5keV以上でX線を直入射集光するダイヤモンド製屈折レンズの開発

• 研究課題/領域番号: 23K11718
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 基金
• 応募区分: 一般
• 審査区分: 小区分80040:量子ビーム科学関連
• 研究機関: 公益財団法人高輝度光科学研究センター
• 研究代表者: 岡田 京子 公益財団法人高輝度光科学研究センター, 回折・散乱推進室, 研究員 (70399616)
• 研究分担者: 加藤 有香子 国立研究開発法人産業技術総合研究所, エネルギー・環境領域, 主任研究員 (90509837)
• 研究期間 (年度): 2023-04-01 – 2026-03-31
• 研究課題ステータス: 交付 (2023年度)
• 配分額: 4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円); 2025年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円); 2024年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円); 2023年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円)
• キーワード: 放射光 / X線 / ダイヤモンド / レーザー加工 / 集光素子

研究開始時の研究の概要

本研究では、「低エネルギーでも使え、～100nmφのX線を実現する直入射の高熱負荷の集光素子「ダイヤモンド製屈折レンズ（放物線凸型）」の開発を行う。さらに、この屈折レンズを用いて研究も行う。
ダイヤモンド製屈折レンズの実現に必要な「長直径～200um、短直径～100umの放物面穴の、ダイヤモンド基板への100um深さ以上の垂直穴加工」の深掘り技術は、グリーン波長のピコ秒パルスレーザーを工夫して用いれば可能である。そこで、8、25keV等用のダイヤモンド製屈折レンズを作製し、放射光施設SPring-8のX線を利用して集光性能評価を行い、より高性能の屈折レンズを開発する。