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ナノメートルの分解能で元素分布を調べるナノ元素顕微鏡の開発

研究課題

研究課題/領域番号 23K20405
補助金の研究課題番号 20H04450 (2020-2023)
研究種目

基盤研究(B)

配分区分基金 (2024)
補助金 (2020-2023)
応募区分一般
審査区分 小区分80040:量子ビーム科学関連
研究機関東北大学

研究代表者

松山 成男  東北大学, 工学研究科, 教授 (70219525)

研究分担者 菊池 洋平  東北大学, 工学研究科, 准教授 (50359535)
加田 渉  東北大学, 工学研究科, 准教授 (60589117)
藤代 史  高知大学, 教育研究部自然科学系理工学部門, 准教授 (90546269)
神谷 富裕  群馬大学, 大学院理工学府, 教授 (70370385)
研究期間 (年度) 2020-04-01 – 2025-03-31
研究課題ステータス 交付 (2024年度)
配分額 *注記
16,900千円 (直接経費: 13,000千円、間接経費: 3,900千円)
2024年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
2023年度: 1,950千円 (直接経費: 1,500千円、間接経費: 450千円)
2022年度: 1,560千円 (直接経費: 1,200千円、間接経費: 360千円)
2021年度: 8,580千円 (直接経費: 6,600千円、間接経費: 1,980千円)
2020年度: 3,120千円 (直接経費: 2,400千円、間接経費: 720千円)
キーワードナノビーム / 全元素分析 / 自動集束 / ナノ原子顕微鏡 / イオンビーム発光分光 / IBIL / ERDA / マッピング / 焦点予測システム / マルチモーダル分析 / 元素分析 / ナノ元素顕微鏡
研究開始時の研究の概要

本研究では、イオンビームと物資との相互作用に注目し、イオンビームを数10nm程度にまで収束させ、その相互作用による発光(Ion beam induced luminescence, IBIL)、特性X線発生 (Particle Induced X-ray Emission, PIXE)、荷電粒子の散乱 (Rutherford BackScattering Spectroscopy, RBS)による二次放射線等を検出することにより、ナノ元素顕微鏡を実現しようとするものである。

研究実績の概要

本年度は、昨年度までに開発したマイクロ特性X線発生 (PIXE)/荷電粒子の散乱 (RBS)分析システムに組み合わせて、マルチモーダル化を図るべく、イオンビームとの相互作用による発光(IBIL)/水素原子の反跳ERDA分析システムの開発と、ナノビーム化の検討を図った。
IBILについては、高感度の分光器とCCDカメラを組み合わせており、場所ごとの蛍光スペクトルの測定が可能であったが、マッピングは不可能であった。そこで、シリコンフォトマルチプライヤー(SiPM)アレイをミラーを介して取り付け、場所ごとの高分解能での蛍光スペクトルの取得に加え、ミラーの切り替えにより蛍光スペクトルマッピングが初めて可能となった。SiPMは、CCDに比べて感度が低いため、集光システムの改良を図り、CCDの1/10程度までの感度を得ることができた。また、CCDに比べると、波長分解能が悪いものの、CCDでの測定と簡単に切り替えることができるため、問題にならないと考えられる。開発したシステムは、テレビで用いられてた3原色の蛍光体分析や、組織マーカとして予定しているYPO4Gd試料を用いて検証し、その成果は2023年10月に富山で開催されたIBA/PIXE2024で発表した。論文は現在査読中である。ERDA分析については、実験体系の最適化を行い、マッピングはできてないものの、定量性の確認を行った。その成果は同様に2023年10月に富山で開催されたIBA/PIXE2024で発表し、論文は査読中である。
ナノビーム化については、レンズの多連化を図り進めたものの、色収差、球面収差の影響がシミュレーションで予測したものよりも大きく、2連のレンズの方が有効であるとの結論に達し、2連のレンズを用いたでの最適化を進めた。

