表面超敏感型同軸型直衝突イオン散乱分光法の開拓と単原子層薄膜の構造解析への応用

• 研究課題/領域番号: 23K26544
• 補助金の研究課題番号: 23H01851 (2023)
• 研究種目: 基盤研究(B)
• 配分区分: 基金 (2024); 補助金 (2023)
• 応募区分: 一般
• 審査区分: 小区分29020:薄膜および表面界面物性関連
• 研究機関: 大阪大学
• 研究代表者: 片山 光浩 大阪大学, 大学院工学研究科, 教授 (70185817)
• 研究分担者: 田畑 博史 大阪大学, 大学院工学研究科, 准教授 (00462705) ; 久保 理 岐阜大学, 工学部, 教授 (70370301)
• 研究期間 (年度): 2023-04-01 – 2027-03-31
• 研究課題ステータス: 交付 (2024年度)
• 配分額: 18,850千円 (直接経費: 14,500千円、間接経費: 4,350千円); 2026年度: 3,120千円 (直接経費: 2,400千円、間接経費: 720千円); 2025年度: 3,120千円 (直接経費: 2,400千円、間接経費: 720千円); 2024年度: 3,120千円 (直接経費: 2,400千円、間接経費: 720千円); 2023年度: 9,490千円 (直接経費: 7,300千円、間接経費: 2,190千円)
• キーワード: 同軸型直衝突イオン散乱分光法 / 表面敏感性低 / 低エネルギーアルカリイオン / 二体弾性衝突モデル / 単原子層薄膜 / 表面敏感性

研究開始時の研究の概要

研究代表者らが長年にわたって研究開発を進めてきた同軸型直衝突イオン散乱分光法(CAICISS)は、入射イオンのエネルギーを 1 keV 以下に
低くすることで、シャドーコーンを大きくすることができ、表面敏感性が高まり、表面最外の単原子層のみを構造解析しうる手法に発展する可能性をもつ。
そこで、本研究では、低エネルギーのアルカリイオンビームをプローブとし、二体弾性衝突モデルが適用可能な範囲で下限の入射エネルギー領域を見い出すことにより、表面超敏感型のCAICISSを開拓し、これを用いて、種々の単原子層薄膜の構造を解明することを目的とする。