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エピタキシャルグラフェンを用いた高出力テラヘルツLEDの実現

研究課題

研究課題/領域番号 23K20960
補助金の研究課題番号 21H01394 (2021-2023)
研究種目

基盤研究(B)

配分区分基金 (2024)
補助金 (2021-2023)
応募区分一般
審査区分 小区分21060:電子デバイスおよび電子機器関連
研究機関徳島大学

研究代表者

永瀬 雅夫  徳島大学, 大学院社会産業理工学研究部(理工学域), 教授 (20393762)

研究分担者 影島 博之  島根大学, 学術研究院理工学系, 教授 (70374072)
大野 恭秀  徳島大学, 大学院社会産業理工学研究部(理工学域), 准教授 (90362623)
研究期間 (年度) 2021-04-01 – 2025-03-31
研究課題ステータス 交付 (2024年度)
配分額 *注記
17,810千円 (直接経費: 13,700千円、間接経費: 4,110千円)
2024年度: 2,210千円 (直接経費: 1,700千円、間接経費: 510千円)
2023年度: 2,600千円 (直接経費: 2,000千円、間接経費: 600千円)
2022年度: 2,860千円 (直接経費: 2,200千円、間接経費: 660千円)
2021年度: 10,140千円 (直接経費: 7,800千円、間接経費: 2,340千円)
キーワードグラフェン / テラヘルツ / SiC基板 / 積層接合 / SiC / 負性微分抵抗 / プラズモン / 遠赤外線
研究開始時の研究の概要

単結晶グラフェンを用いた高出力テラヘルツLEDの実現を目指す。SiC基板上にエピタキシャル成長した単結晶グラフェン同士を直接接合するこ とにより積層接合を形成する。接合部に一定以上の電圧を印加するこによりホット化されたキャリアをグラフェンに注入することによりプラズ モンを直接誘起することを目指す。誘起したプラズモンとグラフェンのフォノンをカップリングさせることによりテラヘルツ放射を実現する。

研究実績の概要

SiC上グラフェン試料二枚を対向直接接合させたグラフェン積層接合の電気特性にて負性微分抵抗を伴う強い非線形特性が発現することを見いだした。この発見はSiC上グラフェンと金属電極との接触抵抗が他のグラフェン系の接触抵抗に比べて格段に小さいことに由来して、接合部に大きな実効電界を印加できることに由来する。各種の検討により負性微分抵抗発現には非常に大きな接合部の電界(5GVm)が大きな役割を担っていることを明らかにした。グラフェン積層系では、接合角により特性が大きく変調されることが知られている。本接合系では、他の接合系に比べて接合角の制御が容易である特徴を活かして、広い接合角範囲に関して電気特性の接合角依存性の取得を行った。その結果、これまで検討したいずれの接合角においても負性微分抵抗特性が発現することが明らかとなった。また、低電界領域の接合抵抗は、これまでに理論的、実験的に示されているような角度依存性が見られず、ほぼ一定の値を取ることが判った。このことはSiC上グラフェンが従来のグラフェン系と大きく異なる物性を有することを示唆する。一方で、高電界領域での角度依存性の挙動は複雑で、今後、さらに詳細な角度依存性のデータ取得を行うと共に、高電界下でのグラフェン積層系物性の新たな理論的枠組みの構築が必要である。これまでの結果は、我々のグラフェン積層接合デバイスがSiC上グラフェン特有の性質を用いていることを示しており、グラフェン積層接合の新たな学術領域を切り開くことが出来た。

現在までの達成度 (区分)
現在までの達成度 (区分)

2: おおむね順調に進展している

理由

グラフェン積層接合特性の接合角依存性の取得に成功した。その結果、実験を行った全ての接合角にて負性微分抵抗特性を確認した。低電界領域の接合抵抗は実験前の予測とは異なりほとんど角度依存性が無かった。実験結果を説明するには、既存の電子物性の範囲を超える理論体系が必要であることが判った。得られた結果の新規性は高いが、これを説明するための理論的な枠組みの構築が課題である。

今後の研究の推進方策

デバイス特性の接合角依存性に関しては、より詳細な検討を行い,いわゆるmagic angleの探索を行う。また、高電界印加に伴う負性微分抵抗特性の起源を説明するための理論的な枠組みの構築を行う。さらに整備したテラヘルツ検出系を用いて、デバイスからのテラヘルツ波放射特性の取得を行う。デバイスへの大電力印加、及び、負性微分抵抗の活用に向けた寄生抵抗成分低減対策として、n型SiC基板上グラフェンを用いたデバイス作製にも着手する。

