研究課題/領域番号 |
23K22768
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研究種目 |
基盤研究(B)
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配分区分 | 基金 |
応募区分 | 一般 |
審査区分 |
小区分21030:計測工学関連
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研究機関 | 大阪大学 |
研究代表者 |
若家 冨士男 大阪大学, 大学院基礎工学研究科, 准教授 (60240454)
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研究分担者 |
村上 勝久 国立研究開発法人産業技術総合研究所, エレクトロニクス・製造領域, 主任研究員 (20403123)
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研究期間 (年度) |
2024-04-01 – 2026-03-31
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研究課題ステータス |
交付 (2024年度)
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配分額 *注記 |
1,820千円 (直接経費: 1,400千円、間接経費: 420千円)
2025年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2024年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
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キーワード | 磁気力顕微鏡 / 半導体不純物濃度 / 非接触計測 |
研究開始時の研究の概要 |
磁気力顕微鏡(MFM) は,プローブ顕微鏡の一種であり,通常は磁性体の表面のもれ磁場を検出して可視化するための用いられる。しかし,本研究ではMFMを非磁性の半導体を計測するために用いる。本研究の目的は,(1)MFM を用いて,不純物半導体のキャリア密度(不純物濃度)をナノメートル分解能で,非接触で測定する手法を確立すること,(2)その検出限界や空間分解能を明らかにすること,の2つである。この目的を達成するため,振動する磁性体と導電性物質の相互作用の理論を構築し,数値シミュレーションを行う。それらから求められたシーケンスを実現する装置を開発する。
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