研究課題/領域番号 |
23K22649
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研究種目 |
基盤研究(B)
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配分区分 | 基金 |
応募区分 | 一般 |
審査区分 |
小区分18020:加工学および生産工学関連
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研究機関 | 兵庫県立大学 |
研究代表者 |
豊田 紀章 兵庫県立大学, 工学研究科, 教授 (00382276)
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研究分担者 |
竹内 雅耶 兵庫県立大学, 工学研究科, 助教 (70889683)
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研究期間 (年度) |
2024-04-01 – 2025-03-31
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研究課題ステータス |
交付 (2024年度)
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配分額 *注記 |
4,810千円 (直接経費: 3,700千円、間接経費: 1,110千円)
2024年度: 4,810千円 (直接経費: 3,700千円、間接経費: 1,110千円)
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キーワード | クラスタービーム / 原子層エッチング / 高精度加工 |
研究開始時の研究の概要 |
超高精度形状創成技術は,微細加工の精度や測定分解能を向上させるための基盤技術として重要性が増している。これまで,低損傷で平坦化効果を有するガスクラスターイオンビーム(GCIB)の照射位置と照射量を制御することで,高精度形状創成技術の開発を進めてきた。しかし,各位置での除去量をGCIB照射時間で制御しているため,広く利用されている単原子イオンビームやプラズマを用いた場合と同様にオーバーエッチングの問題があった。そこで,GCIBによる除去量を照射時間の制御ではなく,表面を一層ずつ除去する原子層エッチングのサイクル数で制御することにより,オーバーエッチングの問題を解決する。
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