研究課題
基盤研究(B)
ユビキタス電源として期待される薄膜熱電変換材料の性能は、面内方向の電気特性と面直（膜厚）方向の熱伝導率を用いた、測定方向の矛盾を含む性能指数で評価されている。本研究では、時間領域パルス光加熱サーモリフレクタンス法に、試料を正確に縞状加熱して2次元温度場を形成する技術、及び2次元化に伴う測定データ解析パラメータを克服する高速解析技術を開発・導入して薄膜面内方向の熱伝導率測定を実現する。これら開発技術を用いて結晶性・配向性、界面制御、多層エピタキシャルなど、高度にナノ構造が制御されたユビキタス薄膜熱電材料を舞台に薄膜面内方向の真の熱電変換性能評価に挑戦する。
