研究課題/領域番号 |
23K23192
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研究種目 |
基盤研究(B)
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配分区分 | 基金 |
応募区分 | 一般 |
審査区分 |
小区分28050:ナノマイクロシステム関連
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研究機関 | 東北大学 |
研究代表者 |
田中 秀治 東北大学, 工学研究科, 教授 (00312611)
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研究分担者 |
塚本 貴城 東北大学, 工学研究科, 准教授 (70646413)
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研究期間 (年度) |
2024-04-01 – 2025-03-31
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研究課題ステータス |
交付 (2024年度)
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配分額 *注記 |
6,240千円 (直接経費: 4,800千円、間接経費: 1,440千円)
2024年度: 6,240千円 (直接経費: 4,800千円、間接経費: 1,440千円)
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キーワード | 共振子 / MEMS / センサー / モード局在化 |
研究開始時の研究の概要 |
2自由度MEMS共振子のモード制御の方法論として、付加的マスを用いた2+1マスMEMS共振子について研究を行う。理論検討とシミュレーションに基づいてデバイスを試作し、その基礎特性とモード制御性を明らかにする。また、2自由度MEMS共振子のモード制御によって実現できるモード局在化現象についても、その基礎特性を実験的に明らかにし、さらにそのセンシング応用を目指した発展的研究を行う。
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