集積回路上光配線に向けた横方向電流注入型半導体薄膜レーザの研究

• 研究課題/領域番号: 24246061
• 研究種目: 基盤研究(A)
• 配分区分: 補助金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 電子デバイス・電子機器
• 研究機関: 東京工業大学
• 研究代表者: 荒井 滋久 東京工業大学, 量子ナノエレクトロニクス研究センター, 教授 (30151137)
• 連携研究者: 雨宮 智宏 東京工業大学, 量子ナノエレクトロニクス研究センター, 助教 (80551275)
• 研究期間 (年度): 2012-04-01 – 2015-03-31
• 研究課題ステータス: 完了 (2014年度)
• 配分額: 44,980千円 (直接経費: 34,600千円、間接経費: 10,380千円); 2014年度: 9,100千円 (直接経費: 7,000千円、間接経費: 2,100千円); 2013年度: 11,570千円 (直接経費: 8,900千円、間接経費: 2,670千円); 2012年度: 24,310千円 (直接経費: 18,700千円、間接経費: 5,610千円)
• キーワード: 半導体薄膜レーザ / 光配線 / 極低消費電力動作 / 分布帰還レーザ / 分布反射型レーザ / 半導体レーザ

研究成果の概要

オンチップ光配線への応用に向けた小型かつ極低消費電力動作が可能な強光閉じ込め効果を用いた極低しきい値半導体薄膜DFBレーザの実現および高速動作化を目的として研究を行い、以下の成果を得た。
独自に考案した半導体薄膜構造を用いるレーザの低消費電力・高速直接変調可能性を理論的に明らかにすると共に、実際に回折格子反射器を用いる半導体薄膜分布帰還レーザ、およびさらに高効率動作が可能な半導体薄膜分布反射型レーザを作製し、極低電流動作を実現した。さらに、このレーザと光導波路を介して光検出器を集積し、将来の集積回路に重要となる光配線に向けた半導体薄膜光集積回路構造を初めて試作した。

研究成果

• [雑誌論文] Optical Lattice Model Towards Nonreciprocal Invisibility Cloaking (2015)
  • 著者名/発表者名: Tomohiro Amemiya, Masato Taki, Toru Kanazawa, Takuo Hiratani, and Shigehisa Arai
  • 雑誌名: IEEE J. Quantum Electron. 巻: 51 号: 3 ページ: 6100110-6100110
  • DOI: 10.1109/jqe.2015.2389853
  • 査読あり / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] Optical and Magnetic Microstructures in YIG Ferrite Fabricated by Femtosecond Laser (2015)
  • 著者名/発表者名: Atsushi Ishikawa, Tomohiro Amemiya, Yuya Shoji, Pham Nam Hai, Masaaki Tanaka, Tetsuya Mizumoto, Shigehisa Arai, and Takuo Tanaka
  • 雑誌名: J. of Laser Micro/Nanoengineering 巻: 10 号: 1 ページ: 48-52
  • DOI: 10.2961/jlmn.2015.01.0010
  • 査読あり / オープンアクセス / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] Permeability-controlled Optical Modulator with Tri-gate Metamaterial: Control of Permeability on InP-based Photonic Integration Platform (2015)
  • 著者名/発表者名: Tomohiro Amemiya, Atsushi Ishikawa, Toru Kanazawa, JoonHyun Kang, Nobuhiko Nishiyama, Yasuyuki Miyamoto, Takuo Tanaka, and Shigehisa Arai
  • 雑誌名: Scientific Reports 巻: 29 号: 1 ページ: 2110-2115
  • DOI: 10.1038/srep08985
  • 査読あり / オープンアクセス / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] Thermal properties of lateral-current-injection semiconductor membrane Fabry-Perot laser under continuous-wave operation. (2015)
  • 著者名/発表者名: T. Hiratani, K. Doi, J. Lee, D. Inoue, T. Amemiya, N. Nishiyama, and S. Arai
  • 雑誌名: Japanese Journal of Applied Physics 巻: 54 号: 4 ページ: 042701-042701
  • DOI: 10.7567/jjap.54.042701
  • 査読あり
• [雑誌論文] Design of apodized hydrogenated amorphous silicon grating couplers with metal mirrors for inter-layer signal coupling: Toward three-dimensional optical interconnection (2015)
  • 著者名/発表者名: Yuki Kuno, JoonHyun Kang, Yusuke Hayashi, Junichi Suzuki, Tomohiro Amemiya, Nobuhiko Nishiyama, and Shigehisa Arai
  • 雑誌名: Jpn. J. Appl. Phys. 巻: 54 号: 4S ページ: 04DG04-04DG04
  • DOI: 10.7567/jjap.54.04dg04
  • NAID: 210000145017
  • 査読あり / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] Sub-milliampere threshold operation of butt-jointed built-in membrane DFB laser bonded on Si substrate. (2015)
  • 著者名/発表者名: D. Inoue, J. Lee, T. Hiratani, Y. Atsuji, T. Amemiya, N. Nishiyama, and S. Arai
  • 雑誌名: Optics Express 巻: 23 号: 6 ページ: 7771-7778