現在までの達成度 (区分)
現在までの達成度 (区分)

2: おおむね順調に進展している

理由

本年度で初めて、蛍光マッピングシステムが完成し、PIXE/RBS/RFSと組み合わせて、目指していたマルチモーダル分析システムの高度化に近づいた。ERDA法については、基礎要素の開発が進んでおり、これを組み合わせることにより、目的の一つである、元素と機能を見る顕微鏡は実現すると考えられる。分解能のナノ化については、多連化によるレンズの色収差、寄生収差の影響が大きく達成出来てないが、原因が分かってきたため、加速器電圧の変動とドリフト特性の向上を図ることに合わせて、影響の少ない2連化を進めることで達成出来ると考えられる。

今後の研究の推進方策

今年度は、2連のレンズシステムの最適化を図り、ナノビームを目指す。シミュレーション結果からは、色収差、球面収差の影響は少ないと想定していたが、実験結果からは、影響は数倍高かった。これについては、加速器の電圧安定度、エネルギー分析システムの向上により低減し、多連化でのナノビーム化とともに、影響の少ない2連のレンズシステムについても検討を行い、最適なシステムでナノビーム化を図る。
これまでに開発したPIXE/RBS/IBILに加え、水素原子の反跳(ERDA)分析システムを組み込みこむ。そしてナノビームと組み合わせることにより、元素と機能を見るナノ顕微鏡を開発する。
開発後には、植物試料に発光体でマーキングを行い、植物の機能と元素のマッピングを行い、本システムの有効性を検討する。

報告書

(4件)
  • 2023 実績報告書
  • 2022 実績報告書
  • 2021 実績報告書
  • 2020 実績報告書
  • 研究成果

    (24件)

すべて 2023 2022 2021 2020

すべて 雑誌論文 (17件) (うち査読あり 16件、 オープンアクセス 10件) 学会発表 (7件) (うち国際学会 3件、 招待講演 3件)

  • [雑誌論文] One-dimensional position-sensitive detector for alpha particles using an outer-layer scintillating fiber2023

    • 著者名/発表者名
      Toyama Sho、Daiki Miura、Miwa Misako、Matsuyama Shigeo
    • 雑誌名

      Radiation Measurements

      巻: 169 ページ: 107027-107027

    • DOI

      10.1016/j.radmeas.2023.107027

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Current status of the Tohoku microbeam system at Tohoku University and other facilities2023

    • 著者名/発表者名
      Matsuyama Shigeo、Miwa Misako、Toyama Sho、Kamiya Tomihiro、Ishii Yasuyuki、Satoh Takahiro
    • 雑誌名

      Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms

      巻: 539 ページ: 79-88

    • DOI

      10.1016/j.nimb.2023.03.023

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Development of a focal guidance system for microbeam formation2023

    • 著者名/発表者名
      Shigeo Matsuyama, Misako Miwa, Sho Toyama, Tomihiro Kamiya
    • 雑誌名

      Nuclear Instruments and Methods in Physics Research

      巻: B 540 ページ: 158-167

    • DOI

      10.1016/j.nimb.2023.04.016

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Outer layer scintillating fiber for low-energy β-ray detection2022

    • 著者名/発表者名
      Toyama Sho、Matsuyama Shigeo、Miwa Misako、Akari Masashi、Fujita Katsuhiro
    • 雑誌名

      Review of Scientific Instruments

      巻: 93 号: 11 ページ: 113106-113106

    • DOI

      10.1063/5.0121557

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Features of accelerator-based neutron source for boron neutron capture therapy calculated by particle and heavy ion transport code system (PHITS)2022

    • 著者名/発表者名
      Matsuya Yusuke、Kusumoto Tamon、Yachi Yoshie、Hirata Yuho、Miwa Misako、Ishikawa Masayori、Date Hiroyuki、Iwamoto Yosuke、Matsuyama Shigeo、Fukunaga Hisanori
    • 雑誌名

