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接合疲労を可視化する3次元X線回折顕微鏡法の開発

研究課題

研究課題/領域番号 23K22639
補助金の研究課題番号 22H01368 (2022-2023)
研究種目

基盤研究(B)

配分区分基金 (2024)
補助金 (2022-2023)
応募区分一般
審査区分 小区分18010:材料力学および機械材料関連
研究機関国立研究開発法人理化学研究所

研究代表者

林 雄二郎  国立研究開発法人理化学研究所, 放射光科学研究センター, チームリーダー (30435953)

研究期間 (年度) 2022-04-01 – 2025-03-31
研究課題ステータス 交付 (2024年度)
配分額 *注記
18,330千円 (直接経費: 14,100千円、間接経費: 4,230千円)
2024年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2023年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2022年度: 16,770千円 (直接経費: 12,900千円、間接経費: 3,870千円)
キーワード放射光 / 方位 / 応力 / 接合 / 非破壊 / マイクロビーム / 3次元 / 顕微鏡 / 熱疲労
研究開始時の研究の概要

はんだ接合や異種金属接合も含め接合の疲労・劣化・損傷メカニズムの解明は一般に難しい。金属の疲労・損傷挙動の把握には電子線後方散乱を用いた結晶方位顕微鏡が有用であるが、接合部の力学状態を壊さずに接合部の結晶方位像を観察するのができないためである。そこで本研究では放射光X線回折を使って接合構造体試料内部における接合部の結晶方位像を非破壊で得ることを目的とする。この非破壊方位顕微鏡法をパワーモジュール構造体試料に実際に適用し内部に埋もれた接合部を非破壊で観察することで、接合の疲労・劣化・損傷メカニズムの解明に極めて有用であることを実証する。

研究実績の概要

3次元X線回折(3DXRD)顕微鏡法は放射光X線を用いて多結晶金属試料内部の結晶方位マッピング像を3次元非破壊で得ることができる手法である。この方法では試料180°回転にわたって試料透過方向のX線回折画像を記録することで試料内部の3次元結晶方位像を再構成することができる。しかし、試料回転軸を直立させて回転するため試料の大きさと形状に制約が生じ板形状の接合構造体試料に適用することができない。本研究では、試料回転軸を45°傾斜させることにより試料360°回転にわたって試料透過方向の回折X線を検出できるようにすることで板形状の試料内部の3次元結晶方位マッピング像を再構成することのできる傾斜型3DXRD法を提案する。2年目は主に (a) マイクロビームを用いた実証実験と (b) ダイボンドはんだ接合試料を用いた実証実験を行った。(a)ではビームサイズ2μmの硬X線マイクロビーム及び直径300μmの共晶はんだボールを試料に用いて傾斜型3DXRD実験を行った結果、粒径10μm程度の微細組織を示す3次元方位像が得られた。(b) ではSiダミーチップをDBC基板に鉛フリーはんだでダイボンディングしたはんだ接合試料にビームサイズ数十μmの硬X線ビームを照射し、回折X線をSn用コニカルスリットを通して検出した。これにより埋もれたはんだ接合層からのみの回折斑点像を得ることに成功し、接合試料に対してSnの多結晶指数付けを容易に行うことが可能となった。また、大面積のダイボンドはんだ接合試料に対応するためのスキャンを行い、ダイボンドはんだ接合の大面積の結晶方位像を非破壊で得ることに成功した。

現在までの達成度 (区分)
現在までの達成度 (区分)

2: おおむね順調に進展している

理由

(1) 硬X線マイクロビームを用いた3次元結晶方位マッピングデータの取得: 高輝度放射光源アンジュレータを有するSPring-8ビームラインBL29XUにおいて初年度に製作した長作動距離仕様のX線集光ミラーを用いてビームサイズ2μmの硬X線マイクロビームを形成した。45°傾斜させた試料回転軸に直径300umのはんだボールをマウントしマイクロビームをはんだボールに照射した。このセットアップで回転軸を含めた3次元スキャンを行い3次元スキャンデータを得た。
(2) 多結晶指数付けクラスタ計算: 初年度において単ノード用に構築した多結晶指数付け計算を複数計算ノード用に拡張した。試験的に用意した管理ノードと複数計算ノードを用いて簡易的にクラスタ計算機構造を構築した。これに複数計算ノード用多結晶指数付けアルゴリズムを実装し、はんだボールの3次元スキャンデータに対して多結晶指数付け計算を行った。これによりはんだボールの3次元方位像の再構成を達成した。
(3) コニカルスリット: Sn用の精密コニカルスリットを製作した。また、6軸ヘキサポッドを実験セットアップに導入し、精密コニカルスリットのアライメントを達成した。
(4) ダイボンドはんだ接合層の非破壊方位マッピング: SiダミーチップをDBC基板に鉛フリーはんだでダイボンディングしたはんだ接合試料を用意し、この接合試料を45°傾斜試料回転軸にマウントしSn用コニカルスリットを通してはんだ接合層からのX線回折斑点像を得た。これによりダイボンドはんだ接合層の大面積方位像を非破壊で得ることに成功した。
(5) 接合部における応力の評価について: 鉛フリーはんだ/Cu接合における金属間化合物であるCu6Sn5用のコニカルスリットを製作した。これによりCu6Sn5からX線回折斑点が検出できることを確認した。