報告書

(3件)
  • 2023 実績報告書
  • 2022 実績報告書
  • 2021 実績報告書
  • 研究成果

    (44件)

すべて 2024 2023 2022 2021 その他

すべて 雑誌論文 (11件) (うち査読あり 10件、 オープンアクセス 3件) 学会発表 (32件) (うち国際学会 13件、 招待講演 4件) 備考 (1件)

  • [雑誌論文] Twist angle dependence of graphene-stacked junction characteristics2024

    • 著者名/発表者名
      Murakami Hayate、Fukunaga Fumiya、Ohi Motoki、Kubo Kosuke、Nakagawa Takeru、Kageshima Hiroyuki、Ohno Yasuhide、Nagase Masao
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 63 号: 4 ページ: 04SP56-04SP56

    • DOI

      10.35848/1347-4065/ad364f

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Energy Harvesting of Deionized Water Droplet Flow over an Epitaxial Graphene Film on a SiC Substrate2023

    • 著者名/発表者名
      Ohno Yasuhide、Shimmen Ayumi、Kinoshita Tomohiro、Nagase Masao
    • 雑誌名

      Materials

      巻: 16 号: 12 ページ: 4336-4336

    • DOI

      10.3390/ma16124336

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Resistive-switching behavior in stacked graphene diode2023

    • 著者名/発表者名
      Ohi Motoki、Fukunaga Fumiya、Murakami Hayate、Kageshima Hiroyuki、Ohno Yasuhide、Nagase Masao
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 62 号: SG ページ: SG1031-SG1031

    • DOI

      10.35848/1347-4065/acbbd4

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書 2022 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Far-infrared emission from graphene on SiC by current injection2022

    • 著者名/発表者名
      Kataoka Taichi、Fukunaga Fumiya、Murakami Naruse、Sugiyama Yoshiki、Ohno Yasuhide、Nagase Masao
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 61 号: SD ページ: SD1019-SD1019

    • DOI

      10.35848/1347-4065/ac5423

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書 2021 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Graphene/AlGaN Schottky barrier photodiodes and its application for array devices2022

    • 著者名/発表者名
      Nakagawa Yoshinori、Okauchi Shigeki、Sano Masahiko、Mukai Takashi、Ohno Yasuhide、Nagase Masao
    • 雑誌名

      Japanese Journal of Applied Physics

      巻: 61 号: SD ページ: SD1013-SD1013

    • DOI

      10.35848/1347-4065/ac6132

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Electron transfer characteristics of amino acid adsorption on epitaxial graphene FETs on SiC substrates2022

    • 著者名/発表者名
      Yamasaki Sota、Nakai Hiroki、Murayama Keita、Ohno Yasuhide、Nagase Masao
    • 雑誌名

      AIP Advances

      巻: 12 号: 10 ページ: 105310-105310

    • DOI

      10.1063/5.0124084

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] SiC 基板上短冊状グラフェンからの遠赤外線放射の観測2022

    • 著者名/発表者名
      片岡 大治, 久原 拓真, 大野 恭秀, 永瀬 雅夫
    • 雑誌名

      第14回「集積化MEMSシンボジウム」論文集

      巻: 14

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] グラフェン積層接合への高電界印加による抵抗状態遷移2022

    • 著者名/発表者名
      福永 郁也, 大井 基暉, 村上 隼瑛, 大野 恭秀, 永瀬 雅夫
    • 雑誌名

      第14回「集積化MEMSシンボジウム」論文集

      巻: 14

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] (Invited) Vertically Stacked Junction Devices Fabricated Using Single-Crystal Graphene on SiC Substrate2021

    • 著者名/発表者名
      Nagase Masao
    • 雑誌名

      ECS Transactions

      巻: 104 号: 4 ページ: 27-31

    • DOI

      10.1149/10404.0027ecst

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [雑誌論文] Charge-independent protein adsorption characteristics of epitaxial graphene field-effect transistor on SiC substrate2021

    • 著者名/発表者名
      Hiroki Nakai, Daiu Akiyama, Yoshiaki Taniguchi, Iori Kishinobu, Hiromichi Wariichi, Yasuhide Ohno, Masao Nagase, Takuya Ikeda, Atsushi Tabata, Hideaki Nagamune
    • 雑誌名

      Journal of Applied Physics

      巻: 130 号: 7 ページ: 074502-074502

    • DOI

      10.1063/5.0054688

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Thermal desorption of structured water layer on epitaxial graphene2021

    • 著者名/発表者名
      Tomoki Minami, Shuta Ochi, Hiroki Nakai, Tomohiro Kinoshita, Yasuhide Ohno, Masao Nagase
    • 雑誌名