      AIP Advances

      巻: 12 号: 2 ページ: 025013-025013

    • DOI

      10.1063/5.0077782

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] One-pot synthesis of silica-gel-based adsorbent with Schiff base group for the recovery of palladium ions from simulated high-level liquid waste2022

    • 著者名/発表者名
      Wu Hao、Kim Seong-Yun、Ito Tatsuya、Miwa Misako、Matsuyama Shigeo
    • 雑誌名

      Nuclear Engineering and Technology

      巻: 54 号: 10 ページ: 3641-3649

    • DOI

      10.1016/j.net.2022.04.024

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Recovery of cesium ions from seawater using a porous silica-based ionic liquid impregnated adsorbent2021

    • 著者名/発表者名
      Wu Hao、Kudo Tatsuya、Kim Seong-Yun、Miwa Misako、Matsuyama Shigeo
    • 雑誌名

      Nuclear Engineering and Technology

      巻: 54 号: 5 ページ: 1-9

    • DOI

      10.1016/j.net.2021.10.026

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Synergistic adsorption behavior of a silica-based adsorbent toward palladium, molybdenum, and zirconium from simulated high-level liquid waste2021

    • 著者名/発表者名
      Wu Hao、Kim Seong-Yun、Miwa Misako、Matsuyama Shigeo
    • 雑誌名

      Journal of Hazardous Materials

      巻: 411 ページ: 125136-125136

    • DOI

      10.1016/j.jhazmat.2021.125136

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Neutron yield calculation of thin and thick d-D targets by using PHITS with frag data table2021

    • 著者名/発表者名
      Nishitani Takeo、Yoshihashi Sachiko、Ogawa Kunihiro、Miwa Misako、Matsuyama Shigeo、Uritani Akira
    • 雑誌名

      Journal of Nuclear Science and Technology

      巻: 59 号: 4 ページ: 534-541

    • DOI

      10.1080/00223131.2021.1981475

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Neutron energy spectrum measurement using CLYC7-based compact neutron emission spectrometer in the Large Helical Device2021

    • 著者名/発表者名
      Sangaroon S.、Ogawa K.、Isobe M.、Kobayashi M.I.、Fujiwara Y.、Kamio S.、Yamaguchi H.、Seki R.、Nuga H.、Toyama S.、Miwa M.、Matsuyama S.、Takada E.、Murakami S.、Zhong G.Q.、Osakabe M.
    • 雑誌名

      Journal of Instrumentation

      巻: 16 号: 12 ページ: C12025-C12025

    • DOI

      10.1088/1748-0221/16/12/c12025

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] マイクロイオンビーム自動集束システムの開発2021

    • 著者名/発表者名
      松山 成男
    • 雑誌名

      応用物理学会放射線分科会誌「放射線」

      巻: 47-1 ページ: 27-34

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [雑誌論文] Automation of multi-modal beam focusing of an MeV sub-microprobe for ion beam analysis2021

    • 著者名/発表者名
      Matsuyama Shigeo、Miwa Misako、Kada Wataru、Kitayama Yoshiharu、Toyama Sho、Kikuchi Yohei、Numao Kazuya、Takai Yuta、Sato Yuta、Seki Daiki、Kasahara Kazuto
    • 雑誌名

      Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms

      巻: 496 ページ: 1-8

    • DOI

      10.1016/j.nimb.2021.03.008

    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Application of μRBS/ERDA system in microstructured devices2021

    • 著者名/発表者名
      Saito M.、Hayashi Y.、Kosaka S.、Yahiro J.、Miwa M.、Toyama S.、Matsuyama S.
    • 雑誌名

      Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms

      巻: 492 ページ: 23-28

    • DOI

      10.1016/j.nimb.2021.01.017

    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Neutron-induced signal on the single crystal chemical vapor deposition diamond-based neutral particle analyzer2020

