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ナノ秒パルス伝導解析が拓く2次元ヘテロ構造における非平衡キャリアダイナミクス

研究課題

研究課題/領域番号 23KK0090
研究種目

国際共同研究加速基金(海外連携研究)

配分区分基金
審査区分 中区分28:ナノマイクロ科学およびその関連分野
研究機関千葉大学

研究代表者

青木 伸之  千葉大学, 大学院工学研究院, 教授 (60312930)

研究分担者 音 賢一  千葉大学, 大学院理学研究院, 教授 (30263198)
柯 夢南  千葉大学, 大学院工学研究院, 助教 (40849402)
研究期間 (年度) 2023-09-08 – 2027-03-31
研究課題ステータス 交付 (2023年度)
配分額 *注記
20,800千円 (直接経費: 16,000千円、間接経費: 4,800千円)
2026年度: 5,200千円 (直接経費: 4,000千円、間接経費: 1,200千円)
2025年度: 5,200千円 (直接経費: 4,000千円、間接経費: 1,200千円)
2024年度: 5,200千円 (直接経費: 4,000千円、間接経費: 1,200千円)
2023年度: 5,200千円 (直接経費: 4,000千円、間接経費: 1,200千円)
キーワードナノ秒パルス伝導 / 遷移金属ダイカルコゲナイド / バレーホール効果 / トランスファー技術 / ファンデルワールス積層 / トンネル型電界効果トランジスタ / ナノ秒パルス / 非平衡ダイナミクス / 電気伝導 / 2次元物質 / ヘテロ接合
研究開始時の研究の概要

本研究は,ナノ秒パルス解析によって,2次元半導体物質を用いた次世代デバイスにおける非平衡キャリア伝導ダイナミクスを明らかにする。ナノ秒パルス解析法を適用し,次世代の半導体デバイス,とくに原子層特有のバレーホール効果や,トンネル型FET,2次元半導体界面におけるトラップ現象などに対する時間分解解析により,非平衡状態におけるキャリア伝導とフォノン系へのエネルギー散逸のダイナミクスを明らかにする。

研究実績の概要

本研究はナノ秒パルス解析によって,遷移金属ダイカルコゲナイド(TMDC)を中心とした2次元半導体物質を用いた次世代デバイスにおける非平衡キャリア伝導ダイナミクスを明らかにする。これまで研究代表者らが確立してきた,高度なファンデルワールス積層化技術によってもたらされる高精細ヘテロ接合系による電界効果トランジスタ(FET)構造を基にした新奇電子デバイスに対し,バッファロー大のバード教授が有するナノ秒パルス解析法を適用する。次世代の半導体デバイス,とくに原子層特有のバレーホール効果におけるバレー流の伝搬や,トンネル型FET,2次元半導体界面におけるトラップ現象などに対する時間分解解析は十分に行われておらず,非平衡状態におけるキャリア伝導とフォノン系へのエネルギー散逸のダイナミクスはいまだ明らかになっていない。千葉大グループとバッファロー大グループそれぞれが確立してきた技術を結集し,千葉大グループにおけるパルス伝導測定系の構築も含め,非平衡キャリア伝導ダイナミクス研究拠点形成を目指した国際共同研究を展開する。
そのため,2023年12月に共同研究者であるバッファロー大のバード教授を千葉大に招聘し,最近の研究内容の進展を紹介し,互い研究グループの有する技術と実験装置の確認を行うとともに,今後の交流計画,試料構造の確認等の打ち合わせを行った。また,バード教授と共同で研究を進めているアリゾナ州立大のD.K.フェリー教授の研究室に1週間訪問し,バレー流の量子化現象の可能性と,従来の量子伝導現象との違いについて議論を行った。さらに,今後パルス伝導実験の対象として計画しているTMDCで構成したトンネル型FETに関する研究成果が,Appl. Phys. Lett.に掲載が決定した。

現在までの達成度 (区分)
現在までの達成度 (区分)

2: おおむね順調に進展している

理由

初年度である2023年度はナノ秒パルス解析研究に関する準備を行った。バッファロー大のバード教授を千葉大に招聘し,今後の共同研究の推進について打ち合わせを行った。とくに,現在行っている研究テーマとその現状について互いに発表を行うことで,確認を行った。この間,これまで進めてきた共同研究の成果に関して論文にして出版するための議論を行うことができた。また,次年度に予定しているバッファロー大での共同実験に関する打ち合わせを行い,7月の後半から9月の前半に掛けてバッファローに滞在してパルス伝導実験に関するトレーニングを受けるための計画の検討を行った。
研究内容の進捗としては,今後パルス伝導実験を行う対象である,2次元物質の一種である単層MoS2におけるバレーホール効果の研究を進めた。とくに今年度はバレーホール効果に対してスプリットゲート構造を導入することで,バレー流の階段状の変化の観測に成功したことから,その特性の解析を進めてきた。バード教授の共通の共同研究者であるアリゾナ州立大のD.K.フェリー教授の研究室に1週間訪問し,バレー流の量子化現象の可能性と,従来の量子伝導現象との違いについて議論を行った。こらの議論をもとに,2024年度には国際共著論文の執筆を計画している。