      AIP Advances

      巻: 11 号: 12 ページ: 125012-125012

    • DOI

      10.1063/5.0075191

    • NAID

      120007178461

    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [学会発表] SiC上エピタキシャルグラフェンFETのpH依存性2024

    • 著者名/発表者名
      古川 智和人, 大野 恭秀, 永瀬 雅夫
    • 学会等名
      2024年第71回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] HisタグB-domainを用いたSiC上グラフェンへの抗体配向修飾法2024

    • 著者名/発表者名
      松村 大夢, 森 優介, 髙嶋 宙, 大野 恭秀, 永瀬 雅夫, Hoang Anh Tung, 田端 厚之, 長宗 秀明
    • 学会等名
      2024年第71回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] SiC上グラフェンの液滴による電位差発生のイオン濃度依存性2024

    • 著者名/発表者名
      竹下 立晟, 大野 恭秀, 永瀬 雅夫
    • 学会等名
      2024年第71回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] エピタキシャルグラフェン上の液中フォースカーブ計測2024

    • 著者名/発表者名
      湯川 諒磨, 豊田 蓮青, 濱本 滉太, 大野 恭秀, 永瀬 雅夫
    • 学会等名
      2024年第71回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] Detection of antigens exceeding the Debye screening length using epitaxial graphene FET on SiC substrates2023

    • 著者名/発表者名
      Murayama Keita, Yasuhide Ohno, Taira Kajisa and Masao Nagase
    • 学会等名
      36th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2023)
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Twist angle dependence of graphene-stacked junction characteristics2023

    • 著者名/発表者名
      Murakami Hayate, Fumiya Fukunaga, Ohi Motoki, KUBO Kohsuke, Nakagawa Takeru, Kageshima Hiroyuki, Yasuhide Ohno and Masao Nagase
    • 学会等名
      36th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2023)
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Vertically Stacked Graphene Junction Diodes2023

    • 著者名/発表者名
      Masao Nagase
    • 学会等名
      244th ECS meeting
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] タングステンプローブを用いた白金ナノ 電極の作製法の検討2023

    • 著者名/発表者名
      佐藤 優介, 橋本 一輝, 倉科 昌, 永瀬 雅夫, 安澤 幹人
    • 学会等名
      2023年度日本化学会中国四国支部大会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] 高電圧印加によるグラフェン積層接合の抵抗変化2023

    • 著者名/発表者名
      大井 基暉, 村上 隼瑛, 久保 倖介, 中川 剛瑠, 大野 恭秀, 永瀬 雅夫, 影島 博之
    • 学会等名
      第15回「集積化MEMSシンボジウム」
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] 分子修飾によるSiC上グラフェンFETのドーピング制御2023

    • 著者名/発表者名
      名渕 公軌, 大野 恭秀, 永瀬 雅夫
    • 学会等名
      2023 年度 応用物理・物理系学会 中国四国支部 合同学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] Al2O3ナノ粒子を形成したSiC上グラフェンFETのpH依存性2023

    • 著者名/発表者名
      岡田 拓斗, 大野 恭秀, 永瀬 雅夫
    • 学会等名
      2023 年度 応用物理・物理系学会 中国四国支部 合同学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] グラフェン遠赤外エミッタを用いた材料判別2023

    • 著者名/発表者名
      久原 拓真, 片岡 大治, 大野 恭秀, 永瀬 雅夫
    • 学会等名
      第70回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] Single-crystal graphene functional devices2023

    • 著者名/発表者名
      永瀬 雅夫
    • 学会等名
      令和四年度 東北大学通信研究所 共同プロジェクト研究発表会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] Single-crystal graphene devices2022

    • 著者名/発表者名
      M. Nagase
    • 学会等名
      Int. Conf. on Physics and its Applications (Physics 2022)
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Functional devices fabricated using single crystal graphene on SiC substate2022

    • 著者名/発表者名
      M. Nagase
    • 学会等名
      3rd Int. Conf. on Nanomaterials and Advanced Composites (NAC 2022)
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] Demonstration of All-Optical Ultrafast Switching, Using High-Quality Graphene2022

    • 著者名/発表者名
      T. Kusaka, A. Furube, T. Katayama, H. Kishikawa, Y. Ohno, M. Nagase and J. Fujikata
    • 学会等名
      27th OptoElectronics and Communications Conference (OECC 2022)
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Ultrafast All-Optical Switching with High-Quality Graphene and its Polarization Effect2022