    • 著者名/発表者名
      Kamio S.、Fujiwara Y.、Ogawa K.、Kobayashi M. I.、Sangaroon S.、Isobe M.、Seki R.、Nuga H.、Osakabe M.、Matsuyama S.、Miwa M.、Toyama S.
    • 雑誌名

      Review of Scientific Instruments

      巻: 91 号: 11 ページ: 113304-113304

    • DOI

      10.1063/5.0020460

    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Development of 3D imaging systems using ion microbeams2020

    • 著者名/発表者名
      Matsuyama Shigeo、Hatakeyama Taisuke、Arai Hirotsugu、Kikuchi Yohei、Miwa Misako、Toyama Sho
    • 雑誌名

      Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms

      巻: 482 ページ: 31-36

    • DOI

      10.1016/j.nimb.2020.08.020

    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Effect of non-uniform proton irradiation on the critical current of REBCO tapes2020

    • 著者名/発表者名
      Yamamoto H、Ito S、Miwa M、Matsuyama S、Hashizume H
    • 雑誌名

      Journal of Physics: Conference Series

      巻: 1559 号: 1 ページ: 012045-012045

    • DOI

      10.1088/1742-6596/1559/1/012045

    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Evaluation for gamma-ray rejection ability affecting neutron discrimination property in scintillating-fiber type of fast neutron detector2020

    • 著者名/発表者名
      Pu Neng、Nishitani Takeo、Isobe Mitsutaka、Ogawa Kunihiro、Matsuyama Shigeo、Miwa Misako
    • 雑誌名

      Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section A: Accelerators, Spectrometers, Detectors and Associated Equipment

      巻: 969 ページ: 164000-164000

    • DOI

      10.1016/j.nima.2020.164000

    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [学会発表] 東北大学ダイナミトロン加速器の現状20222023

    • 著者名/発表者名
      松山成男、三輪美沙子、遠山翔
    • 学会等名
      第35 回タンデム加速器及びその周辺技術の研究会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] Experimental investigation on UV light output of YPO4:Gd particles for ion beam induced fluorescent microscopy2023

    • 著者名/発表者名
      Yohei Kikuchi, Shigeo, Shun Kawamura, Fumito Fujishiro, Misako Miwa and Sho Toyama
    • 学会等名
      IBA & PIXE 2023
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] Present Status of Tohoku Microbeam System2022

    • 著者名/発表者名
      Shigeo Matsuyama, Misako Miwa, Sho Toyma
    • 学会等名
      ICNMATa2022 18th INTERNATIONAL CONFERENCE ON NUCLEAR MICROPROBE TECHNOLOGY AND APPLICATIONS
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Development of focal Guide System for Microbeam formation2022

    • 著者名/発表者名
      Shigeo Matsuyama, Misako Miwa, Sho Toyma, Tomihiro Kamiya
    • 学会等名
      ICNMATa2022 18th INTERNATIONAL CONFERENCE ON NUCLEAR MICROPROBE TECHNOLOGY AND APPLICATIONS
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Development of High Voltage Stabilization System for Nanobeam Analisys2022

    • 著者名/発表者名
      Misako Miwa, Shigeo Matsuyama, Sho Toyama, Yuta Sato, Yohei Kikuchi
    • 学会等名
      ICNMATa2022 18th INTERNATIONAL CONFERENCE ON NUCLEAR MICROPROBE TECHNOLOGY AND APPLICATIONS
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] サブミクロンイオンビーム分析装置の開発と応用2021

    • 著者名/発表者名
      松山 成男、三輪 美沙子、遠山 翔、菊池 洋平
    • 学会等名
      応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] 3 次元元素イメージングシステムの開発2020

    • 著者名/発表者名
      松山 成男
    • 学会等名
      X線分析討論会
    • 関連する報告書
      2020 実績報告書
    • 招待講演

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公開日: 2020-04-28   更新日: 2024-12-25  

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