  • DOI: 10.1364/oe.23.007771
  • 査読あり / オープンアクセス
• [雑誌論文] Thermal analysis of lateral-current-injection membrane distributed feedback laser. (2014)
  • 著者名/発表者名: K. Doi, T. Shindo, J. Lee, T. Amemiya, N. Nishiyama, and S. Arai
  • 雑誌名: IEEE Journal of Quantum Electronics 巻: 50 号: 5 ページ: 321-326
  • DOI: 10.1109/jqe.2014.2309700
  • 査読あり
• [雑誌論文] Loss reduction of Si optical waveguides by beam step-size fracturing technique in electron beam lithography (2014)
  • 著者名/発表者名: Yuki Atsumi, Nit Taksatorn, Nobuhiko Nishiyama, Yasuyuki Miyamoto, and Shigehisa Arai
  • 雑誌名: Jpn. J. Appl. Phys. 巻: 53 号: 6S ページ: 06JB04-06JB04
  • DOI: 10.7567/jjap.53.06jb04
  • NAID: 210000144071
  • 査読あり / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] Analysis of higher-order mode suppressed transmission in low-loss silicon multimode waveguide on silicon-on-insulator substrates (2014)
  • 著者名/発表者名: Yuki Atsumi, JoonHyun Kang, Yusuke Hayashi, Junichi Suzuki, Nobuhiko Nishiyama, and Shigehisa Arai
  • 雑誌名: Jpn. J. Appl. Phys. 巻: 53 号: 7 ページ: 078002-078002
  • DOI: 10.7567/jjap.53.078002
  • NAID: 210000144189
  • 査読あり / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] Room-temperature continuous-wave operation of GaInAsP/InP lateral-current-injection membrane laser bonded on Si substrate. (2014)
  • 著者名/発表者名: D. Inoue, J. Lee, K. Doi, T. Hiratani, Y. Atsuji, T. Amemiya, N. Nishiyama, and S. Arai
  • 雑誌名: Applied Physics Express 巻: 7 号: 7 ページ: 072701-072701
  • DOI: 10.7567/apex.7.072701
  • 査読あり / オープンアクセス
• [雑誌論文] Arnorphous-Silicon Inter-Layer Grating Couplers with Metal Mirrors toward 3D Interconnection (2014)
  • 著者名/発表者名: J. Kang, Y. Atsumi, Y. Hayashi, J. Suzuki, Y. Kuno, T. Amemiya, N. Nishiyama, S. Arai
  • 雑誌名: Journal of Selected Topics in Quantum Electronics 巻: 20(印刷中) 号: 4 ページ: 1-6
  • DOI: 10.1109/jstqe.2014.2300058
  • 査読あり
• [雑誌論文] Spectral characteristics of a 1.3-µm npn-AlGaInAs/InP transistor laser under various operating conditions (2014)
  • 著者名/発表者名: Masashi Yukinari, Noriaki Sato, Nobuhiko Nishiyama, and Shigehisa Arai
  • 雑誌名: IEICE Electronics Express 巻: 11 号: 18 ページ: 20140679-20140679
  • DOI: 10.1587/elex.11.20140679
  • NAID: 130004678234
  • ISSN: 1349-2543
  • 査読あり / オープンアクセス / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] GaInAsP/InP-based optical modulator consisting of gap-surface-plasmon-polariton waveguide: theoretical analysis (2014)
  • 著者名/発表者名: Tomohiro Amemiya, Eijun Murai, Zhichen Gu, Nobuhiko Nishiyama, and Shigehisa Arai
  • 雑誌名: J. of Optical Society of America B 巻: 31 号: 11 ページ: 2908-2913
  • DOI: 10.1364/josab.31.002908
  • 査読あり / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] Surface assessment after removing III-V layer on III-V/silicon-on-insulator wafer fabricated by plasma activated bonding (2014)
  • 著者名/発表者名: J. Suzuki, Y. Hayashi, Y. Kuno, J. Kang, T. Amemiya, N. Nishiyama, and S. Arai
  • 雑誌名: Jpn. J. Appl. Phys 巻: 53 号: 11 ページ: 118003-118003
  • DOI: 10.7567/jjap.53.118003
  • 査読あり / オープンアクセス / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] 50 Gbps data transmission through amorphous silicon interlayer grating couplers (2014)