    • 著者名/発表者名
      T. Kusaka, A. Furube, T. Katayama, H. Kishikawa, Y. Ohno, M. Nagase and J. Fujikata
    • 学会等名
      15th Pacific Rim Conference on Lasers and Electro-Optics (CLEO Pacific Rim, CLEO-PR 2022)
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Amino acids adsorption characteristics of epitaxial graphene FETs on SiC substrates2022

    • 著者名/発表者名
      S. Yamasaki, Y. Ohno and M. Nagase
    • 学会等名
      35th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2022),
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Resistive switching behavior in graphene-stacked junction2022

    • 著者名/発表者名
      M. Ohi, F. Fukunaga, H. Murakami, H. Kageshima, Y. Ohno and M. Nagase
    • 学会等名
      35th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2022),
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Blackbody-like far-infrared emission from electrically biased graphene on SiC2022

    • 著者名/発表者名
      T. Kataoka, T. Kuhara, F. Fukunaga, M. Ohi, H. Murakami, Y. Ohno and M. Nagase
    • 学会等名
      35th International Microprocesses and Nanotechnology Conference (MNC2022),
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 塩酸中におけるSiC上グラフェンFETのpH依存性2022

    • 著者名/発表者名
      大前 隆史, 大野 恭秀, 安澤 幹人, 永瀬 雅夫
    • 学会等名
      2022年度応用物理学・物理系中国四国支部学術講演会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] His-tag 法を用いた SiC 上グラフェンへの抗体配向修飾技術2022

    • 著者名/発表者名
      森 優介, 松村 大夢, 村山 圭汰, 竹下 凌哉, HOANG ANH TUNG, 大野 恭秀, 永瀬 雅夫, 田端 厚之, 長宗 秀明
    • 学会等名
      第39回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] グラフェン積層接合への高電界印加による抵抗状態遷移2022

    • 著者名/発表者名
      福永 郁也, 大井 基暉, 村上 隼瑛, 大野 恭秀, 永瀬 雅夫
    • 学会等名
      第14回「集積化MEMSシンボジウム」
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] SiC 基板上短冊状グラフェンからの遠赤外線放射の観測2022

    • 著者名/発表者名
      片岡 大治, 久原 拓真, 大野 恭秀, 永瀬 雅夫
    • 学会等名
      第14回「集積化MEMSシンボジウム」
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] 層状物質応用イメージセンサ用受光素子の作製と特性評価2022

    • 著者名/発表者名
      中河 義典, 佐野 雅彦, 岡内 茂樹, 向井 孝志, 大野 恭秀, 永瀬 雅夫
    • 学会等名
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] グラフェン積層接合における電流スイッチング2022

    • 著者名/発表者名
      福永 郁也, 村上 成汐, 大井 基暉, 大野 恭秀, 永瀬 雅夫
    • 学会等名
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] エピタキシャルグラフェン上構造水層のトンネル電流解析2022

    • 著者名/発表者名
      中野 泰輔, 中村 俊輔, 大野 恭秀, 永瀬 雅夫
    • 学会等名
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] SiC上グラフェンの液滴発電における異方性2022

    • 著者名/発表者名
      新免 歩, 木下 智裕, 大野 恭秀, 永瀬 雅夫
    • 学会等名
      第69回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [学会発表] Deep ultraviolet light detection by AlGaN/Gr hetero junction photodiode array2021

    • 著者名/発表者名
      Y. Nakagawa, S. Okauchi, M. Sano, T. Mukai, Y. Ohno and M. Nagase
    • 学会等名
      34rd International Microprocessors and Nanotechnology Conference (MNC2021)
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Far-infrared emission from graphene on SiC by current injection2021

    • 著者名/発表者名
      T. Kataoka, F. Fukunaga, N. Murakami, Y. Sugiyama, Y. Ohno, and M. Nagase
    • 学会等名
      34rd International Microprocessors and Nanotechnology Conference (MNC2021)
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Vertically Stacked Junction Devices Fabricated Using Single-Crystal Graphene on SiC Substrate2021

    • 著者名/発表者名
      M. Nagase
    • 学会等名
      240th ECS meeting
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演
  • [学会発表] SiC 上グラフェンへの電流注入による赤外線放射の観測2021

    • 著者名/発表者名
      片岡 大治, 杉山 良輝, 村上 成汐, 福永 郁也, 大野 恭秀, 永瀬 雅夫
    • 学会等名
      第82回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2021 実績報告書
  • [備考] 永瀬・大野研究室のホームページ

    • URL

      http://graphene.ee.tokushima-u.ac.jp/

    • 関連する報告書
      2022 実績報告書

URL: 

公開日: 2021-04-28   更新日: 2024-12-25  

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