• 研究課題をさがす
  • 研究者をさがす
  • KAKENの使い方
  1. 前のページに戻る

圧電/磁性体薄膜の融合による広帯域MEMS振動発電素子

研究課題

研究課題/領域番号 23K20252
補助金の研究課題番号 20H02120 (2020-2023)
研究種目

基盤研究(B)

配分区分基金 (2024)
補助金 (2020-2023)
応募区分一般
審査区分 小区分20020:ロボティクスおよび知能機械システム関連
研究機関兵庫県立大学

研究代表者

神田 健介  兵庫県立大学, 工学研究科, 准教授 (20446735)

研究期間 (年度) 2020-04-01 – 2025-03-31
研究課題ステータス 交付 (2024年度)
配分額 *注記
17,680千円 (直接経費: 13,600千円、間接経費: 4,080千円)
2024年度: 2,470千円 (直接経費: 1,900千円、間接経費: 570千円)
2023年度: 2,470千円 (直接経費: 1,900千円、間接経費: 570千円)
2022年度: 2,470千円 (直接経費: 1,900千円、間接経費: 570千円)
2021年度: 2,600千円 (直接経費: 2,000千円、間接経費: 600千円)
2020年度: 7,670千円 (直接経費: 5,900千円、間接経費: 1,770千円)
キーワード圧電薄膜 / MEMS / エナジーハーベスティング / 無線電力伝送 / 磁石薄膜 / 振動発電素子 / 非線形効果 / 圧電 / 磁石 / 振動発電 / 非線形振動 / エナジーハーベスタ / 自律センサ / ハーベスタ / 半導体製造プロセス / 強誘電体 / 強磁性体 / 薄膜 / 微細加工 / 磁性体薄膜
研究開始時の研究の概要

本研究は磁石と圧電薄膜を融合させることにより,高効率・高出力な振動発電素子を実現させることを目的としている。電子部品のようなサイズの振動素子には機械電気エネルギ変換素子であるPZT薄膜と振動質量となる磁石が搭載されており,離れた位置から低周波磁場が印加されると素子が振動してPZT薄膜が電圧を生じる。すなわち,無線で電力を伝送させることが可能である。これを半導体プロセスで小型化し,センサ用電源として利用することを目指している。低周波磁場は人体への暴露制限が高いことや,間に遮蔽物があっても電力伝送が可能であるため,人体内に埋め込まれたセンサの電源にも利用可能である。

研究実績の概要

振動を入力とするMEMS発電素子の広帯域化を目的としている。具体的には薄膜磁石を用いた非線形振動を導入することを当初予定していた。MEMSプロセスとして,薄膜磁石と圧電薄膜をMEMS素子として融合させることに成功した。また,磁石をおもりとした素子への入力振動と磁場との相互作用,および圧電によるエネルギー変換の影響をモデル化し,集中定数系の等価回路を構築することによって計算することに成功した。一方で,構築したモデルを用いた計算の結果,作製に成功している薄膜磁石を用いたMEMSの系で振動発電素子の広帯域化を行うには,より大きな磁石膜厚が必要であることが明らかとなった。そのため視点を変え,同様の構造でより応用の幅が広い,外部磁場により遠隔で電力を伝送する無線電力伝送素子をターゲットとすることとした。今年度は4本のトーションバーにより振動の節を支持する,高振動性能指数の構造体を提案し,圧電薄膜と磁石を組み合わせた構造体をMEMS工程によって試作した。構造は外部コイルで与えられる低周波磁界によって構造体が共振し,圧電薄膜によって電力を受け取る構造となっている。評価の結果,2cm角程度のサイズの素子によってmWオーダの電力伝送が可能であることを実証した。

現在までの達成度 (区分)
現在までの達成度 (区分)

2: おおむね順調に進展している

理由

当初予定していた振動発電素子の広帯域化については,磁石薄膜と圧電薄膜を集積するMEMSプロセスを確立した一方で,等価回路モデルによる計算の結果,薄膜磁石では双安定状態を実現するような広帯域化が困難なことが明らかとなった。そのため,同様の構造でより応用の幅が広い無線電力伝送素子をターゲットに変更している。ターゲットを変更したものの,これまでのノウハウ・蓄積を利用して実際に素子を設計・試作を行い,mWオーダの電力伝送に成功しており,MEMS素子としては非常に大きなエネルギー伝送を実現した。以上のように方針を変更しつつ成果が出ており,概ね順調に研究が進展しているといえる状況である。

今後の研究の推進方策

前年度に試作した素子に関し,最適設計を行うことでよりエネルギ変換効率の高い構造を目指す。

報告書

(4件)
  • 2023 実績報告書
  • 2022 実績報告書
  • 2021 実績報告書
  • 2020 実績報告書
  • 研究成果

    (35件)

すべて 2024 2023 2022 2021

すべて 雑誌論文 (5件) (うち査読あり 3件) 学会発表 (28件) (うち国際学会 5件、 招待講演 6件) 図書 (2件)