  • 著者名/発表者名: J. Kang, Y. Atsumi, YHayashi, J. Suzuki, Y. Kuno, T. Amemiya, N. Nishiyama, S. Arai
  • 雑誌名: Applied Physics Express 巻: 7 号: 3 ページ: 032202-032202
  • DOI: 10.7567/apex.7.032202
  • 査読あり
• [雑誌論文] Design of Lateral-Current-Injection-Type Membrane Distributed-Feedback Lasers for On-Chip Optical Interconnections (2013)
  • 著者名/発表者名: T. Shindo, M, Futami, K. Doi, T. Amemiya, N. Nishiyama, and S. Arai
  • 雑誌名: IEEE J. Sel. Top. Quantum Electron. 巻: 19 号: 4 ページ: 1502009-1502009
  • DOI: 10.1109/jstqe.2013.2244573
  • 査読あり
• [雑誌論文] Lateral-Current-Injection Type Membrane DFB Laser With Surface Grating (2013)
  • 著者名/発表者名: T. Shindo, M, Futami, T. Okumura, R. Osabe, T. Koguchi, T. Amemiya, N. Nishiyama, and S. Arai
  • 雑誌名: IEEE Photonics Technol. Lett. 巻: 25 号: 13 ページ: 1282-1285
  • DOI: 10.1109/lpt.2013.2261980
  • 査読あり
• [雑誌論文] 10 Gbps Operation of Top Air-Clad Lateral Junction Waveguide-Type Photodiodes (2013)
  • 著者名/発表者名: T. Shindo, T. Koguchi, M. Futami, K. Doi, Y. Yamahara, J. Lee, T. Amemiya, N. Nishiyama, and S. Arai
  • 雑誌名: Jpn. J. Appl. Phys. 巻: 52 号: 11R ページ: 118002-118002
  • DOI: 10.7567/jjap.52.118002
  • NAID: 210000143086
  • 査読あり
• [雑誌論文] Design and Characterization of AlGaInAs/InP Buried Heterostructure Transistor Lasers Emitting at 1.3-µm Wavelength (2013)
  • 著者名/発表者名: N. Sato, M. Shirao, T. Sato, M. Yukinari, N. Nishiyama, T. Amemiya, and S. Arai,
  • 雑誌名: IEEE J. Select. Top. Quantum Electron. 巻: 19 号: 4 ページ: 1502608-1502608
  • DOI: 10.1109/jstqe.2013.2250490
  • 査読あり
• [雑誌論文] Low-loss GaInAsP wire waveguide on Si substrate with Benzocyclobutene adhesive wafer bonding for membrane photonic circuits (2012)
  • 著者名/発表者名: J. Lee, Y. Maeda, Y Atsumi, Y. Takino, N. Nishiyama, S. Arai
  • 雑誌名: Jpn. J. Appl. Phys 巻: Vol. 51 号: 4R ページ: 042201-042201
  • DOI: 10.1143/jjap.51.042201
  • 査読あり
• [雑誌論文] Carrier-Transport-Limited Modulation Bandwidth in Distributed Reflector Lasers with Wirelike Active Regions (2012)
  • 著者名/発表者名: D. Takahashi, S. Lee, M. Shirao, T. Shindo, K. Shinno, T. Amemiya, N. Nishiyama, S. Arai
  • 雑誌名: IEEE J, Quantum Electron. 巻: Vol. 48 号: 5 ページ: 688-695
  • DOI: 10.1109/jqe.2012.2190822
  • 査読あり
• [雑誌論文] GalnAsP/InP Lateral Current Injection Laser with Uniformly Distributed Quantum Well Structure (2012)
  • 著者名/発表者名: M. Futami, T. Shindo, T. Koguchi, K. Shinno, T. Amemiya, N. Nishiyama, S. Arai
  • 雑誌名: IEEE Photon. Technol. Lett. 巻: Vol. 24 号: 11 ページ: 888-890
  • DOI: 10.1109/lpt.2012.2190053
  • 査読あり
• [雑誌論文] Permeability retrieval in InP-based waveguide optical device combined with metamateria (2012)
  • 著者名/発表者名: T. Amemiya, S. Myoga, T. Shindo, E. Murai, N. Nishiyama, S. Arai
  • 雑誌名: Optics Lett. 巻: Vol. 37 号: 12 ページ: 2301-2303
  • DOI: 10.1364/ol.37.002301
  • 査読あり
• [雑誌論文] Improved regrowth interface of AlGaInAs/InP-buried-heterostructure lasers by in-situ thermal cleaning (2012)
  • 著者名/発表者名: Y. Takino
  • 雑誌名: IEEE J. Quantum Electron. 巻: Vol. 48 号: 8 ページ: 971-979
  • DOI: 10.1109/jqe.2012.2196410
  • 査読あり
• [雑誌論文] Carrier-concentration-dependent resonance frequency shift in a metamaterial loaded semiconductor (2012)
  • 著者名/発表者名: S. Myoga
  • 雑誌名: J. Opt. Soc. Amer. B 巻: Vol. 29 号: 8 ページ: 2110-2115
