研究課題/領域番号 |
23K11705
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研究種目 |
基盤研究(C)
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配分区分 | 基金 |
応募区分 | 一般 |
審査区分 |
小区分80040:量子ビーム科学関連
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研究機関 | 兵庫県立大学 |
研究代表者 |
篭島 靖 兵庫県立大学, 理学研究科, 教授 (10224370)
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研究期間 (年度) |
2023-04-01 – 2026-03-31
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研究課題ステータス |
交付 (2023年度)
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配分額 *注記 |
4,550千円 (直接経費: 3,500千円、間接経費: 1,050千円)
2025年度: 520千円 (直接経費: 400千円、間接経費: 120千円)
2024年度: 3,900千円 (直接経費: 3,000千円、間接経費: 900千円)
2023年度: 130千円 (直接経費: 100千円、間接経費: 30千円)
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キーワード | X線顕微鏡 / 焦点深度 / 空間分解能 / コンピュータトモグラフィ |
研究開始時の研究の概要 |
微細実材料のオペランド非破壊観察には、X線顕微鏡コンピュータトモグラフィ(CT)による3次元構造の可視化が必須である。X線顕微鏡CTでは試料のサイズをレンズの焦点深度内に収める必要があるため深い焦点深度のX線光学素子は重要な開発要素であり、数年来空間分解能の劣化を抑えつつ焦点深度を拡張可能なX線顕微鏡用光学素子の研究に取り組んできた。これまでに逆位相コンポジットゾーンプレートを発案し,空間分解能の劣化を8%に留め焦点深度を2倍に拡大できる設計値を見出した。本研究では実際に逆位相コンポジットゾーンプレートを製作し、性能を実測し、実験により動作原理の実証を目指す。
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