高輝度放射光施設におけるナノ集光のための波面計測手法の開発

• 研究課題/領域番号: 23K11699
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 基金
• 応募区分: 一般
• 審査区分: 小区分80040:量子ビーム科学関連
• 研究機関: 東北大学
• 研究代表者: 吉田 純也 東北大学, 国際放射光イノベーション・スマート研究センター, 准教授 (60573186)
• 研究期間 (年度): 2023-04-01 – 2026-03-31
• 研究課題ステータス: 交付 (2023年度)
• 配分額: 4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円); 2025年度: 260千円 (直接経費: 200千円、間接経費: 60千円); 2024年度: 520千円 (直接経費: 400千円、間接経費: 120千円); 2023年度: 3,250千円 (直接経費: 2,500千円、間接経費: 750千円)
• キーワード: 放射光 / 波面計測

研究開始時の研究の概要

高輝度放射光施設の稼働により、X線を10nm以下の領域に集光する「ナノ集光」を基盤とした計測技術が発展する見込みである。X線をナノスケールまで集光するには、光の波面が整っている事が前提となるが、波面は光学素子表面の凹凸や熱変形によって歪む為、ナノ集光を安定的に実現するには波面計測を通じたビームラインの総合的理解が不可欠である。従来の波面計測手法としてタルボ干渉計法が挙げられるが、この手法は撮像ピクセルの周期誤差に敏感であり、系統誤差を排除するには高度な解析を要する。そこで本研究では、位相イメージング技術であるタイコグラフィ法を波面計測に応用し、系統誤差の少ない実用的な波面再構成法を開発する。