研究課題/領域番号 |
23K22659
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研究種目 |
基盤研究(B)
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配分区分 | 基金 |
応募区分 | 一般 |
審査区分 |
小区分18040:機械要素およびトライボロジー関連
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研究機関 | 岐阜大学 |
研究代表者 |
上坂 裕之 岐阜大学, 工学部, 教授 (90362318)
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研究分担者 |
近藤 博基 九州大学, システム情報科学研究院, 教授 (50345930)
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研究期間 (年度) |
2024-04-01 – 2026-03-31
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研究課題ステータス |
交付 (2024年度)
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配分額 *注記 |
3,770千円 (直接経費: 2,900千円、間接経費: 870千円)
2025年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2024年度: 2,340千円 (直接経費: 1,800千円、間接経費: 540千円)
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キーワード | 細穴内面プラズマ加工 / スマートプロセス / ダイヤモンドライクカーボン / 機械学習 / プラズマ計測 |
研究開始時の研究の概要 |
細穴内面のプラズマ表面加工を対象として,①ガス枯渇による不均一分布を回避するためのパルスプラズマのON時間とOFF時間が,高速度カメラによる発光観察に基づいて自動決定されること,②膜質最適化のために選定される他の実験パラメータは,機械学習による予測モデルを使うことで効率的に決定されること,を実証する.また,そのようなアルゴリズムを備えたスマートな細穴内面プラズマ表面加工装置を具現化する.
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