|
レジスト膜やカラーフィルターなどの機能性フィルムの塗布プロセスに関する解析技術を、物理法則に基づいた機械学習法(物理ベースAI)によって革新する。塗布プロセスで発生する膜厚ムラを従来の数値シミュレーションで予測する際、物理モデルの一部に定式化困難なものがあることが課題であったが、これを機械学習によって観測データから物理モデルを獲得することで解決を目指す。液膜流れの理論と計算法を得意とする申請者が、物理ベースAIに関して世界を先導する米国ブラウン大学のProf. Karniadakisと国際共同研究を行うことで、液膜流れの解析技術に関して世界を牽引する研究体制を構築し、国内研究を加速させる。
|
