研究課題
基盤研究(B)
開発を目指す超高周波電磁界分布可視化技術の概要を記す。測定対象の回路基板上に配置する絶縁体である磁気光学結晶が、基板やIC内の配線等に流れる高周波電流から生じる微弱な高周波近傍磁界を受けて生じるファラデー効果を、結晶に照射した超短パルスのフェムト秒レーザーの反射光の(照射前後の)偏光状態の変化分として検出する。レーザーの繰り返し周波数と回路動作の同期により、数百GHzの位相変化を含む波形情報の取得を可能にする。また高解像度且つ高感度のカメラでレーザー照射範囲を一括撮像することにより、数十秒以下の短時間で光学限界レベルである100nm程度の空間分解能の磁界分布可視化技術の実現を目指す。