  • [雑誌論文] 片持ちはり振動型エナジーハーベスタのための応力集中緩和構造2023

    • 著者名/発表者名
      Yokota Takahito、Kanda Kensuke、Fujita Takayuki、Maenaka Kazusuke
    • 雑誌名

      電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)

      巻: 143 号: 8 ページ: 256-261

    • DOI

      10.1541/ieejsmas.143.256

    • ISSN
      1341-8939, 1347-5525
    • 年月日
      2023-08-01
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [雑誌論文] 初期ひずみを持つMEMSダイアフラムにおける非線形周波数特性の簡易的予測2023

    • 著者名/発表者名
      Kanda Kensuke、Kajiyama Yoshitaka、Hirata Yoshiaki、Shimakura Yasuhisa、Fujita Takayuki、Maenaka Kazusuke
    • 雑誌名

      電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)

      巻: 143 号: 6 ページ: 137-142

    • DOI

      10.1541/ieejsmas.143.137

    • ISSN
      1341-8939, 1347-5525
    • 年月日
      2023-06-01
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Piezoelectric MEMS Energy Harvester from Airflow at Low Flow Velocities2022

    • 著者名/発表者名
      Kanda Kensuke、Aiba Takashi、Maenaka Kazusuke
    • 雑誌名

      Sensors and Materials

      巻: 34 号: 5 ページ: 1879

    • DOI

      10.18494/SAM3867

    • ISSN
      0914-4935, 2435-0869
    • 年月日
      2022-05-24
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [雑誌論文] 振動型MEMSエナジーハーベスタのための強磁性NdFeB・圧電PZTヘテロ集積2022

    • 著者名/発表者名
      Takeda Kohei、Shichiri Ai、Kanda Kensuke、Fujita Takayuki、Maenaka Kazusuke
    • 雑誌名

      電気学会論文誌E(センサ・マイクロマシン部門誌)

      巻: 142 号: 4 ページ: 56-62

    • DOI

      10.1541/ieejsmas.142.56

    • ISSN
      1341-8939, 1347-5525
    • 年月日
      2022-04-01
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Characteristics of Sputtered Lead Zirconate Titanate Thin Films With Different Layer Configurations and Large Thickness2021

    • 著者名/発表者名
      Kanda Kensuke、Koyama Tsukasa、Yoshimura Takeshi、Murakami Shinichi、Maenaka Kazusuke
    • 雑誌名

      IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control

      巻: 68 号: 5 ページ: 1988-1993

    • DOI

      10.1109/tuffc.2020.3039230

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] PZT薄膜の厚膜化によるエナジーハーベスタ2024

    • 著者名/発表者名
      神田健介
    • 学会等名
      電子セラミック・プロセス研究会第199回研究会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] 振動型MEMSハーベスタを用いた低周波磁界結合による無線電力伝送2024

    • 著者名/発表者名
      野村明弘,神田健介,藤田孝之,前中一介
    • 学会等名
      電気学会交通・電気鉄道/マイクロマシン・センサシステム合同研究会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] バタフライ形状を持つ圧電MEMS振動ハーベスタ2023

    • 著者名/発表者名
      野村明弘,神田健介,横田隆人,前中一介
    • 学会等名
      令和5年度電気学会E部門総合研究会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] 機械的弱結合によるハーベスタの出力向上とその等価回路モデル2023

    • 著者名/発表者名
      野村 明弘, 神田 健介, 前中 一介
    • 学会等名
      応用物理学会集積化MEMS技術研究会第15回集積化MEMS シンポジウム
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] 滴下衝突を利用した圧電MEMSエナジーハーベスタ2023

    • 著者名/発表者名
      成田裕樹,神田健介,前中一介
    • 学会等名
      令和5年度電気学会E部門総合研究会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] 落下液滴による圧電振動型ハーベスタ2023

    • 著者名/発表者名
      成田 裕樹, 神田 健介, 前中 一介
    • 学会等名
      応用物理学会集積化MEMS技術研究会第15回集積化MEMS シンポジウム
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] ハーモニカリード型MEMS 発電素子の反りが自励振動に及ぼす影響2023

    • 著者名/発表者名
      吉田 智郎, 志水 駿文, 神田 健介, 前中 一介
    • 学会等名
      第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] 固有値解析によるMEMS 構造での非線形周波数応答予測2023

    • 著者名/発表者名
      赤松 儀優, 神田 健介, 前中 一介
    • 学会等名
      第40回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] 共振振動による圧電MEMS触覚デバイス2023

    • 著者名/発表者名
      神田健介
    • 学会等名
      令和5年電気学会基礎・材料・共通部門大会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] 圧電薄膜の微細加工によるインピーダンス変換とMEMS応用2023

