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超広帯域可視ベクトル光による超高速スペクトル計測と高感度欠陥検出

研究課題

研究課題/領域番号 23K26111
補助金の研究課題番号 23H01416 (2023)
研究種目

基盤研究(B)

配分区分基金 (2024)
補助金 (2023)
応募区分一般
審査区分 小区分21030:計測工学関連
研究機関宇都宮大学

研究代表者

東口 武史  宇都宮大学, 工学部, 教授 (80336289)

研究分担者 森田 大樹  宇都宮大学, 工学部, 助教 (50944667)
若山 俊隆  埼玉医科大学, 保健医療学部, 教授 (90438862)
研究期間 (年度) 2023-04-01 – 2026-03-31
研究課題ステータス 交付 (2024年度)
配分額 *注記
18,850千円 (直接経費: 14,500千円、間接経費: 4,350千円)
2025年度: 4,290千円 (直接経費: 3,300千円、間接経費: 990千円)
2024年度: 5,590千円 (直接経費: 4,300千円、間接経費: 1,290千円)
2023年度: 8,970千円 (直接経費: 6,900千円、間接経費: 2,070千円)
キーワード超広帯域 / ベクトルビーム / スペクトル / 超高速スペクトル計測 / 偏光 / ベクトル光 / 超高速計測法 / 超広帯域スペクトル
研究開始時の研究の概要

従来のスペクトル計測法の常識を変える画期的な超高速計測法を実証する.具体的には,光ファイバー波長分散と非線形偏波回転で,超広帯域スペクトル光の波長と偏光度を紐付けする.この結果,時間・波長・偏光度の関係が決まり,オシロスコープでの超高速計測法を実現する.
(1) 超高速でショットごとの偏光・スペクトルを同時に計測・記録する.
(2) 偏光状態の変化による高精度な複屈折位相差を分光計測する,
この2点を実現した後,産業用超薄肉ガラス欠陥を高速・高感度・高精度で検出することで有効性と拡張性を示す.

研究実績の概要

近年,幅広いスペクトルを有する超広帯域光が医療分野や工業分野などに応用されており,主に吸収分光や物質の励起光として期待されている.超広帯域光は,自己位相変調,誘導ラマン散乱,四光波混合などの非線形光学効果によって引き起こされ,超広帯域スペクトル,高輝度,高い空間的および時間的コヒーレンスなどの特徴がある.一方,波長に依存した偏光状態をもつベクトルビームが注目されており,波長と偏光の相関関係を用いて偏光分光計測の分野での利用が期待されている.高機能材料分野では,ガラス基板やフィルムに成膜された薄膜の複屈折分布や膜厚分布を全面で定量化することが求められており,偏光分光計測の高速化が必要である.しかしながら,従来の計測手法では,偏光素子自体を機械的に回転させる必要があり,高速化は難しい.それとは異なる手法として,偏光イメージセンサを用いた手法が提案されているが,従来のイメージセンサを用いているため測定時間が10 ms程度に限定される.最新の研究では,超広帯域ベクトルビームを用いることで偏光分光計測の高速化を実現している例もあるが,分光器を用いているため,従来のイメージセンサの手法と同様に測定時間が1 ms程度に限定される.そこで,本研究では,時間的にエンコードされた超広帯域ベクトルビームを用いることを提案し,偏光分光計測の高速化を図ることを目的とした.具体的には,光ファイバー波長分散と非線形偏波回転効果を利用し,超広帯域スペクトル光の波長と偏光度を紐付けする.この結果,時間・波長・偏光度の関係が決まり,オシロスコープでの超高速スペクトル計測法が実現できる.
本研究では,1秒間に40 x 10^6本のスペクトルを記録できることを示し,波長フィルターのスペクトルを計測することに成功した.

現在までの達成度 (区分)
現在までの達成度 (区分)

2: おおむね順調に進展している

理由

研究計画に従って実験を進められている.また,米国光学会 (Optica) の論文誌にも掲載されたことから,この区分にした.