今後の研究の推進方策

本研究はナノ秒パルス解析によって,遷移金属ダイカルコゲナイドを中心とした2次元半導体物質を用いた次世代デバイスにおける非平衡キャリア伝導ダイナミクスを明らかにすることを目的とする。2年目となる2024年度の計画としては,7月から9月にかけ,研究協力者の大学院生らと共にバッファロー大に滞在し,パルス伝導実験に参加することを計画している。現地での実験に参加し,パルス伝導実験のために必要なインピーダンスマッチングを考慮した試料構造および試料のマウント方法,さらに測定装置の扱い方などについて学ぶことになっている。これらの技術を千葉大に持ち帰り,パルス伝導実験ができる環境を整えていく。また,今後遷移金属ダイカルコゲナイドの一種であるMoTe2で構成されたトンネル型FETもパルス伝導実験での対象として考えている。また,7月末にはカナダのオタワで開催される半導体物理に関する国際会議(ICPS2024)に参加し,バレーホール効果の量子化現象の成果について発表を行うと共に,国際論文誌への投稿をめざす。

報告書

(1件)
  • 2023 実施状況報告書
  • 研究成果

    (24件)

すべて 2024 2023 その他

すべて 国際共同研究 (3件) 雑誌論文 (4件) (うち査読あり 4件、 オープンアクセス 1件) 学会発表 (16件) (うち国際学会 5件) 備考 (1件)

  • [国際共同研究] ニューヨーク州立大学バッファロー校/アリゾナ州立大学(米国)

    • 関連する報告書
      2023 実施状況報告書
  • [国際共同研究] 成均館大学(韓国)

    • 関連する報告書
      2023 実施状況報告書
  • [国際共同研究] 国立台湾大学/国立嘉儀大学/中原大学(その他の国・地域)

    • 関連する報告書
      2023 実施状況報告書
  • [雑誌論文] Realization of MoTe2 CMOS inverter by contact doping and channel encapsulation.2024

    • 著者名/発表者名
      T. Xie, M. Ke, K. Ueno, K. Watanabe, T. Taniguchi, N. Aoki
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 63

    • 関連する報告書
      2023 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] High-definition direct-print of metallic microdots with optical vortex induced forward transfer2024

    • 著者名/発表者名
      Wei Rong, Kawaguchi Haruki, Sato Kaito, Kai Sayaka, Yamane Keisaku, Morita Ryuji, Yuyama Ken-ichi, Kawano Satoyuki, Miyamoto Katsuhiko, Aoki Nobuyuki, Omatsu Takashige
    • 雑誌名

      APL Photonics

      巻: 9 号: 3 ページ: 036108-036108

    • DOI

      10.1063/5.0187189

    • 関連する報告書
      2023 実施状況報告書
    • 査読あり / オープンアクセス
  • [雑誌論文] Enhancing optical characteristics of mediator-assisted wafer-scale MoS2 and WS2 on h-BN2023

    • 著者名/発表者名
      Sheng-Kuei Chiu, Ming-Chi Li, Ji-Wei Ci, Yuan-Chih Hung, Dung-Sheng Tsai, Chien-Han Chen, Li-Hung Lin, Kenji Watanabe, Takashi Taniguchi, Nobuyuki Aoki, Ya-Ping Hsieh, Chiashain Chuang
    • 雑誌名

      Nanotechnology

      巻: 34

    • 関連する報告書
      2023 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Doping-Free High-Performance Photovoltaic Effect in a WSe<sub>2</sub> Lateral <i>p-n</i> Homojunction Formed by Contact Engineering2023

    • 著者名/発表者名
      Le Thi Hai Yen, Ngo Tien Dat, Phan Nhat Anh Nguyen, Shin Hoseong, Uddin Inayat, Venkatesan A., Liang Chi-Te, Aoki Nobuyuki, Yoo Won Jong, Watanabe Kenji, Taniguchi Takashi, Kim Gil-Ho
    • 雑誌名

      ACS Applied Materials &amp; Interfaces

      巻: 15 号: 29 ページ: 35342-35349

    • DOI

      10.1021/acsami.3c05451

    • 関連する報告書
      2023 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] 2層MoS2 /h -BN MISキャパシタでの界面準位密度の測定2024

    • 著者名/発表者名
      鶴岡 大樹、柯 梦南、青木 伸之
    • 学会等名
      第29回電子デバイス界面テクノロジー研究会
    • 関連する報告書
      2023 実施状況報告書
  • [学会発表] ALDの実現に向けたオゾン処理と真空アニールによる WSe2表面へのSe欠陥導入2024

    • 著者名/発表者名
      小島 拓也、堀場 大輔、柯 梦南、青木 伸之
    • 学会等名
      第29回電子デバイス界面テクノロジー研究会
    • 関連する報告書
      2023 実施状況報告書
  • [学会発表] Development of vertical TFET using ambipolar MoTe2/Ge and MoTe2/Si heterostructures2024

