研究課題/領域番号 |
23K22704
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研究種目 |
基盤研究(B)
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配分区分 | 基金 |
応募区分 | 一般 |
審査区分 |
小区分20010:機械力学およびメカトロニクス関連
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研究機関 | 富山県立大学 |
研究代表者 |
下山 勲 富山県立大学, 工学部, その他 (60154332)
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研究分担者 |
野田 堅太郎 富山県立大学, 情報工学部, 講師 (00547482)
塚越 拓哉 富山県立大学, 情報工学部, 准教授 (90782920)
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研究期間 (年度) |
2024-04-01 – 2025-03-31
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研究課題ステータス |
交付 (2024年度)
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配分額 *注記 |
3,510千円 (直接経費: 2,700千円、間接経費: 810千円)
2024年度: 3,510千円 (直接経費: 2,700千円、間接経費: 810千円)
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キーワード | MEMS / シリコンピエゾ抵抗 |
研究開始時の研究の概要 |
本研究は、シリコン材料を用いたピエゾ抵抗型歪ゲージをもつカンチレバー型力センサ(圧力感度:4.3×10-3 Pa-1、最小力分解能:1 pN、周波数帯域:~100MHz)の寸法をnmオーダーまで小さくすると特性がどうなるのかという問いに、実験的・理論的根拠のある答えを与える。ピエゾ抵抗の歪抵抗効果を決定づけるキャリアの密度は、単結晶シリコンの原子密度に比べて4~5桁小さく、カンチレバーを極限まで小さく薄くすると、バルクの歪抵抗効果を維持できなくなり、また材料の境界面の表面効果の影響が表れると考えられる。本研究では微小寸法のカンチレバーのピエゾ抵抗効果を実験的に確かめ、計算とも比較する。
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