研究課題/領域番号 |
23K22481
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研究種目 |
基盤研究(B)
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配分区分 | 基金 |
応募区分 | 一般 |
審査区分 |
小区分14030:プラズマ応用科学関連
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研究機関 | 名古屋大学 |
研究代表者 |
豊田 浩孝 名古屋大学, 工学研究科, 教授 (70207653)
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研究分担者 |
鈴木 陽香 名古屋大学, 工学研究科, 講師 (80779356)
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研究期間 (年度) |
2024-04-01 – 2025-03-31
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研究課題ステータス |
交付 (2024年度)
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配分額 *注記 |
3,770千円 (直接経費: 2,900千円、間接経費: 870千円)
2024年度: 3,770千円 (直接経費: 2,900千円、間接経費: 870千円)
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キーワード | 弱減圧プラズマ / マイクロ波プラズマ |
研究開始時の研究の概要 |
本研究はこれまでに詳細な研究が進められていなかった大気圧よりやや減圧化された弱減圧環境でのプラズマ生成とその応用を進めるものである.具体的には,従来にない新たな手法である高速流誘起減圧環境を用いて真空ポンプを用いることなく容易にプラズマ生成を実現するとともに,本装置の最適な流路構造を明らかにする.さらに,本装置の応用展開としてさまざまな材料の表面改質に取り組む.
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