今後の研究の推進方策

(1) 冷熱疲労によるダイボンドはんだ接合劣化の非破壊観察実験: SiダミーチップをDBC基板に鉛フリーはんだでダイボンディングしたはんだ接合試料(ダイボンドはんだ接合試料)の温度サイクル試験前後においてはんだ接合の大面積方位マッピングを行い冷熱疲労による大面積方位像の変化が捉えられることを実証する。
(2) ダイボンドはんだ接合の高空間分解能観察実験: ダイボンドはんだ接合試料の温度サイクル試験前後においてはんだ接合の高空間分解能3次元方位マッピングを行い冷熱疲労による接合界面近傍における微細粒化を捉える。
(3) 接合界面金属間化合物の方位マッピング実験: 鉛フリーはんだ/Cu接合における金属間化合物であるCu6Sn5用のコニカルスリットを用いてダイボンドはんだ接合試料のはんだ/Cu接合界面近傍におけるCu6Sn5多結晶の方位マッピング像を得る。
(4) コニカルスリットによるラインプロファイル測定: 6軸ヘキサポッドに搭載したコニカルスリットにより任意の回折斑点に対してX線ラインプロファイル測定ができるように計測システムを整備する。
(5) 金属間化合物のひずみ評価実験: ダイボンドはんだ接合試料のはんだ/Cu接合界面近傍におけるCu6Sn5粒子の回折斑点に対してコニカルスリットを用いてX線ラインプロファイルを計測し、これによりCu6Sn5粒子の弾性ひずみが実測できることを示す。(3)と(5)の組み合わせにより原理的には接合界面近傍の金属間化合物の応力が非破壊評価できることを示す。

報告書

(2件)
  • 2023 実績報告書
  • 2022 実績報告書
  • 研究成果

    (17件)

すべて 2024 2023 2022

すべて 雑誌論文 (5件) (うち査読あり 5件、 オープンアクセス 4件) 学会発表 (12件) (うち国際学会 3件、 招待講演 1件)

  • [雑誌論文] <i>In-situ</i> Tensile Tester for Scanning Three-Dimensional X-ray Diffraction Microscopy2023

    • 著者名/発表者名
      Hayashi Yujiro、Setoyama Daigo、Kimura Hidehiko、Yoneyama Yusuke、Takeuchi Keisuke
    • 雑誌名

      ISIJ International

      巻: 63 号: 4 ページ: 687-693

    • DOI

      10.2355/isijinternational.ISIJINT-2022-358

    • ISSN
      0915-1559, 1347-5460
    • 年月日
      2023-04-15
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Scanning Three-Dimensional X-ray Diffraction Microscopy with a Spiral Slit2023

    • 著者名/発表者名
      Hayashi Yujiro、Setoyama Daigo、Fukuda Kunio、Okuda Katsuharu、Katayama Naoki、Kimura Hidehiko
    • 雑誌名

      Quantum Beam Science

      巻: 7 号: 2 ページ: 16-16

    • DOI

      10.3390/qubs7020016

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Scanning Three-Dimensional X-ray Diffraction Microscopy for Carbon Steels2023

    • 著者名/発表者名
      Hayashi Yujiro、Kimura Hidehiko
    • 雑誌名

      Quantum Beam Science

      巻: 7 号: 3 ページ: 23-23

    • DOI

      10.3390/qubs7030023

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] High-resolution 3D grain orientation mapping by inclined scanning 3D X-ray diffraction microscopy2023

