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リソグラフィを用いずにナノ構造を作るための金型製造技術の開発

研究課題

研究課題/領域番号 24246027
研究種目

基盤研究(A)

配分区分補助金
応募区分一般
研究分野 生産工学・加工学
研究機関東京大学

研究代表者

中尾 政之  東京大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (90242007)

研究分担者 長藤 圭介  東京大学, 大学院工学系研究科, 講師 (50546231)
土屋 健介  東京大学, 生産技術研究所, 准教授 (80345173)
研究期間 (年度) 2012-04-01 – 2015-03-31
研究課題ステータス 完了 (2014年度)
配分額 *注記
46,540千円 (直接経費: 35,800千円、間接経費: 10,740千円)
2014年度: 11,830千円 (直接経費: 9,100千円、間接経費: 2,730千円)
2013年度: 11,700千円 (直接経費: 9,000千円、間接経費: 2,700千円)
2012年度: 23,010千円 (直接経費: 17,700千円、間接経費: 5,310千円)
キーワードマイクロ・ナノデバイス / 機械工作・生産工学 / 結晶成長 / エネルギー効率化 / 燃料電池
研究成果の概要

本研究では、リソグラフィ技術を用いずに、数10nmから数μmのピッチや高さを有するナノ構造を形成する金型製造技術を開発する。ナノ構造を形成する技術とは、具体的に、(a)金型全面に直径が可視光波長以下の針状組織を形成するためのナノワイヤの結晶成長技術、(b)上記針状組織を円錐組織に変形する成膜・エッチング技術、(c)金型全面に直径が可視光波長以下の円柱穴組織を形成するための通電孔生成を伴う陽極酸化技術、(d)上記円柱穴組織を円錐穴組織に変形する段階的なエッチング技術、(e)金型全面に球状組織を形成するための樹脂や金属の球含有のメッキ技術、などである。

報告書

(4件)
  • 2014 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2013 実績報告書
  • 2012 実績報告書
  • 研究成果

    (35件)

すべて 2015 2014 2013 2012

すべて 雑誌論文 (5件) (うち査読あり 5件、 オープンアクセス 1件、 謝辞記載あり 4件) 学会発表 (30件)

  • [雑誌論文] Fabrication of through-hole membrane with anodic-alumina nanohole array2015

    • 著者名/発表者名
      L. Wang, K. Nagato, S. Iwasaki, T. Hamaguchi, M. Nakao
    • 雑誌名

      Microelectron. Eng.

      巻: 141 ページ: 62-67

    • DOI

      10.1016/j.mee.2015.01.037

    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] High-Speed Replication of Light-Extraction Structure with Thermal roller Nanoimprinting2015

    • 著者名/発表者名
      K. Takahashi, K. Nagato, T. Hamaguchi, M. Nakao
    • 雑誌名

      Microelectron. Eng.

      巻: 印刷中 ページ: 285-288

    • DOI

      10.1016/j.mee.2015.03.069

    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Injection compression molding of replica molds for nanoimprint lithography2014

    • 著者名/発表者名
      K. Nagato
    • 雑誌名

      Polymers

      巻: 6 号: 3 ページ: 604-612

    • DOI

      10.3390/polym6030604

    • 関連する報告書
      2014 実績報告書 2013 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Laser-assisted replication of large-area nanostructures2014

    • 著者名/発表者名
      K. Nagato, K. Takahashi, T. Sato, J. Choi, T. Hamaguchi, M. Nakao
    • 雑誌名

      J. Mater. Proc. Technol.

      巻: 214 号: 11 ページ: 2444-2449

    • DOI

      10.1016/j.jmatprotec.2014.05.025

    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Morphology control of nickel oxide nanowires2012

    • 著者名/発表者名
      K. Sekiya, K. Nagato, T. Hamaguchi, M. Nakao
    • 雑誌名

      Microelectronic Engineering

      巻: 98 ページ: 532-535

    • DOI

      10.1016/j.mee.2012.07.049

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] ロール熱ナノインプリントにおける成形状態のリアルタイム測定―第2報:回折格子形状の成形2015

    • 著者名/発表者名
      日紫喜賢太,長藤圭介,高橋賢,濱口哲也,中尾政之
    • 学会等名
      精密工学会春季大会
    • 発表場所
      東洋大学,東京都
    • 年月日
      2015-03-18
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] アルミニウム接着表面のアンカー効果を向上する陽極酸化構造2015

    • 著者名/発表者名
      山口拓夢,長藤圭介,三村達矢,長谷川真一,中尾政之,草加浩平
    • 学会等名
      精密工学会春季大会
    • 発表場所
      東洋大学,東京都
    • 年月日
      2015-03-17
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] Laser-Assisted Replication of Large-Area Nanostructures and Antireflection Structure2014

    • 著者名/発表者名
      K. Nagato, K. Takahashi, M. Nakao
    • 学会等名
      Asian Workshop on Polymer Processing (AWPP)
    • 発表場所
      Kenting, Taiwan
    • 年月日
      2014-11-18
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] レーザアシストロールナノインプリントを用いた光取出しフィルムの製造2014

