研究課題
基盤研究(B)
オペランド電子線ホログラフィーは，動作時デバイス内の電荷挙動を高空間分解能で観察できる強力な手法である．しかし，時間分解能が低いことが問題となっている．そこで，本研究では，①高速オペランド電子線ホログラフィー技術の開発と②電池・半導体デバイスの電荷挙動解析への応用を目的とする．時間分解能を向上するため，静電偏向サブフレーミングと機械学習に基づく画像処理を融合した解析システムを構築する．