    • 著者名/発表者名
      Kim Jaemyung、Hayashi Yujiro、Yabashi Makina
    • 雑誌名

      Journal of Applied Crystallography

      巻: 56 号: 5 ページ: 1416-1425

    • DOI

      10.1107/s160057672300715x

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] The emergence of super-resolution beyond the probe size in scanning 3DXRD microscopy2023

    • 著者名/発表者名
      Kim Jaemyung、Hayashi Yujiro、Yabashi Makina
    • 雑誌名

      Journal of Synchrotron Radiation

      巻: 30 号: 6 ページ: 1108-1113

    • DOI

      10.1107/s1600577523008597

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [学会発表] 高エネルギーX線テストベンチ における産業利用の開拓2024

    • 著者名/発表者名
      林 雄二郎, Kim Jaemyung, 湯本 博勝, 小山 貴久, 山崎 裕史, 仙波 泰徳, 大橋 治彦, 後藤 俊治, 井上 伊知郎, 大坂 泰斗, 亀島 敬, 山口 豪太, 玉作 賢治, 矢橋 牧名
    • 学会等名
      第37回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] ラインビーム走査型3DXRD法による 高速3次元非破壊結晶方位マッピング2024

    • 著者名/発表者名
      林 雄二郎, Kim Jaemyung
    • 学会等名
      日本鉄鋼協会 第187回春季講演大会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] 放射光X線回折によるパワーモジュール向けはんだ接合の大面積非破壊方位マッピング2024

    • 著者名/発表者名
      林 雄二郎, Kim Jaemyung, 矢橋 牧名, 巽 裕章
    • 学会等名
      第38回エレクトロニクス実装学会春季講演大会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] 放射光X 線回折による平板状試料内部におけるはんだの非破壊信頼性評価技術2023

    • 著者名/発表者名
      林 雄二郎, Kim Jaemyung,矢橋 牧名
    • 学会等名
      第33回マイクロエレクトロニクスシンポジウム(MES2023)
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] ラミノグラフィ型3次元X線回折顕微鏡法による平板状試料の非破壊方位マッピング2023

    • 著者名/発表者名
      林 雄二郎, Kim Jaemyung
    • 学会等名
      日本鉄鋼協会 第186回秋季講演大会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] Laminographic Three-dimensional X-ray Diffraction Microscopy2023

    • 著者名/発表者名
      Yujiro Hayashi, Jaemyung Kim, Makina Yabashi
    • 学会等名
      MRM2023 / IUMRS-ICA2023
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 高エネルギー3DXRD法の開発2023

    • 著者名/発表者名
      林雄二郎、Jaemyung Kim、湯本博勝、小山貴久、山崎裕史、仙波泰徳、大橋治彦、後藤俊治、井上伊知郎、大坂泰斗、玉作賢治、矢橋牧名
    • 学会等名
      第36回日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] 放射光X線を用いたパワーモジュール用はんだ接合の非破壊方位マッピング2023

    • 著者名/発表者名
      林 雄二郎、臼井 正則、木村 英彦
    • 学会等名
      第37回エレクトロニクス実装学会春季講演大会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] 走査型3次元X線回折顕微鏡法による応力評価2023

    • 著者名/発表者名
      林 雄二郎
    • 学会等名
      日本鉄鋼協会第185回春季講演大会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] Scanning three-dimensional X-ray diffraction using a 100keV microbeam2022

    • 著者名/発表者名
      Yujiro Hayashi, Jaemyung Kim, Hirokatsu Yumoto, Takahisa Koyama, Haruhiko Ohashi, Makina Yabashi
    • 学会等名
      15th International Conference on X-ray Microscopy (XRM2022)
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 走査型3次元X線回折顕微鏡法による塑性変形その場観察2022

    • 著者名/発表者名
      林 雄二郎
    • 学会等名
      日本鉄鋼協会第184回秋季講演大会
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
  • [学会発表] Industrial applications developed by brilliant high-energy x-rays2022

    • 著者名/発表者名
      Yujiro Hayashi, Jaemyung Kim, Hirokatsu Yumoto, Takahisa Koyama, Hiroshi Yamazaki, Yasunori Senba, Haruhiko Ohashi, Shunji Goto, Ichiro Inoue, Taito Osaka, Kenji Tamasaku, Makina Yabashi
    • 学会等名
      Asia Oceania International Conference on Synchrotron Radiation Instruments 2022 (AO-SRI 2022)
    • 関連する報告書
      2022 実績報告書
    • 国際学会 / 招待講演

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公開日: 2022-04-19   更新日: 2024-12-25  

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