センサ／ＬＳＩ集積化のための荷電処理不要な静電ＭＥＭＳ振動エナジーハーベスタ

• 研究課題/領域番号: 23K23197
• 補助金の研究課題番号: 22H01929 (2022-2023)
• 研究種目: 基盤研究(B)
• 配分区分: 基金 (2024); 補助金 (2022-2023)
• 応募区分: 一般
• 審査区分: 小区分28050:ナノマイクロシステム関連
• 研究機関: 立命館大学
• 研究代表者: 山根 大輔 立命館大学, 理工学部, 准教授 (70634096)
• 研究分担者: 田中 有弥 群馬大学, 大学院理工学府, 准教授 (90780065)
• 研究期間 (年度): 2022-04-01 – 2025-03-31
• 研究課題ステータス: 交付 (2024年度)
• 配分額: 17,680千円 (直接経費: 13,600千円、間接経費: 4,080千円); 2024年度: 2,080千円 (直接経費: 1,600千円、間接経費: 480千円); 2023年度: 5,590千円 (直接経費: 4,300千円、間接経費: 1,290千円); 2022年度: 10,010千円 (直接経費: 7,700千円、間接経費: 2,310千円)
• キーワード: MEMS / エナジーハーベスタ / 振動 / 静電 / エレクトレット

研究開始時の研究の概要

本研究は、荷電処理不要の自己組織化エレクトレット（SAE）を用いることで、微小電気機械システム（MEMS）振動発電デバイス、センサ、集積回路（LSI）などの自己給電センサ端末の全ての素子を半導体微細加工プロセスで同一基板上にワンチップ化し、大量生産を可能とすることで、昼夜／屋内外を問わず自己給電可能な微小センサ端末の基盤技術開拓を目指す。また、本研究の将来展開として、チップレベルでセンサ・回路・発電素子を融合し、あらゆる生活環境下で自己給電・自律動作を実現する学問領域「集積化MEMSエナジーハーベスティング」の構築を目指す。