  • DOI: 10.1364/josab.29.002110
  • 査読あり
• [雑誌論文] Layer-to-Layer Grating Coupler Based on Hydrogenated Amorphous Silicon for Three-Dimensional Optical Circuits (2012)
  • 著者名/発表者名: J. H. Rang, Y. Atsumi, M. Oda, T. Amemiya, N. Nishiyama, S. Arai
  • 雑誌名: Jpn. J. Appl. Phys 巻: 51 号: 12R ページ: 120203-120203
  • DOI: 10.1143/jjap.51.120203
  • 査読あり
• [雑誌論文] Theoretical analysis of the damping effect on a transistor laser (2012)
  • 著者名/発表者名: M. Shirao
  • 雑誌名: IEICE Electronics Express 巻: 9 号: 23 ページ: 1792-1798
  • DOI: 10.1587/elex.9.1792
  • NAID: 130002542191
  • ISSN: 1349-2543
  • 査読あり
• [学会発表] フェムト秒レーザーによるYIG光磁気造形を利用した磁気光学回路 (2015)
  • 著者名/発表者名: 雨宮 智宏
  • 学会等名: 第62回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 平塚、神奈川
  • 年月日: 2015-03-11 – 2015-03-14
• [学会発表] EOポリマーを用いたプラズモン変調器の構造検討 (2015)
  • 著者名/発表者名: 北條 直也
  • 学会等名: 第62回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 平塚、神奈川
  • 年月日: 2015-03-11 – 2015-03-14
• [学会発表] BJB構造を有する半導体薄膜分布反射型レーザの室温連続動作 (2015)
  • 著者名/発表者名: 平谷 拓生
  • 学会等名: 第62回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 平塚、神奈川
  • 年月日: 2015-03-11 – 2015-03-14
• [学会発表] GaInAsP/InP半導体薄膜レーザの低電圧動作 (2015)
  • 著者名/発表者名: 厚地 祐輝
  • 学会等名: 第62回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 平塚、神奈川
  • 年月日: 2015-03-11 – 2015-03-14
• [学会発表] 集積型 光-THz信号直接変換素子の設計 (2015)
  • 著者名/発表者名: 安井 章雄
  • 学会等名: 第62回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 平塚、神奈川
  • 年月日: 2015-03-11 – 2015-03-14
• [学会発表] フォトニックワイヤボンディングによるSi上III-Vチップ間の光伝送 (2015)
  • 著者名/発表者名: 顧 之琛
  • 学会等名: 第62回応用物理学会春季学術講演会
  • 発表場所: 平塚、神奈川
  • 年月日: 2015-03-11 – 2015-03-14
• [学会発表] λ/4位相シフトGaInAsP/InP半導体薄膜DFBレーザの室温連続動作 (2015)
  • 著者名/発表者名: 井上 大輔
  • 学会等名: 電子情報通信学会 2015年総合大会
  • 発表場所: 草津、滋賀
  • 年月日: 2015-03-10 – 2015-03-13
• [学会発表] 薄膜BJB構造によるλ/4位相シフトDFBレーザとPIN-PDのモノリシック集積 (2015)
  • 著者名/発表者名: 井上 大輔
  • 学会等名: 電子情報通信学会 2015年総合大会
  • 発表場所: 草津、滋賀
  • 年月日: 2015-03-10 – 2015-03-13
• [学会発表] クリスタル/アモルファスSi光回路の同一平面内集積に向けた二導波路間結合構造の検討 (2015)
  • 著者名/発表者名: 伊東 憲人
  • 学会等名: 電子情報通信学会 2015年総合大会
  • 発表場所: 草津、滋賀
  • 年月日: 2015-03-10 – 2015-03-13
• [学会発表] N2プラズマ活性化貼付法で作製したリング共振器ミラー装荷型GaInAsP/SOIハイブリッドレーザ (2014)
  • 著者名/発表者名: 林 侑介
  • 学会等名: 電子情報通信学会第28回 光通信システムシンポジウム
  • 発表場所: 三島、静岡
  • 年月日: 2014-12-11 – 2014-12-12
• [学会発表] プラズマ活性化貼付法を用いたリング共振器ミラー装荷型GaInAsP/SOIハイブリッドレーザの作製 (2014)
  • 著者名/発表者名: 林 侑介
  • 学会等名: 電子情報通信学会2014年ソサイエティ大会
  • 発表場所: 徳島、徳島
  • 年月日: 2014-09-23 – 2014-09-26
• [学会発表] Si基板上導波路集積型GaInAsP/InP半導体薄膜分布帰還レーザ (2014)
  • 著者名/発表者名: 井上 大輔
  • 学会等名: 電子情報通信学会2014年ソサイエティ大会
  • 発表場所: 徳島、徳島
  • 年月日: 2014-09-23 – 2014-09-26
• [学会発表] フォトニックワイヤボンディングによるSi上III-V族素子間の光接続 (2014)
  • 著者名/発表者名: 顧 之琛
  • 学会等名: 電子情報通信学会2014年ソサイエティ大会
  • 発表場所: 徳島、徳島
  • 年月日: 2014-09-23 – 2014-09-26
• [学会発表] 透磁率制御メタマテリアルを装荷した光変調器 (2014)
  • 著者名/発表者名: 雨宮 智宏
  • 学会等名: 電子情報通信学会2014年ソサイエティ大会
  • 発表場所: 徳島、徳島
  • 年月日: 2014-09-23 – 2014-09-26
  • 招待講演
• [学会発表] 3次元シリコン光配線結合用金属ミラー装荷グレーティングカプラの広波長帯域化 (2014)
  • 著者名/発表者名: 久能 雄輝
  • 学会等名: 電子情報通信学会2014年ソサイエティ大会
  • 発表場所: 徳島、徳島
  • 年月日: 2014-09-23 – 2014-09-26
• [学会発表] 金属装荷アポダイズドグレーティングカプラの理論検討 (2014)
  • 著者名/発表者名: 姜 晙炫
  • 学会等名: 電子情報通信学会2014年ソサイエティ大会
  • 発表場所: 徳島、徳島
  • 年月日: 2014-09-23 – 2014-09-26
