酸化物原子膜による革新的エピタキシー技術の創成

• 研究課題/領域番号: 23K17956
• 研究種目: 挑戦的研究(萌芽)
• 配分区分: 基金
• 審査区分: 中区分36:無機材料化学、エネルギー関連化学およびその関連分野
• 研究機関: 名古屋大学
• 研究代表者: 長田 実 名古屋大学, 未来材料・システム研究所, 教授 (10312258)
• 研究期間 (年度): 2023-06-30 – 2025-03-31
• 研究課題ステータス: 交付 (2023年度)
• 配分額: 6,500千円 (直接経費: 5,000千円、間接経費: 1,500千円); 2024年度: 2,860千円 (直接経費: 2,200千円、間接経費: 660千円); 2023年度: 3,640千円 (直接経費: 2,800千円、間接経費: 840千円)
• キーワード: ２次元材料 / 酸化物原子膜 / ボトムアップ合成 / エピタキシー技術

研究開始時の研究の概要

原子数個の厚みを有する原子膜（ナノシート）は、従来のバルク、薄膜とは異なる特異物性を発現する。原子膜は分子線エピタキシー等で実現する単原子層に相当しており、その構造、結晶化挙動の評価は薄膜成長、臨界物性の理解につながる普遍かつ重要な課題である。本研究では、従来、原子膜合成が困難である典型酸化物（TiO2, ZnO, BaTiO3など）を対象に、組成、構造、膜厚を精密に制御した原子膜の合成に挑戦し、先端構造解析により原子膜特有の特異構造、結晶化挙動の完全理解に迫る。さらに、原子膜を核とする薄膜成長、歪み超格子などへの展開を図り、酸化物原子膜をベースとする新しいエピタキシー技術の創成を目指す。