研究課題
基盤研究(C)
社会インフラとして水素を利用するためには、様々な環境での水素検知が重要になる。水素検知には複数の方式があるが、半導体デバイスを用いる手法は動作温度、感度、応答・回復速度等の仕様において総合的に優れているため、多様な検出環境に対応できる。しかし、半導体デバイスが水素を検知する機構は、未だに解明されていない。本研究では、未だに不明な水素検知機構の解明を行うと同時に、得られた知見を活用して、窒化物半導体素子を用いた水素センサの界面構造を最適化することによって素子の高性能化を行う。