• [学会発表] 磁気光学結晶上a-Si:H導波路光アイソレータ (2014)
  • 著者名/発表者名: 三浦 謙悟
  • 学会等名: 第75回応用物理学会秋季学術講演会
  • 発表場所: 札幌、北海道
  • 年月日: 2014-09-17 – 2014-09-20
• [学会発表] 表面活性化接合を用いたIII-V/SOIハイブリッド光デバイスにおけるIII-V層部分エッチングプロセスの検討 (2014)
  • 著者名/発表者名: 鈴木 純一
  • 学会等名: 第75回応用物理学会秋季学術講演会
  • 発表場所: 札幌、北海道
  • 年月日: 2014-09-17 – 2014-09-20
• [学会発表] GaInAsP/InP半導体薄膜分布帰還レーザの低しきい値動作 (2014)
  • 著者名/発表者名: 厚地 祐輝
  • 学会等名: 第75回応用物理学会秋季学術講演会
  • 発表場所: 札幌、北海道
  • 年月日: 2014-09-17 – 2014-09-20
• [学会発表] 円形空隙を用いた金属ミラー装荷アポダイズドグレーティングカプラの理論検討 (2014)
  • 著者名/発表者名: 久能 雄輝
  • 学会等名: 第75回応用物理学会秋季学術講演会
  • 発表場所: 札幌、北海道
  • 年月日: 2014-09-17 – 2014-09-20
• [学会発表] High Efficiency Apodized Grating Couplers with Metal Mirrors between a-Si:H Multilayer Waveguides toward 3D Optical Interconnection (2014)
  • 著者名/発表者名: Y. Kuno
  • 学会等名: The 46th Solid State Devices and Materials (SSDM 2014)
  • 発表場所: Ibaraki, Japan
  • 年月日: 2014-09-08 – 2014-09-11
• [学会発表] GaInAsP/InP Lateral-Current-Injection Membrane DFB Laser Integrated with GaInAsP Waveguides on Si Substrate (2014)
  • 著者名/発表者名: D. Inoue
  • 学会等名: The 24th IEEE International Semiconductor Laser Conference (ISLC 2014)
  • 発表場所: Palma de Mallorca, Spain
  • 年月日: 2014-09-07 – 2014-09-10
• [学会発表] Electrode Position Dependence of Energy Cost in Lateral-Current-Injection Membrane Distributed Reflector Laser (2014)
  • 著者名/発表者名: T. Hiratani
  • 学会等名: The 24th IEEE International Semiconductor Laser Conference (ISLC 2014)
  • 発表場所: Palma de Mallorca, Spain
  • 年月日: 2014-09-07 – 2014-09-10
• [学会発表] Optical isolator with amorphous silicon waveguide core on magneto-optical garnet (2014)
  • 著者名/発表者名: K. Miura
  • 学会等名: The 11th International Conference on Group IV Photonics (GFP 2014)
  • 発表場所: Paris, France
  • 年月日: 2014-08-26 – 2014-08-28
• [学会発表] BCB貼り付けによるSi基板上集積導波路形半導体薄膜DFBレーザ (2014)
  • 著者名/発表者名: 井上 大輔
  • 学会等名: 電子情報通信学会レーザ・量子エレクトロニクス研究会
  • 発表場所: 小樽、北海道
  • 年月日: 2014-08-21 – 2014-08-22
• [学会発表] Investigation of High Temperature Process for III-V/SOI Hybrid Photonic Devices with AlInAs Oxidation Current Confinement Layer (2014)
  • 著者名/発表者名: Y. Hayashi
  • 学会等名: 4th IEEE International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration (LTB-3D 2014)
  • 発表場所: Tokyo, Japan
  • 年月日: 2014-07-15 – 2014-07-16
• [学会発表] Light Propagation Properties of Si Waveguides after Removing III-V Layer on a III-V/SOI Wafer Fabricated by Plasma Activated Bonding (2014)
  • 著者名/発表者名: J. Suzuki
  • 学会等名: 4th IEEE International Workshop on Low Temperature Bonding for 3D Integration (LTB-3D 2014)
  • 発表場所: Tokyo, Japan
  • 年月日: 2014-07-15 – 2014-07-16
• [学会発表] Meta-photonics for Advanced InP-based Photonic Integration (2014)
  • 著者名/発表者名: T. Amemiya
  • 学会等名: The Collaborative Conference on Materials Research (CCMR 2014)
  • 発表場所: Seoul, Korea
  • 年月日: 2014-06-23 – 2014-06-27
  • 招待講演
• [学会発表] Investigation of Optical Interconnection using Photonic Wire Bonding (2014)
  • 著者名/発表者名: Z. Gu
  • 学会等名: The 15th International Symposium on Laser Precision Microfabrication (LPM 2014)
  • 発表場所: Vilnius, Lithuania
  • 年月日: 2014-06-17 – 2014-06-20
• [学会発表] Optical and magnetic microstructures in YIG ferrite fabricated by femtosecond laser (2014)
