研究課題
基盤研究(C)
次世代3次元ロジック半導体の開発に代表されるように,デバイス性能に直結する数ナノメートル領域における組成を3次元かつ原子分解能で分析する必要がある。電界イオン顕微鏡(FIM)は,個々の表面原子を1つの輝点として観察できる比較的簡便な原子分解能顕微鏡である。理論的に各輝点の強度(イオン電流)は元素だけでなく,実際には電界強度や周辺の原子配列など複数の因子によって決定される。本研究では,FIM像で観察される個々の輝点の強度を深層学習に基づいた多元解析によって,各因子を推定するモデルを構築する。