける歪緩和と表面再結合2024

    • 著者名/発表者名
      大音隆男, 小菅駿也, 相川健喜, 倉邉海史, 菊池昭彦
    • 学会等名
      電子情報通信学会レーザ・量子エレクトロニクス研究会
    • 関連する報告書
      2024 実施状況報告書
  • [学会発表] HEATE法で作製した 青色InGaNナノピラーのキャリアダイナミクス2024

    • 著者名/発表者名
      大音隆男, 小菅駿也, 相川健喜, 倉邊海史, 菊池昭彦
    • 学会等名
      第5回半導体ナノフォトニクス研究会
    • 関連する報告書
      2024 実施状況報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] 銀ナノ粒子を用いたCsPbI3ナノ結晶の青色光吸収の増大2024

    • 著者名/発表者名
      齋藤心護, 阿部遥, 横田大輔, 柳橋健人, 千葉貴之, 大音隆男
    • 学会等名
      第85回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2024 実施状況報告書
  • [学会発表] 波長変換技術を用いた高輝度赤色CsPbI3ナノ結晶LEDの開発2024

    • 著者名/発表者名
      横田大輔, 阿部遥, 齋藤心護, 柳橋健人, 千葉貴之, 大音隆男
    • 学会等名
      第85回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2024 実施状況報告書
  • [学会発表] InGaN系ハニカムナノコラムプラズモニック結晶におけるフォトニック/プラズモニックバンド間強結合による発光増強2024

    • 著者名/発表者名
      大塚拓登, 白鳥遼磨, 山田純平, 岡本晃一, 富樫理恵, 岸野克巳, 大音隆男
    • 学会等名
      第20回プラズモニクスシンポジウム
    • 関連する報告書
      2024 実施状況報告書
  • [学会発表] 青色InGaNナノピラーにおける表面再結合と発光効率の直径依存性2024

    • 著者名/発表者名
      小菅駿也, 相川健喜, 倉邉海史, 菊池昭彦, 大音隆男
    • 学会等名
      第16回ナノ構造エピタキシャル成長講演会
    • 関連する報告書
      2024 実施状況報告書
  • [学会発表] Red-emission enhancement from InGaN-based emitters using hybrid nanostructures2023

    • 著者名/発表者名
      T. Oto, T. Chiba, K. Okamoto, R. Togashi, and K. Kishino
    • 学会等名
      IHPP PAS Seminar on Nitride Semiconductors
    • 関連する報告書
      2023 実施状況報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Significant emission enhancement from InGaN/GaN nanocolumn arrays owing to strong coupling between photonic and plasmonic band states2023

    • 著者名/発表者名
      T. Oto, S. Hayakawa, K. Okamoto, R. Togashi, and K. Kishino
    • 学会等名
      ICNS-14
    • 関連する報告書
      2023 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Electron Dynamics Evaluation in Different Temperature Using Au/TiO2 and Au/SiO2 Nano Particles Dispersion2023

    • 著者名/発表者名
      S. Nakano, R. Hosokawa, Y. Ito, K. Fujiwara, T. Katayama, T. Oto, T. Chiba, and H. Gonome
    • 学会等名
      Twentieth International Conference on Flow Dynamics
    • 関連する報告書
      2023 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Transient absorption spectroscopy for evaluation of photothermal conversion in heterostructured nanoparticles2023

    • 著者名/発表者名
      H. Gonome, R. Hosokawa, T. Oto, T. Chiba, T. Katayama, and K. Fujiwara
    • 学会等名
      22nd ECTP
    • 関連する報告書
      2023 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Near-Infrared Photoluminescence of Neodymium Implanted Gallium Nitride Coupled to Photonic Crystal L3 Cavity2023

    • 著者名/発表者名
      S. Sato, and T. Oto
    • 学会等名
      REI-21
    • 関連する報告書
      2023 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] キラル型InGaN ナノピラーアレイの光学活性増強に関する検討2023

    • 著者名/発表者名
      浅井佑太, 相川健喜, 倉邉海史, 菊池昭彦, 大音隆男
    • 学会等名
      第71回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実施状況報告書
  • [学会発表] キラル型InGaNナノピラーアレイにおいて入射光の直線偏光角が旋光性に与える影響2023

    • 著者名/発表者名
      浅井佑太, 相川健喜, 倉邉海史, 菊池昭彦, 大音隆男
    • 学会等名
      令和6年東北地区若手研究者研究発表会
    • 関連する報告書
      2023 実施状況報告書
  • [学会発表] HEATE法で作製した青色/緑色InGaN ナノピラーにおけるナノ構造効果と光学特性2023

    • 著者名/発表者名
      小菅駿也, 相川健喜, 倉邉海史, 菊池昭彦, 大音隆男
    • 学会等名
      第78回応用物理学会東北支部学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実施状況報告書
  • [学会発表] 24GHz帯パッチアンテナアレイの設計・作製と評価2023

    • 著者名/発表者名
      王新龍, 右原祥希, 清岡和史, 秋元大輝, 柴田將史, 成田克, 大音隆男, 齊藤敦
    • 学会等名
      第78回応用物理学会東北支部学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実施状況報告書
  • [学会発表] 5GHz帯パッチアンテナアレイの設計と作製・評価2023

