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2+1マスMEMS共振子による新たなモード制御法の研究と高性能センサーへの適用
研究課題
サマリー
2024年度
基礎情報
研究課題/領域番号
23K23192
研究種目
基盤研究(B)
配分区分
基金
応募区分
一般
審査区分
小区分28050:ナノマイクロシステム関連
研究機関
東北大学
研究代表者
田中 秀治
東北大学, 工学研究科, 教授 (00312611)
研究期間 (年度)
2024-02-28 – 2025-03-31
研究課題ステータス
採択 (2024年度)
配分額
*注記
6,240千円 (直接経費: 4,800千円、間接経費: 1,440千円)
2024年度: 6,240千円 (直接経費: 4,800千円、間接経費: 1,440千円)