| 研究課題/領域番号 |
23KJ1475
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| 研究種目 |
特別研究員奨励費
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 国内 |
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| 審査区分 |
小区分21050:電気電子材料工学関連
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| 研究機関 | 大阪大学 |
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研究代表者 |
村上 史和 大阪大学, 工学研究科, 特別研究員(DC2)
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| 研究期間 (年度) |
2023-04-25 – 2025-03-31
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| 研究課題ステータス |
交付 (2023年度)
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| 配分額 *注記 |
2,000千円 (直接経費: 2,000千円)
2024年度: 1,000千円 (直接経費: 1,000千円)
2023年度: 1,000千円 (直接経費: 1,000千円)
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| キーワード | テラヘルツ波 / レーザーテラへルツ放射顕微鏡 / テラヘルツ波放射分光法 / 窒化ガリウム / ユーロピウムドープ窒化ガリウム |
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| 研究開始時の研究の概要 |
2光子励起によりテラヘルツ波を発生させるレーザーテラへルツ放射顕微鏡を開発し、窒化ガリウムデバイス構造内の電界分布、界面におけるキャリアの時空間ダイナミクスを3次元的にイメージング、解析する。測定対象として、縦型p-n接合や窒化ガリウム/アルミニウム窒化ガリウム界面などを作成し測定する。得られたテラヘルツ波強度マッピングから、界面の電界強度分布やその極性、欠陥の分布を可視化する事で、現在の技術では困難な3次元デバイス構造の非破壊非接触評価・検査を実証する。
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| 研究実績の概要 |
2光子励起システムの構築の前段階として、通常型のテラヘルツ（THz）波放射分光システムと励起波長励起波長走査型システムを組み合わせ、3次元的半導体構造内部のキャリアダイナミクス評価および材料/構造特性評価の基礎システムと解析手法の構築を行った。評価対象には窒化ガリウム超格子構造を用いた。希土類元素ユーロピウムをドープした層とノンドープ層を数nm厚みで交互に積層した構造を持たせ、その内部での注入キャリアの振る舞いを評価した。THz波放射特性と温度の関係から、超格子構造のドープ層・アンドープ層界面に形成される、伝導帯（価電子帯）エネルギーバンド不連続量を見積もることに成功し、半導体3次元構造の内部バンドダイアグラムを非破壊非接触で評価することが可能だと示された。従来この分野・材料に使用されてきたフォトルミネッセンス分光法による評価では欠陥の準位や分布を知ることが出来るが、電気的特性を得ることはであった。また、それらの技術は基本的表面近傍での情報しか抽出できず、超格子構造内部の情報抽出においてTHz波放射分光法が非常に有効な技術であることが示された
この成果は多くの関心を集め、THz波分野最大の国際会議であるIRMMW-THzにおいてKeynote talkへと選ばれた他、アメリカデラウェア州での国際会議ICDS2023で議論を行い、Communications materials（IF 7.8）への掲載された。3次元構造評価技術確立を目指す本研究において、該当年度の成果は非常に大きな前進であるといえる。
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| 現在までの達成度 (区分) |
現在までの達成度 (区分)
2: おおむね順調に進展している
理由
当初計画していた2光子励起によるTHz波放射分光システムの構築には年度中に至らなかった。この点では、研究課題の進捗状況は一歩遅れていると考えられる。
一方、THz波放射の励起波長依存性・温度依存性を利用して窒化ガリウム超格子構造内部での電荷のふるまいの分析することに成功。さらにそこから構造内部のバンドダイアグラムを非破壊非接触で評価した。これらの成果は本研究の目指すところである半導体3次元構造の評価という点においては、非常に大きな進歩である。
上記の理由により、本研究課題は順調に進展していると考える。
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| 今後の研究の推進方策 |
ここまでの成果から、構造内部の電荷の動きに対する分析手法が示された。今後はさらに内部を詳細に評価、３Ｄマッピングなど高度な評価を可能とするため、2光子励起システムの構築へ取り組む。
現在課題となっているのは、2光子励起でのTHz波放射強度が弱いことである。検出感度を上げるためにテラスパイク(Teraspike: Protemics GmbH)：近接プローブ型の検出器を導入する予定である。またより大きなエミッションが期待される窒化ガリウム/酸化亜鉛積層構造の作成を共同研究先へ依頼し、システム構築のためのベース試料として用いる。これによるシステムベースモデルを構築したのち、実際の評価試料に向けた最適化を行う。
窒化ガリウム縦型PNダイオード構造を評価対象に、半導体内部の接合部における電界強度と極性、またそのマッピングを行い、半導体3次元構造における非破壊内部評価、３Ｄマッピングを実証する。
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