  • 著者名/発表者名: A. Ishikawa
  • 学会等名: The 15th International Symposium on Laser Precision Microfabrication (LPM 2014)
  • 発表場所: Vilnius, Lithuania
  • 年月日: 2014-06-17 – 2014-06-20
  • 招待講演
• [学会発表] Three-dimensional Nanostructuring in YIG Ferrite with Femtosecond Laser (2014)
  • 著者名/発表者名: T. Amemiya
  • 学会等名: The Conference on Lasers and Electro-Optics 2014 (CLEO 2014)
  • 発表場所: San Jose, USA
  • 年月日: 2014-06-08 – 2014-06-13
• [学会発表] SiO2 Thickness Dependence of Bandgap Wavelength Shift in Quantum-well Intermixing for Photonic Integration (2014)
  • 著者名/発表者名: J. Lee
  • 学会等名: The 26th Int. Conf. Indium Phosphide and Related Materials (IPRM-2014)
  • 発表場所: Montpellier, France
  • 年月日: 2014-05-11 – 2014-05-14
• [学会発表] Low-Power and High-Speed Operation Capabilities of Semiconductor Membrane Lasers - Energy Cost Limited by Joule Heat (2014)
  • 著者名/発表者名: T. Hiratani
  • 学会等名: The 26th Int. Conf. Indium Phosphide and Related Materials (IPRM-2014)
  • 発表場所: Montpellier, France
  • 年月日: 2014-05-11 – 2014-05-14
• [学会発表] Low-threshold-current Operation of Lateral Current Injection Membrane Distributed-feedback Laser Bonded on Si (2014)
  • 著者名/発表者名: Y. Atsuji
  • 学会等名: The 26th Int. Conf. Indium Phosphide and Related Materials (IPRM-2014)
  • 発表場所: Montpellier, France
  • 年月日: 2014-05-11 – 2014-05-14
• [学会発表] Lasing characteristics of 1.3-µm npn-AlGaInAs/InP Transistor Laser - dependence of the base layer structure (2014)
  • 著者名/発表者名: T. Yoshida
  • 学会等名: The 26th Int. Conf. Indium Phosphide and Related Materials (IPRM-2014)
  • 発表場所: Montpellier, France
  • 年月日: 2014-05-11 – 2014-05-14
• [学会発表] Si基板上横方向電流注入型GaInAsP/InP薄膜レーザ (2014)
  • 著者名/発表者名: 井上大輔
  • 学会等名: 第61回春季応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 相模原
• [学会発表] SiO2保護膜を導入した量子井戸無秩序化におけるバンドギャップ波長変化 (2014)
  • 著者名/発表者名: 李 智恩
  • 学会等名: 第61回春季応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 相模原
• [学会発表] シリコン多層導波路間光結合に向けた金属ミラー装荷アポダイズドグレーティングカプラの検討 (2014)
  • 著者名/発表者名: 久能雄輝
  • 学会等名: 電子情報通信学会2014年総合大会
  • 発表場所: 新潟
• [学会発表] 横方向電流注入形半導体薄膜分布反射型レーザにおけるエネルギーコストの電極位置依存性 (2014)
  • 著者名/発表者名: 平谷拓生
  • 学会等名: 電子情報通信学会2014年総合大会
  • 発表場所: 新潟
• [学会発表] シリコンCMOSとの融合集積を目指したIII-V族光電子デバイスの現状と展望 (2014)
  • 著者名/発表者名: 荒井滋久
  • 学会等名: 電子情報通信学会2014年総合大会
  • 発表場所: 新潟
  • 招待講演
• [学会発表] フォトニックワイヤーボンディングを用いたSi光回路間の伝搬特性解析 (2014)
  • 著者名/発表者名: 顧 シチン
  • 学会等名: 第61回春季応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 相模原
• [学会発表] ギャッププラズモンとITOを利用したGaInAsP/InP GSPP変調器の特性解析 (2014)
  • 著者名/発表者名: 村井英淳
  • 学会等名: 第61回春季応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 相模原
• [学会発表] 1.3 μm帯npn-AlGaInAs/InPトランジスタレーザ発振特性のベース層構造依存性 (2014)
  • 著者名/発表者名: 金子貴晃
  • 学会等名: 電子情報通信学会2014年総合大会
  • 発表場所: 新潟
• [学会発表] Design of Multi-Functional GaInAsP/Si Hybrid Semiconductor Optical Amplifier Array with AlInAs-Oxide Current Confinement Layer (2013)
  • 著者名/発表者名: Y. Hayashi
  • 学会等名: The 25th Int. Conf. on Indium Phosphide and Related Materials (IPRM-2013)
  • 発表場所: Kobe, Japan
• [学会発表] Butt-Joint Built-in (BJB) Structure for Membrane Photonic Integration (2013)
  • 著者名/発表者名: D. Inoue
  • 学会等名: The 25th Int. Conf. on Indium Phosphide and Related Materials (IPRM-2013)
  • 発表場所: Kobe, Japan
