3次元空間座標基準モニタリングによる内面構造のナノスケール精度計測

• 研究課題/領域番号: 23K26008
• 補助金の研究課題番号: 23H01313 (2023)
• 研究種目: 基盤研究(B)
• 配分区分: 基金 (2024); 補助金 (2023)
• 応募区分: 一般
• 審査区分: 小区分18020:加工学および生産工学関連
• 研究機関: 東京大学
• 研究代表者: 道畑 正岐 東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 准教授 (70588855)
• 研究分担者: 高橋 哲 東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 教授 (30283724) ; 増井 周造 東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 特任助教 (00909939) ; 門屋 祥太郎 東京大学, 大学院工学系研究科(工学部), 助教 (60880234)
• 研究期間 (年度): 2023-04-01 – 2026-03-31
• 研究課題ステータス: 交付 (2024年度)
• 配分額: 18,720千円 (直接経費: 14,400千円、間接経費: 4,320千円); 2025年度: 4,940千円 (直接経費: 3,800千円、間接経費: 1,140千円); 2024年度: 6,890千円 (直接経費: 5,300千円、間接経費: 1,590千円); 2023年度: 6,890千円 (直接経費: 5,300千円、間接経費: 1,590千円)
• キーワード: 光周波数コム / 計測基準点 / 内面構造 / 回折格子 / 内面形状 / 計測理論 / 寸法計測

研究開始時の研究の概要

本研究は、内面構造の寸法・形状を高精度に計測する原理の確立を目指すものである。3次元形状計測において、基準点は不動であるべきであるが、現実的には揺らぎ、それが計測不確かさにつながる。そこで、内面構造の狭空間においてこの座標原点の揺らぎをナノスケールで計測しつつ、測定面までの形状を超高精度に計測することで超高精度な内面構造計測を実現する。そこで、本課題では、2重周期回折格子を用いた計測基準点の測定原理および光周波数コムを用いた高精度測距原理を確立し、最終的に高精度な形状計測手法の確立を目指す。