今後の研究の推進方策

研究計画に従い,超広帯域ベクトルビームにより欠陥検出実験を進めていく予定である.

報告書

(1件)
  • 2023 実績報告書
  • 研究成果

    (17件)

すべて 2024 2023

すべて 雑誌論文 (11件) (うち国際共著 3件、 査読あり 10件、 オープンアクセス 3件) 学会発表 (4件) (うち国際学会 2件) 図書 (2件)

  • [雑誌論文] Megahertz detection of spectroscopic polarization by a time-encoded supercontinuum vector beam2024

    • 著者名/発表者名
      Yukihiro Inoue, Juri Ogawa, Hiroki Morita, Kazuyuki Sakaue, Toshitaka Wakayama, and Takeshi Higashiguchi
    • 雑誌名

      Applied Optics

      巻: 63 号: 2 ページ: 423-428

    • DOI

      10.1364/ao.503943

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Spectral control of beyond extreme ultraviolet emission from a dual-laser-produced plasma2024

    • 著者名/発表者名
      Kume Masaki、Sugiura Tsukasa、Morita Hiroki、Jiang Weihua、Sakaue Kazuyuki、Namba Shinichi、O'Sullivan Gerry、Higashiguchi Takeshi
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 124 号: 5 ページ: 052107-052107

    • DOI

      10.1063/5.0180836

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Angular distribution separation of the extreme ultraviolet emission and suprathermal ions with energy reduction2024

    • 著者名/発表者名
      Niinuma Takeru、Sugiura Tsukasa、Morita Hiroki、Jiang Weihua、Sakaue Kazuyuki、O'Sullivan Gerry、Namba Shinichi、Higashiguchi Takeshi
    • 雑誌名

      Applied Physics Letters

      巻: 124 号: 5 ページ: 054104-054104

    • DOI

      10.1063/5.0180842

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Elucidating the Quenching Mechanism of Tris(2,2′-bipyridyl)ruthenium(II) Complex in the Water?Glycerol Binary System Based on the Microscopic Structure of the Media2024

    • 著者名/発表者名
      Hamano Yuki、Inagawa Arinori、Otsuka Takuhiro、Kageyama Ryo、Ogawa Juri、Roppongi Makoto、Higashiguchi Takeshi、Uehara Nobuo
    • 雑誌名

      The Journal of Physical Chemistry B

      巻: 128 号: 7 ページ: 1771-1779

    • DOI

      10.1021/acs.jpcb.3c07882

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Simultaneous detection of polarization states and wavefront by an angular variant micro-retarder-lens array2024

    • 著者名/発表者名
      Toshitaka Wakayama, Akane Zama, Yudai Higuchi, Yuta Takahashi, Kohei Aizawa, and Takeshi Higashiguchi
    • 雑誌名

      Optics Express

      巻: 32 号: 2 ページ: 2405-2417

    • DOI

      10.1364/oe.509574

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Thomson scattering measurements of electron temperature and electron density in laser-driven Gd plasmas2023

    • 著者名/発表者名
      Pan Yiming、Sunahara Atsushi、Namba Shinichi、Higashiguchi Takeshi、Tomita Kentaro
    • 雑誌名

      Journal of Physics D: Applied Physics

      巻: 56 号: 40 ページ: 405203-405203

    • DOI

      10.1088/1361-6463/ace36f

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Water-window x-ray emission from laser-produced Au plasma under optimal target thickness and focus conditions2023

    • 著者名/発表者名
      Wang Jiahao、Kishimoto Maki、Jozaki Tomoyuki、Kumeda Tomohiro、Higashiguchi Takeshi、Sunahara Atsushi、Ohiro Hikari、Yamasaki Kotaro、Namba Shinichi
    • 雑誌名

      Physical Review E

      巻: 107 号: 6 ページ: 065211-065211

    • DOI

      10.1103/physreve.107.065211

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり / 国際共著
  • [雑誌論文] Optimization of extreme ultra-violet light emitted from the CO2 laser-irradiated tin plasmas using 2D radiation hydrodynamic simulations2023

