| 研究課題/領域番号 |
23K26012
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| 補助金の研究課題番号 |
23H01317 (2023)
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 基金 (2024)
補助金 (2023) |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 審査区分 |
小区分18020:加工学および生産工学関連
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| 研究機関 | 静岡大学 |
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研究代表者 |
岩田 太 静岡大学, 電子工学研究所, 教授 (30262794)
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| 研究分担者 |
中澤 謙太 静岡大学, 工学部, 助教 (50824520)
中尾 秀信 国立研究開発法人物質・材料研究機構, エネルギー・環境材料研究センター, 主幹研究員 (80421395)
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| 研究期間 (年度) |
2023-04-01 – 2026-03-31
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| 研究課題ステータス |
交付 (2024年度)
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| 配分額 *注記 |
18,850千円 (直接経費: 14,500千円、間接経費: 4,350千円)
2025年度: 3,640千円 (直接経費: 2,800千円、間接経費: 840千円)
2024年度: 6,760千円 (直接経費: 5,200千円、間接経費: 1,560千円)
2023年度: 8,450千円 (直接経費: 6,500千円、間接経費: 1,950千円)
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| キーワード | 走査型イオン伝導顕微鏡 / 電気泳動堆積 / ナノ微粒子 / レーザートラップ / アディティブマニュファクチャリング / 微細加工 |
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| 研究開始時の研究の概要 |
ナノからサブミクロン精度を有する超微細な立体造形法の開発は電子デバイスやMicroelectromechanical Systems（MEMS）のプロセスにおいて大変重要な課題である．本研究では金属ナノ微粒子を基板上に堆積させる微細立体造形法であるレーザー支援電気泳動堆積法（研究代表者の独自技術）において，堆積中の集光スポットを顕微計測して加工速度を最適制御する手法を開発する．本手法により，加工中の堆積途切れが生じない高い加工成功率での微細立体造形法を確立する．本手法は微細デバイスを低コストで試作可能な次世代の革新的な超精密加工法となり得る ．
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