    • 著者名/発表者名
      神田健介
    • 学会等名
      第160回フロンティア材料研究所学術講演会/第27回未来技術研究所生体医歯工公開セミナー
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] MEMS CANTILEVERED ENERGY HARVESTER WITH TAPERED THICKNESS FOR STRESS CONTROL2023

    • 著者名/発表者名
      T. Yokota, K. Kanda, T. Fujita, K. Maenaka
    • 学会等名
      IEEE MEMS 2023
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] MEMS圧電薄膜による飛翔デバイスの試作2023

    • 著者名/発表者名
      田中雄樹, 神田健介, 前中一介
    • 学会等名
      令和5年度電気学会全国大会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] ハーモニカリード型MEMS発電素子の振動特性2023

    • 著者名/発表者名
      志水 駿文, 神田 健介, 前中 一介
    • 学会等名
      2023年応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] MEMS両持ちはりの共振特性2023

    • 著者名/発表者名
      赤松 儀優, 神田 健介, 前中 一介
    • 学会等名
      2023年応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] Mechanical and Process Design for Piezoelectric MEMS Energy Harvesters2022

    • 著者名/発表者名
      K. Kanda and K. Maenaka
    • 学会等名
      IWPMA 2022
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] THICKNESS CONTROL OF CANTILEVER BEAM FOR ROBUST AND HIGH-POWER MEMS ENERGY HARVESTER2022

    • 著者名/発表者名
      T. Yokota, K. Kanda, T. Fujita, K. Maenaka
    • 学会等名
      PowerMEMS 2022
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 自律センサのためのMEMSエナジーハーベスティング2022

    • 著者名/発表者名
      神田健介
    • 学会等名
      令和4年度電気関係学会関西連合大会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] 片持ちはり振動型エナジーハーベスタのためのマイクロローディング効果を利用した応力集中緩和構造2022

    • 著者名/発表者名
      横田隆人,神田健介,藤田孝之,前中一介
    • 学会等名
      第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] 初期ひずみを持つダイアフラム構造の非線形周波数特性の簡易的予測2022

    • 著者名/発表者名
      神田健介,梶山佳敬、平田善明,島倉泰久,藤田孝之,前中一介
    • 学会等名
      第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] ハーモニカリード型圧電MEMSによる気流からの振動発電2022

    • 著者名/発表者名
      神田健介,饗庭岳,前中一介
    • 学会等名
      弾性波素子コンソーシアム第7回研究会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] タイヤ固有振動で発電する圧電MEMSデバイス2022

    • 著者名/発表者名
      横田隆人,神田健介,藤田孝之,前中一介
    • 学会等名
      電気学会E部門総合研究会MSS研究会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] 風から発電する圧電MEMS振動発電素子2022

    • 著者名/発表者名
      神田健介,饗庭岳,前中一介
    • 学会等名
      電気学会E部門総合研究会MSS研究会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] タイヤトレッドの固有振動で発電する圧電MEMSデバイス2022

    • 著者名/発表者名
      横田隆人,前中一介,神田健介,藤田孝之
    • 学会等名
      応用物理学会第12回集積化MEMS技術研究ワークショップ
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] Piezoelectric MEMS Energy Harvesting from Tire Tread Acceleration2021

    • 著者名/発表者名
      T. Yokota, K. Maenaka, K. Kanda, T. Fujita
    • 学会等名
      8th Int. Workshop PiezoMEMS
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Piezoelectric MEMS Mirror for Endoscope and Its Driving Integrated Circuit2021

    • 著者名/発表者名
      R. Shimada, Y. Kitada, K. Kanda, T. Fujita, K. Maenaka
    • 学会等名
      8th Int. Workshop PiezoMEMS
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Si基板上における強磁性NdFeBと圧電PZTのヘテロ集積2021

    • 著者名/発表者名
      武田光平,七里愛,神田健介,藤田孝之,前中一介
    • 学会等名
      第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] タイヤ固有振動で発電する圧電MEMSデバイス2021

    • 著者名/発表者名
      横田隆人,前中一介,神田健介,藤田孝之
    • 学会等名
      第38回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] 多層PZT薄膜とその応用2021

    • 著者名/発表者名
      神田健介
    • 学会等名
      第11回集積化MEMSワークショップ
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 招待講演
  • [図書] VR/AR技術における感覚の提示、拡張技術と最新応用事例2021

    • 著者名/発表者名
      執筆者:64名、技術情報協会
    • 総ページ数
      576
    • 出版者
      技術情報協会
    • ISBN
      9784861048500
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [図書] Nanomagnetic Materials Fabrication, Characterization and Application2021

    • 著者名/発表者名
      Editors: Akinobu Yamaguchi, Atsufumi Hirohata, Bethanie Stadler
    • 総ページ数
      812
    • 出版者
      Elsevier
    • ISBN
      9780128223499
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書

URL: 

公開日: 2020-04-28   更新日: 2024-12-25  

サービス概要 検索マニュアル よくある質問 お知らせ 利用規程 科研費による研究の帰属

Powered by NII kakenhi