    • 著者名/発表者名
      Mengnan Ke, Yuga Nakamura, Koya Kudo, Xueyang Han, Nobuyuki Aoki
    • 学会等名
      The 66th Fullerenes-Nanotubes-Graphene General Symposium
    • 関連する報告書
      2023 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Cs0.33WO3薄膜の成膜条件と電気伝導特性の評価2024

    • 著者名/発表者名
      大重 龍、鈴木 千名津、塚本 達也、大上 秀晴、足立 健治、青木 伸之
    • 学会等名
      2024年第71回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実施状況報告書
  • [学会発表] ALDの実現に向けたオゾン処理と真空アニールによるWSe2への表面改質の評価2024

    • 著者名/発表者名
      小島 拓也、堀場 大輔、柯 梦南、青木 伸之
    • 学会等名
      2024年第71回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実施状況報告書
  • [学会発表] MoTe2/p-Ge、およびMoTe2/p++-Siヘテロ構造を用いた縦型TFETの研究2024

    • 著者名/発表者名
      工藤 晃哉、中村 宥雅、青木 伸之、柯 夢南
    • 学会等名
      2024年第71回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実施状況報告書
  • [学会発表] F6-TCNNQ成膜によるWSe2-FETへの電荷移動ドーピングの評価2024

    • 著者名/発表者名
      堀場 大輔、小島 拓也、松田 健生、坂梨 昂平、熊谷 翔平、岡本 敏宏、青木 伸之
    • 学会等名
      2024年第71回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実施状況報告書
  • [学会発表] スプリットゲート構造によるバレー流の量子化現象の観測2024

    • 著者名/発表者名
      高橋 慶、中山 祐輔、バード ジョナサン、渡邊 賢治、谷口 尚、柯 梦南、青木 伸之
    • 学会等名
      2024年第71回応用物理学会春季学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実施状況報告書
  • [学会発表] High-performance CMOS inverter based on MoTe2-FETsachieved by contact doping and channel encapsulation2023

    • 著者名/発表者名
      Tianshun Xie, Mengnan Ke, Nobuyuki Aoki
    • 学会等名
      2023 International Conference on Solid State Devices and Materials
    • 関連する報告書
      2023 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] h-BN層の挿入によるSiO2/h-BN/MoS2 n-FETのId-Vg ヒステリシスの制御2023

    • 著者名/発表者名
      柯 夢南、馮 家泉、鶴岡 大樹、謝 天順、青木 伸之
    • 学会等名
      2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実施状況報告書
  • [学会発表] ALDに向けた有機/無機アクセプター成膜によるWSe2-FETへの電荷移動ドーピングの評価2023

    • 著者名/発表者名
      堀場 大輔、坂梨 昂平、柯 梦南、青木 伸之
    • 学会等名
      2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実施状況報告書
  • [学会発表] 単層MoS2におけるバレー流の局所ゲート制御2023

    • 著者名/発表者名
      高橋 慶、福田 和紀、渡邊 賢治、谷口 尚、柯 夢南、青木 伸之
    • 学会等名
      2023年第84回応用物理学会秋季学術講演会
    • 関連する報告書
      2023 実施状況報告書
  • [学会発表] 2層 MoS2 MIS キャパシタでのコンダクタンス法による界面準位密度の測定と評価2023

    • 著者名/発表者名
      鶴岡 大樹、柯 梦南、青木 伸之
    • 学会等名
      The 20th IEEE Transdisciplinary-Oriented Workshop for Emerging Researchers
    • 関連する報告書
      2023 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] CVD合成されたグラフェンナノリボンの新しい線幅制御法の開発2023

    • 著者名/発表者名
      中村 志穂、堀場 大輔、柴 史之、山本 和貫、青木 伸之
    • 学会等名
      第33回日本MRS年次大会
    • 関連する報告書
      2023 実施状況報告書
  • [学会発表] Charge Transfer Doping for P-Type 2D-FETs by Self Assembled Organic Monolayer Deposition and Use as Seed Layer in ALD Process2023

    • 著者名/発表者名
      Daisuke Horiba, Takuya Kojima, Kohei Sakanashi, Mengnan Ke and Nobuyuki Aoki
    • 学会等名
      International Microprocesses and Nanotechnology Conference
    • 関連する報告書
      2023 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] Realization of vertical n- and p- TFET with ambipolar MoTe2 using MoTe2/p-Ge and MoTe2/n-Si heterostructures2023

    • 著者名/発表者名
      Yuga Nakamura, Xueyang Han, Nobuyuki Aoki and Mengnan Ke
    • 学会等名
      36th International Microprocesses and Nanotechnology Conference
    • 関連する報告書
      2023 実施状況報告書
    • 国際学会
  • [備考] 千葉大学量子デバイス研究グループ

    • URL

      https://adv.chiba-u.jp/nano/qnd/index.html

    • 関連する報告書
      2023 実施状況報告書

URL: 

公開日: 2023-09-12   更新日: 2024-12-25  

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