• [学会発表] Bandgap Wavelength Shift in Quantum Well Intermixing using Different SiO2 Mask for Photonic Integration (2013)
  • 著者名/発表者名: J. Lee
  • 学会等名: The 25th Int. Conf. on Indium Phosphide and Related Materials (IPRM-2013)
  • 発表場所: Kobe, Japan
• [学会発表] Room-Temperature Continuous-wave Operation of Lateral Current Injection Membrane Laser (2013)
  • 著者名/発表者名: K. Doi
  • 学会等名: The 25th Int. Conf. on Indium Phosphide and Related Materials (IPRM-2013)
  • 発表場所: Kobe, Japan
• [学会発表] Lateral Current Injection Type Membrane DFB Lasers (2013)
  • 著者名/発表者名: S. Arai
  • 学会等名: The Int.10th Conf. on Lasers and Electro-Optics Pacific Rim (CLEO-PR 2013)
  • 発表場所: Kyoto, Japan
  • 招待講演
• [学会発表] Semiconductor Membrane Photonic Devices for Ultra-low Power Consumption Operation (2013)
  • 著者名/発表者名: S. Arai
  • 学会等名: IEEE Photonics Society Summer Topical Meeting Series 2013
  • 発表場所: Hawaii, USA
  • 招待講演
• [学会発表] Inter-Layer Grating Coupler with Metal Mirrors for 3D Optical Interconnects (2013)
  • 著者名/発表者名: J. Kang
  • 学会等名: The 10th conference on Lasers and Electro-Optics Pacific Rim (CLEO-PR 2013)
  • 発表場所: Kyoto, Japan
• [学会発表] Ultraviolet-induced Wavelength Trimming of BCB-buried Athermal Si Slot Wavelength Filters (2013)
  • 著者名/発表者名: Y. Atsumi
  • 学会等名: The 10th conference on Lasers and Electro-Optics Pacific Rim (CLEO-PR 2013)
  • 発表場所: Kyoto, Japan
• [学会発表] Analysis of Energy Cost of Membrane Distributed-Reflector Lasers for On-Chip Optical Interconnection (2013)
  • 著者名/発表者名: T. Hiratani
  • 学会等名: The 3rd International Symposium on Photonics and Electronics Convergence, ISPEC2013
  • 発表場所: Tokyo, Japan
• [学会発表] Humidity Tolerance of Athermal Si-Slot Wavelength Filters Embedded with Polymer (2013)
  • 著者名/発表者名: Y. Atsumi
  • 学会等名: The 3rd International Symposium on Photonics and Electronics Convergence, ISPEC2013
  • 発表場所: Tokyo, Japan
• [学会発表] Design of Si Ring-Resonator-Type Reflector for GaInAsP/SOI Hybrid Laser (2013)
  • 著者名/発表者名: J. Suzuki
  • 学会等名: The 3rd International Symposium on Photonics and Electronics Convergence, ISPEC2013
  • 発表場所: Tokyo, Japan
• [学会発表] SiO2 Mask Thickness Dependence of Bandgap Wavelength Shift in Quantum Well Intermixing for Photonic Integration (2013)
  • 著者名/発表者名: J. Lee
  • 学会等名: The 3rd International Symposium on Photonics and Electronics Convergence, ISPEC2013
  • 発表場所: Tokyo, Japan
• [学会発表] Multi-layer on-chip interconnection using Si waveguide devices (2013)
  • 著者名/発表者名: N. Nishiyama
  • 学会等名: The 3rd International Symposium on Photonics and Electronics Convergence, ISPEC2013
  • 発表場所: Tokyo, Japan
• [学会発表] High Efficiency Inter-Layer Amorphous Silicon Grating Couplers with Metal Mirrors for On-Chip 3D Interconnects (2013)
  • 著者名/発表者名: J. Kang
  • 学会等名: The 3rd International Symposium on Photonics and Electronics Convergence, ISPEC2013
  • 発表場所: Tokyo, Japan
• [学会発表] AlInAs酸化電流狭窄型GaInAsP/SOI ハイブリッドレーザ構造の高温プロセスによる影響 (2013)
  • 著者名/発表者名: 鈴木純一
  • 学会等名: 第74回春季応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 京都
• [学会発表] ポリマー埋め込み高温無依存Siスロット波長フィルタの吸湿耐性材料依存性 (2013)
  • 著者名/発表者名: 渥美裕樹
  • 学会等名: 電子情報通信学会2013年ソサエティ大会
  • 発表場所: 福岡
• [学会発表] 高効率多層アモルファスシリコン導波路間グレーティングカプラ (2013)
  • 著者名/発表者名: 姜 晙炫
