| 研究課題/領域番号 |
23K26141
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| 補助金の研究課題番号 |
23H01447 (2023)
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 基金 (2024)
補助金 (2023) |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 審査区分 |
小区分21050:電気電子材料工学関連
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| 研究機関 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 (2024)
大阪大学 (2023) |
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研究代表者 |
林 侑介 国立研究開発法人物質・材料研究機構, 電子・光機能材料研究センター, 主任研究員 (00800484)
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| 研究分担者 |
今井 康彦 公益財団法人高輝度光科学研究センター, 回折・散乱推進室, 主幹研究員 (30416375)
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| 研究期間 (年度) |
2023-04-01 – 2026-03-31
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| 研究課題ステータス |
交付 (2024年度)
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| 配分額 *注記 |
19,240千円 (直接経費: 14,800千円、間接経費: 4,440千円)
2025年度: 3,250千円 (直接経費: 2,500千円、間接経費: 750千円)
2024年度: 3,250千円 (直接経費: 2,500千円、間接経費: 750千円)
2023年度: 12,740千円 (直接経費: 9,800千円、間接経費: 2,940千円)
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| キーワード | 半導体 / 放射光 / ナノビームX線回折 / 断層解析 / 半導体デバイス |
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| 研究開始時の研究の概要 |
本研究では、単結晶半導体デバイスの新たな解析手法として、ナノビームX線回折（nanoXRD）を利用した4次元断層解析「4D-nanoXRD」を開発する。本手法を用いてデバイス動作下の試料を3次元空間分解＋時間分解の4次元でXRD測定することに挑戦する。さらに、4次元のXRDスペクトルを分析するための人工知能解析モデルを開発する。これにより、膨大なデータに基づいた潜在的な物理現象の予測を目指す。加えて、データ解析のボトルネックとなっている長時間の解析時間を短縮することで、物理現象の速やかな理解に結びつける。
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