    • 著者名/発表者名
      長藤圭介,高橋賢,中尾政之
    • 学会等名
      日本機械学会第10回生産加工・工作機械部門講演会
    • 発表場所
      徳島大学,徳島県
    • 年月日
      2014-11-15
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] Thermal Roller Nanoimprinting -Multilayered Structures, Laser-Assisted Replication-2014

    • 著者名/発表者名
      K. Nagato, K. Takahashi, M. Nakao
    • 学会等名
      14th International Conference on Nanoimprint and Nanoprint Technology (NNT)
    • 発表場所
      Kyoto, Japan (ANA Crown Praza Kyoto)
    • 年月日
      2014-10-23
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] High-Speed Replication of Light-Extraction Structure with Thermal Roller Nanoimprinting2014

    • 著者名/発表者名
      K. Takahashi, K. Nagato, T. Hamaguchi, M. Nakao
    • 学会等名
      40th Micro and Nano Engineering (MNE)
    • 発表場所
      Lausanne, Switzerland
    • 年月日
      2014-09-23
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] レーザアシストロールナノインプリントを用いた反射防止構造の製作2014

    • 著者名/発表者名
      長藤圭介,高橋賢,中尾政之
    • 学会等名
      精密工学会秋季大会学術講演会
    • 発表場所
      鳥取大学,鳥取県
    • 年月日
      2014-09-16
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] Adhesively-Bonded Joint for Aluminum Pipe Frame Structures and Mechanical Properties2014

    • 著者名/発表者名
      K. Shintani, ○K. Nagato, R. Fukui, M. Nakao, K. Kusaka
    • 学会等名
      5th World Congress on Adhesion and Related Phenomena (WCARP-V)
    • 発表場所
      Nara, Japan (Nara Prefectural New Public Hall)
    • 年月日
      2014-09-08
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] Real-Time Observation of Paste during Mico-Via Filling in Screen Printing2014

    • 著者名/発表者名
      K. Nagato, K. Mitamura, S. Shinagawa, and M. Nakao
    • 学会等名
      The 5th International Conference on Nanomanufacturing (nanoMan2014)
    • 発表場所
      Bremen, Germany
    • 年月日
      2014-07-08
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] High-Speed and Low-Energy-Consumption Replication of Nanostructures with Laser-Assisted Roller Nanoimprinting2014

    • 著者名/発表者名
      K. Takahashi, K Nagato, J. Wang, T. Hamaguchi, and M. Nakao
    • 学会等名
      58th international conference on electron, ion, and photon beam technology and nanofabrication (EIPBN)
    • 発表場所
      Washington DC, USA
    • 年月日
      2014-05-30
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] Morphology Control of Anodic Porous Alumina Using Nanoimprinting2014

    • 著者名/発表者名
      S. Iwasaki, K. Nagato, L. Wang, Y. Li, J.-J. Delaunay, and M. Nakao
    • 学会等名
      58th international conference on electron, ion, and photon beam technology and nanofabrication (EIPBN)
    • 発表場所
      Washington DC, USA
    • 年月日
      2014-05-28
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] High-Heat-Transfer Boiling Surface with Micropattern Replicated by Nanoimprinting2014

    • 著者名/発表者名
      S. Miyazaki, K. Nagato, Y. Watanabe, K. Takahashi, N. Shikazono, and M. Nakao
    • 学会等名
      58th international conference on electron, ion, and photon beam technology and nanofabrication (EIPBN)
    • 発表場所
      Washington DC, USA
    • 年月日
      2014-05-28
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] スクリーン印刷におけるペーストのマイクロ孔埋め現象の光学顕微鏡観察2014

    • 著者名/発表者名
      三田村圭,長藤圭介,品川俊太,濱口哲也,中尾政之
    • 学会等名
      2014年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      東京大学,東京
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] 熱ナノインプリントにおける断熱ロールを用いた熱流束一方向制御2014

    • 著者名/発表者名
      庄原理子,長藤圭介,高橋賢,濱口哲也,中尾政之
    • 学会等名
      2014年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      東京大学,東京
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] レーザ表面加熱を用いた微細構造のロール熱ナノインプリント技術の開発~第2報:パワー密度が転写性に与える影響2014

    • 著者名/発表者名
      高橋賢,長藤圭介,濱口哲也,中尾政之
    • 学会等名
      2014年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      東京大学,東京
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] ナノインプリントを用いた沸騰伝熱面の熱流束向上2014

    • 著者名/発表者名
      宮崎俊平,長藤圭介,渡辺康章,高橋賢,鹿園直毅,中尾政之
    • 学会等名
      2014年度精密工学会春季大会学術講演会
    • 発表場所
      東京大学,東京
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] Laser-assisted roller imprinting of nanostructures with real-time monitoring of replication degree2013

    • 著者名/発表者名
      Ken Takahashi, Keisuke Nagato, Toshimi Sato, Daisuke Suehiro, Tetsuya Hamaguchi, Masayuki Nakao
    • 学会等名
      American Society for Precision Engineering (ASPE) Annual Meeting
    • 発表場所
      St. Paul, Minnesota, USA
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] Continuous and fast manufacturing technique of ion-conducting ceramic compacts with oriented anisotropic particle2013

