| 研究課題/領域番号 |
23K26565
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| 補助金の研究課題番号 |
23H01872 (2023)
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 基金 (2024)
補助金 (2023) |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 審査区分 |
小区分30010:結晶工学関連
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| 研究機関 | 三重大学 (2024)
一般財団法人ファインセラミックスセンター (2023) |
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研究代表者 |
姚 永昭 三重大学, 研究基盤推進機構, 教授 (80523935)
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| 研究分担者 |
石川 由加里 一般財団法人ファインセラミックスセンター, その他部局等, 特任主幹研究員 (60416196)
菅原 義弘 一般財団法人ファインセラミックスセンター, その他部局等, 上級研究員 (70466291)
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| 研究期間 (年度) |
2023-04-01 – 2027-03-31
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| 研究課題ステータス |
交付 (2024年度)
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| 配分額 *注記 |
19,110千円 (直接経費: 14,700千円、間接経費: 4,410千円)
2026年度: 2,730千円 (直接経費: 2,100千円、間接経費: 630千円)
2025年度: 2,730千円 (直接経費: 2,100千円、間接経費: 630千円)
2024年度: 2,730千円 (直接経費: 2,100千円、間接経費: 630千円)
2023年度: 10,920千円 (直接経費: 8,400千円、間接経費: 2,520千円)
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| キーワード | Ga2O3 / 結晶欠陥 / X線トポグラフィー / オペランド観測 / 転位 / crystal defect / dislocation / power device / operando / X-ray topography |
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| 研究開始時の研究の概要 |
本研究では、実際の電力変換・制御時と同様な高電圧・大電流・高温の条件でデバイスを動作させながら、半導体結晶に含まれる格子欠陥の挙動をサブμmの高空間分解能かつリアルタイムで可視化する手法―パワーデバイス格子欠陥のオペランド観察法―を開発する。観察の結果に基づき、劣化を引き起こすキラー欠陥の正体と劣化の機構を突き止め、高性能・高信頼性のパワーデバイスを実現するために必要な欠陥低減の指針を構築する。
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