| 研究課題/領域番号 |
24246028
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| 研究種目 |
基盤研究(A)
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| 配分区分 | 補助金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
生産工学・加工学
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| 研究機関 | 大阪大学 |
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研究代表者 |
高谷 裕浩 大阪大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (70243178)
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| 研究分担者 |
林 照剛 大阪大学, 大学院工学研究科, 准教授 (00334011)
道畑 正岐 大阪大学, 大学院工学研究科, 助教 (70588855)
水谷 康弘 大阪大学, 大学院工学研究科, 准教授 (40374152)
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| 研究期間 (年度) |
2012-04-01 – 2016-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2015年度)
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| 配分額 *注記 |
47,190千円 (直接経費: 36,300千円、間接経費: 10,890千円)
2015年度: 3,380千円 (直接経費: 2,600千円、間接経費: 780千円)
2014年度: 7,540千円 (直接経費: 5,800千円、間接経費: 1,740千円)
2013年度: 11,310千円 (直接経費: 8,700千円、間接経費: 2,610千円)
2012年度: 24,960千円 (直接経費: 19,200千円、間接経費: 5,760千円)
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| キーワード | フォトニック・ナノジェット / 超高アスペクト比微細加工 / 微粒子レンズ / 光放射圧 / フェムト秒パルスレーザー / 非熱的アブレーション加工 / 定在場スケール / 加工量計測 |
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| 研究成果の概要 |
チューナブル・フェムト秒チタンサファイアレーザー光源を用いた本研究独自のフェムト秒パルスPNJ生成基本光学系を設計・試作した．それを用いて，固定マイクロ球を利用したPNJ位置制御による，単結晶Siウェハ基礎加工実験を行い，サブミクロンスケールの加工分解能を有することを示した．また，プローブ球位置計測手法として白色光共焦点法を適用した，高分解能PNJ定在場スケール検出によって，数10nmの高分解能な変位計測を実現した．さらに，ピッチ597nm，深さ57nmの表面微細形状を有する回折格子の表面トポグラフィ・イメージングを遂行し，走査型マイクロ球光学顕微鏡の基本原理を確立した．
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