    • 著者名/発表者名
      秋元大輝, 清岡和史, 池津優紀, 柴田將史, 王新龍, 鈴木俊哉, 成田克, 大音隆男, 齊藤敦
    • 学会等名
      第78回応用物理学会東北支部学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実施状況報告書
  • [学会発表] MKIDsアレイの周波数特性の改善に向けたCPWの設計及び作製と評価2023

    • 著者名/発表者名
      鈴木俊哉, 小山八起, 須賀祐哉, 秋元大輝, 中島健介, 成田克, 大音隆男, 齊藤敦
    • 学会等名
      第78回応用物理学会東北支部学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実施状況報告書
  • [学会発表] InGaNナノコラムアレイのフォトニック/プラズモニックバンド強結合と発光増強特性2023

    • 著者名/発表者名
      大音隆男,早川将太朗,岡本晃一,富樫理恵,岸野克巳
    • 学会等名
      第4回半導体ナノフォトニクス研究会
    • 関連する報告書
      2023 実施状況報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] Au/TiO2及びAu/SiO2 ナノ粒子における電子ダイナミクスの温度依存性2023

    • 著者名/発表者名
      中野冴規, 細川竜冴, 伊藤雄太, 小野泉帆, 藤原翔, 片山哲郎, 大音隆男, 千葉貴之, 江目宏樹
    • 学会等名
      日本機械学会東北支部第59期秋期講演会
    • 関連する報告書
      2023 実施状況報告書
  • [学会発表] 青色InGaN/GaN量子井戸上ペロブスカイトナノ結晶の波長変換特性2023

    • 著者名/発表者名
      横田大輔, 阿部遥, 鈴木陸央, 斎藤心護, 千葉貴之, 大音隆男
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実施状況報告書
  • [学会発表] 銀プラズモニック結晶の導入によるハニカム格子InGaNナノコラムの赤色発光増強とその特性評価2023

    • 著者名/発表者名
      白鳥遼磨, 山田純平, 岡本晃一, 富樫理恵, 岸野克巳, 大音隆男
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実施状況報告書
  • [学会発表] 窒化ニオブ膜を用いた two-step MKIDs の作製プロセス2023

    • 著者名/発表者名
      小山八起, 鈴木俊哉, 川上彰, 須賀祐哉, 清岡和史, 中島健介, 成田克, 大音隆男, 齊藤敦
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実施状況報告書
  • [学会発表] 無線電力伝送用高温超伝導バルク共振器アレイアンテナの設計2023

    • 著者名/発表者名
      清岡和史, 秋元大輝, 池津優紀, 柴田將史, 小山八起, 成田克, 大音隆男, 齊藤敦
    • 学会等名
      第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実施状況報告書
  • [学会発表] HEATE法で作製した青色/緑色InGaNナノピラーにおける歪緩和効果と光学特性2023

    • 著者名/発表者名
      小菅駿也, 相川健喜, 倉邉海史, 菊池昭彦, 大音隆男
    • 学会等名
      第15回ナノ構造エピタキシャル成長講演会
    • 関連する報告書
      2023 実施状況報告書
  • [学会発表] 青色InGaN/GaN量子井戸上CsPbI3ナノ結晶の赤色波長変換特性2023

    • 著者名/発表者名
      横田大輔, 阿部遥, 鈴木陸央, 千葉貴之, 大音隆男
    • 学会等名
      第15回ナノ構造エピタキシャル成長講演会
    • 関連する報告書
      2023 実施状況報告書
  • [学会発表] 銀プラズモニック結晶を用いたハニカム格子InGaNナノコラムの発光増強評価2023

    • 著者名/発表者名
      白鳥遼磨, 山田純平, 岡本晃一, 富樫理恵, 岸野克巳, 大音隆男
    • 学会等名
      第15回ナノ構造エピタキシャル成長講演会
    • 関連する報告書
      2023 実施状況報告書
  • [学会発表] HEATE法によるInGaN系キラル型ナノピラーアレイの作製と旋光性評価2023

    • 著者名/発表者名
      浅井佑太, 相川健喜, 海史, 菊池昭彦, 大音隆男
    • 学会等名
      第15回ナノ構造エピタキシャル成長講演会
    • 関連する報告書
      2023 実施状況報告書
  • [学会発表] 積分球を用いた全方位顕微分光測定系によるInGaNナノコラムの外部量子効率の評価2023

    • 著者名/発表者名
      名取浩佑, 冨樫理恵, 岸野克巳, 大音隆男
    • 学会等名
      第15回ナノ構造エピタキシャル成長講演会
    • 関連する報告書
      2023 実施状況報告書
  • [備考] 大音研究室ホームページ

    • URL

      https://oto-lab.yz.yamagata-u.ac.jp/

    • 関連する報告書
      2024 実施状況報告書
  • [備考] 山形大学大音研究室HP

    • URL

      https://oto-lab.yz.yamagata-u.ac.jp/

    • 関連する報告書
      2023 実施状況報告書

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公開日: 2023-04-13   更新日: 2025-12-26  

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