研究課題
挑戦的研究(萌芽)
量子効果が顕著に働く極薄膜材料では特異な低次元電子物性が多く発見されている。幅広い極薄膜材料に対して膜厚や組成比を変えることで新たな転移現象の発見と解明が期待できる。この考えに基づく転移機構の発見・解明のプロセス開発が課題の一つである。本研究では1つの薄膜の作製と評価に長時間を要するという問題を乗り越え、新たな転移機構を探索するため、極薄膜の広い領域においてシートキャリア特性を高い精度で決定するシートキャリアイメージングの実現を目的とする。具体的には、膜厚等に傾斜を持たせた極薄膜試料を超高真空下で搬送し、マイクロ多端子を用いて試料面内を微小領域に分割して電子輸送特性を評価する手法を開発する。