| 研究課題/領域番号 |
23K25122
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| 補助金の研究課題番号 |
22H03868 (2022-2023)
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 基金 (2024)
補助金 (2022-2023) |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 審査区分 |
小区分80040:量子ビーム科学関連
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| 研究機関 | 名古屋大学 |
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研究代表者 |
齋藤 晃 名古屋大学, 未来材料・システム研究所, 教授 (50292280)
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| 研究分担者 |
石田 高史 名古屋大学, 未来材料・システム研究所, 助教 (60766525)
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| 研究期間 (年度) |
2022-04-01 – 2026-03-31
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| 研究課題ステータス |
交付 (2024年度)
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| 配分額 *注記 |
18,200千円 (直接経費: 14,000千円、間接経費: 4,200千円)
2025年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2024年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2023年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2022年度: 15,080千円 (直接経費: 11,600千円、間接経費: 3,480千円)
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| キーワード | 電子線 / 構造化照明 / 電子顕微鏡 / 状態転写 |
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| 研究開始時の研究の概要 |
本研究は、振幅と位相に構造をもつ電子ビームの生成および構造化電子ビームをもちいた新しい顕微法の開発を目指し、理論的および実験的研究を行った。本研究により、1)半導体フォトカソードに照射するレーザー光の振幅の構造が放出される電子線に転写されることを実験的に確認した。2)世界で初めて構造化ビームをもちいた電子線近接場タイコグラフィーの開発に成功した。本手法は強度が極端に高い輝点を含む回折図形をもちいないこと、メソスケールの対象物に適用可能であること、電子線超分解能の可能性が期待されること、など従来のタイコグラフィーにないユニークな特徴があることが判明した。
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