    • 著者名/発表者名
      Takuma Yamauchi, Shota Ikeshima, Keisuke Nagato, Tetsuya Hamaguchi, Masayuki Nakao
    • 学会等名
      American Society for Precision Engineering (ASPE) Annual Meeting
    • 発表場所
      St. Paul, Minnesota, USA
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] Orientation-controlled microfabrication of anode of solid oxide fuel cells2013

    • 著者名/発表者名
      Shunta Shinagawa, Keisuke Nagato, Naoki Shikazono, Tetsuya Hamaguchi, Masayuki Nakao
    • 学会等名
      American Society for Precision Engineering (ASPE) Annual Meeting
    • 発表場所
      St. Paul, Minnesota, USA
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] レーザ表面加熱を用いた微細構造のロール熱ナノインプリント技術の開発2013

    • 著者名/発表者名
      高橋賢,長藤圭介,矢鳴里奈,佐藤淑美,濱口哲也,中尾政之
    • 学会等名
      精密工学会2013年度秋季大会
    • 発表場所
      関西大学,大阪
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] ロール熱ナノインプリントにおける成形状態のリアルタイム測定2013

    • 著者名/発表者名
      高橋賢,長藤圭介,末弘大介,濱口哲也,中尾政之
    • 学会等名
      精密工学会2013年度春季大会
    • 発表場所
      東京工業大学,東京
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Roller Replication of Nano/Microstructures of Polymers, Glasses, Metals, and Ceramics2012

    • 著者名/発表者名
      Keisuke Nagato, Daisuke Suehiro, Toshimi Sato, Shota Ikeshima, Yasuaki Watanabe, Masayuki Nakao
    • 学会等名
      The 3rd International Conference on Nanomanufacturing (nanoMan2012)
    • 発表場所
      理化学研究所,埼玉
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Improvement of heat transfer coefficient of boiling surface on nanostructured metal using nanoimprinting2012

    • 著者名/発表者名
      Yasuaki Watanabe, Keisuke Nagato, Naoki Shikazono, Tetsuya Hamaguchi, Masayuki Nakao
    • 学会等名
      26th American Society for Precision Engineering (ASPE) Annual Meeting
    • 発表場所
      San Diego, CA, USA
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Orienattion control of anisotropic particle by shear force2012

    • 著者名/発表者名
      Shota Ikeshima, Keisuke Nagato, Tetsuya Hamaguchi, Masayuki Nakao
    • 学会等名
      26th American Society for Precision Engineering (ASPE) Annual Meeting
    • 発表場所
      San Diego, CA, USA
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Micromixer of multi-material slurry with rotation-split-combination cycle for ceramic components2012

    • 著者名/発表者名
      Takuma Yamauchi, Keisuke Nagato, Shota Ikeshima, Tetsuya Hamaguchi, Masayuki Nakao
    • 学会等名
      26th American Society for Precision Engineering (ASPE) Annual Meeting
    • 発表場所
      San Diego, CA, USA
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Enhancement of power efficiency of solid oxide fuel cells by aligninh microstructure path of ion/electron/gas in anode2012

    • 著者名/発表者名
      Shunta Shinagawa, Keisuke Nagato, Naoki Shikazono, Tetsuya Hamaguchi, Masayuki Nakao
    • 学会等名
      26th American Society for Precision Engineering (ASPE) Annual Meeting
    • 発表場所
      San Diego, CA, USA
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] High-speed shearing of multilayered light-waveguide2012

    • 著者名/発表者名
      Keisuke Nagato, Ryota Nakabayashi, Tetsuya Hamaguchi, Masayuki Nakao
    • 学会等名
      38th International Conference on Micro and Nano Engineering (MNE)
    • 発表場所
      Toulouse, FRANCE
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Antireflection structure fabricated by changing Fe2O3 nanowires to Fe3O4 nanocones2012

    • 著者名/発表者名
      Keisuke Nagato, Ryunosuke Fujisawa, Daisuke Suehiro, M. Kikuta, Tetsuya Hamaguchi, Masayuki Nakao
    • 学会等名
      38th International Conference on Micro and Nano Engineering (MNE)
    • 発表場所
      Toulouse, FRANCE
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] SOFC燃料極内におけるNiとYSZの配列制御2012

    • 著者名/発表者名
      品川俊太,長藤圭介,鹿園直毅,関谷要,尺田将喜,濱口哲也,中尾政之
    • 学会等名
      日本機械学会2012年度年次大会
    • 発表場所
      金沢大学,石川
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] レーザアシスト成形によるナノ・マイクロ構造の高速転写2012

    • 著者名/発表者名
      長藤圭介,佐藤淑美,濱口哲也,中尾政之
    • 学会等名
      第23回プラスチック成形加工学会年次大会
    • 発表場所
      タワーホール船堀,東京
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書

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公開日: 2013-05-15   更新日: 2019-07-29  

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