    • 著者名/発表者名
      Sunahara Atsushi、Hassanein Ahmed、Tomita Kentaro、Namba Shinichi、Higashiguchi Takeshi
    • 雑誌名

      Optics Express

      巻: 31 号: 20 ページ: 31780-31780

    • DOI

      10.1364/oe.497282

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス / 国際共著
  • [雑誌論文] Sub-nanometer scale depth patterning on sapphire crystal by femtosecond soft x-ray laser pulse irradiation2023

    • 著者名/発表者名
      Mikami Katsuhiro、Ishino Masahiko、Motoyama Hiroto、Dinh Thanh-Hung、Yokomae Shunya、Yamaguchi Gota、Egawa Satoru、Sakaue Kazuyuki、Mimura Hidekazu、Higashiguchi Takeshi、Kubota Yuya、Owada Shigeki、Iwasaki Atsushi、Inubushi Yuichi、Nishikino Masaharu
    • 雑誌名

      Optics Letters

      巻: 48 号: 19 ページ: 5041-5044

    • DOI

      10.1364/ol.501589

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Evaluation of suprathermal ions in a laser-produced plasma beyond-EUV source2023

    • 著者名/発表者名
      Niinuma Takeru、Sugiura Tsukasa、Kume Masaki、Nakayama Yuto、Morita Hiroki、Sunahara Atsushi、Namba Shinichi、Higashiguchi Takeshi
    • 雑誌名

      Proc. of SPIE

      巻: 12915 ページ: 27-27

    • DOI

      10.1117/12.2687366

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [雑誌論文] Lensless single-fiber ghost imaging2023

    • 著者名/発表者名
      Toshitaka Wakayama, Yudai Higuchi, Rikuto Kondo, Yasuhiro Mizutani, and Takeshi Higashiguchi
    • 雑誌名

      Applied Optics

      巻: 62 号: 36 ページ: 9559-9567

    • DOI

      10.1364/ao.507550

    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [学会発表] 超広帯域ベクトルビームを用いた偏光分光計測の高速化2024

    • 著者名/発表者名
      井上 晋宏, 小林 隼大, 栗原 諒, 森田 大樹, 坂上 和之, 若山 俊隆, 東口 武史
    • 学会等名
      レーザー学会学術講演会 第44回年次大会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] ナノ秒励起による可視超広帯域光源の短波長領域の発光に関する研究2024

    • 著者名/発表者名
      小林 隼大, 栗原 諒, 高和 宏行, 森田 大樹, 東口 武史
    • 学会等名
      レーザー学会学術講演会 第44回年次大会
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [学会発表] 40-MHz spectroscopic-polarization measurement by a time-encoded supercontinuum vector beam2023

    • 著者名/発表者名
      Yukihiro Inoue, Juri Ogawa, Hiroki Morita, Kazuyuki Sakaue, Toshitaka Wakayama, and Takeshi Higashiguchi
    • 学会等名
      The 12th Advanced Lasers and Photon Sources Conference (ALPS2023)
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Nanosecond-pulse ANDi mode-locked fiber laser with a long resonator2023

    • 著者名/発表者名
      Yukihiro Inoue, Ayaka Ogiwara, Ryoma Sato, Juri Ogawa, Hiroki Morita, Kazuyuki Sakaue, Shigeki Tokita, and Takeshi Higashiguchi
    • 学会等名
      The 12th Advanced Lasers and Photon Sources Conference (ALPS2023)
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
    • 国際学会
  • [図書] 先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術2023

    • 著者名/発表者名
      東口 武史 ほか57名
    • 総ページ数
      630
    • 出版者
      技術情報協会
    • ISBN
      9784861049828
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書
  • [図書] Photon Sources for Lithography and Metrology2023

    • 著者名/発表者名
      Vivek Bakshi (Editor), Takeshi Higashiguchi
    • 総ページ数
      1320
    • 出版者
      SPIE--The International Society for Optical Engineering; 1st edition
    • ISBN
      9781510653719
    • 関連する報告書
      2023 実績報告書

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公開日: 2023-04-18   更新日: 2024-12-25  

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