オンチップ応力・共振マルチモーダル計測によるIoT分子認識センサ

• 研究課題/領域番号: 23K26160
• 補助金の研究課題番号: 23H01466 (2023)
• 研究種目: 基盤研究(B)
• 配分区分: 基金 (2024); 補助金 (2023)
• 応募区分: 一般
• 審査区分: 小区分21060:電子デバイスおよび電子機器関連
• 研究機関: 豊橋技術科学大学
• 研究代表者: 高橋 一浩 豊橋技術科学大学, 次世代半導体・センサ科学研究所, 教授 (90549346)
• 研究期間 (年度): 2023-04-01 – 2026-03-31
• 研究課題ステータス: 交付 (2024年度)
• 配分額: 18,850千円 (直接経費: 14,500千円、間接経費: 4,350千円); 2025年度: 4,810千円 (直接経費: 3,700千円、間接経費: 1,110千円); 2024年度: 5,980千円 (直接経費: 4,600千円、間接経費: 1,380千円); 2023年度: 8,060千円 (直接経費: 6,200千円、間接経費: 1,860千円)
• キーワード: MEMS/NEMS / マルチモーダルセンサ / 表面応力センサ / 共振質量センサ

研究開始時の研究の概要

本研究では、応力・分子質量マルチモーダル分子認識センサの高精度化、高感度化を目指し、アプタマー機能化界面による応力作動計測、およびオンチップ共振計測によるヨクトグラム感度質量センサに取り組む。具体的な研究項目として、(a)自立膜上の生体固体界面の検討、(b)CMOS回路・光検出器との一体化デバイスによるオンチップ力学量計測に取り組み、要素技術開発後に(c)タンパク質マーカー、ウイルスやガスに対するセンサ応答を評価する。以上の課題遂行により、ELISA、PCR、GC/MSなどの大型の計測・分析装置の機能を半導体チップ上に備えた、生体分子・化学物質を検出可能なIoTバイオセンサ実現を目指す。