  • 学会等名: 電子情報通信学会2013年ソサエティ大会
  • 発表場所: 福岡
• [学会発表] オンチップ光配線に向けた半導体薄膜レーザの極低消費電力構造の検討 (2013)
  • 著者名/発表者名: 平谷拓生
  • 学会等名: 電子情報通信学会2013年ソサエティ大会
  • 発表場所: 福岡
• [学会発表] Spectral Characteristics under Various Operation Conditions of 1.3-µm npn-AlGaInAs/InP Transistor Laser (2013)
  • 著者名/発表者名: M. Yukinari
  • 学会等名: The 10th conference on Lasers and Electro-Optics Pacific Rim (CLEO-PR 2013)
  • 発表場所: Kyoto, Japan
• [学会発表] 1.3 μm帯npn-AlGaInAs/InPトランジスタレーザ発光スペクトルの動作条件依存性 (2013)
  • 著者名/発表者名: 行成元志
  • 学会等名: 電子情報通信学会2013年ソサエティ大会
  • 発表場所: 福岡
• [学会発表] Permeability-controlled Optical Modulator with Tri-gate Metamaterial (2013)
  • 著者名/発表者名: T. Amemiya
  • 学会等名: The 4th Int. Topical Meeting on Nanophotonics and Metamaterials (NANOMETA-2013)
  • 発表場所: Tirol, Austria
• [学会発表] Multi-stacked silicon wire waveguides and couplers toward 3D optical interconnects (2013)
  • 著者名/発表者名: J. Kang
  • 学会等名: SPIE Photonics West 2013 (OPTO-2013)
  • 発表場所: San Jose., USA
  • 招待講演
• [学会発表] GaInAsP/SiハイブリッドSOA多機能集積のためのテーパー構造設計 (2013)
  • 著者名/発表者名: 福田渓太
  • 学会等名: 電子情報通信学会 2013年総合大会
  • 発表場所: 岐阜大学（岐阜県）
• [学会発表] 金属ミラー付き多層アモルファスシリコン導波路間グレーティングカプラ (2013)
  • 著者名/発表者名: 姜 晙炫
  • 学会等名: 電子情報通信学会 2013年総合大会
  • 発表場所: 岐阜大学（岐阜県）
• [学会発表] GaInAs/InP半導体上メタマテリアルの電圧印加による共振周波数変化 (2013)
  • 著者名/発表者名: 明賀聖慈
  • 学会等名: 第60回応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 神奈川工科大学（神奈川県）
• [学会発表] SiO2マスクを用いた量子井戸無秩序化における多重量子井戸のバンドギャップ波長変化 (2013)
  • 著者名/発表者名: 山原佳晃
  • 学会等名: 第60回応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 神奈川工科大学（神奈川県）
• [学会発表] 微細金属構造をもつ導波路型光デバイスにおける相互作用距離の解析 (2013)
  • 著者名/発表者名: 雨宮智宏
  • 学会等名: 第60回応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 神奈川工科大学（神奈川県）
• [学会発表] GaInAsP/InP半導体薄膜レーザの室温連続動作 (2013)
  • 著者名/発表者名: 土居恭平
  • 学会等名: 第60回応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 神奈川工科大学（神奈川県）
• [学会発表] 半導体薄膜光集積に向けたOMVPEによるGaInAsPのButt-Joint再成長 (2013)
  • 著者名/発表者名: 井上大輔
  • 学会等名: 第60回応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 神奈川工科大学（神奈川県）
• [学会発表] オンチップ光配線に向けた半導体薄膜レーザの低消費電力構造の検討 (2013)
  • 著者名/発表者名: 進藤隆彦
  • 学会等名: 第60回応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 神奈川工科大学（神奈川県）
• [学会発表] GaInAsP/InP半導体薄膜レーザの低消費電力動作に向けた構造設計 (2013)
  • 著者名/発表者名: 平谷拓生
  • 学会等名: 第60回応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 神奈川工科大学（神奈川県）
• [学会発表] Improved Quantum Efficiency of GaInAsP/InP Top Air-Clad Lateral Current Injection Lasers (2012)
  • 著者名/発表者名: M. Futami
  • 学会等名: 2012 IEEE Optical Int. Conf. (OIC-2012)
  • 発表場所: Santa Fe, USA
• [学会発表] Amorphous Silicon Grating-Type Layer-to-Layer Couplers for Intra-Chip Connection (2012)
  • 著者名/発表者名: J. Kang
  • 学会等名: 2012 IEEE Optical Int. Conf. (OIC-2012)
  • 発表場所: Santa Fe, USA
• [学会発表] 10 Gb/s Operation of GaInAs/InP Top Air-Clad. Lateral Junction Waveguide-type Photodiode (2012)
  • 著者名/発表者名: T. Shindo
  • 学会等名: 2012 IEEE Optical Int. Conf. (OIC-2012)
  • 発表場所: Santa Fe, USA
• [学会発表] Compact InP-based 1×2 MMI Splitter on Si Substrate with BCB Wafer Bonding for Membrane Photonic Circuits (2012)
  • 著者名/発表者名: J. Lee
  • 学会等名: The 24th Int. Conf. Indium Phosphide and Related Materials (IPRM-2012)
  • 発表場所: Santa Barbara, USA
• [学会発表] Low-Threshold Operation of LCI-Membrane-DFB Lasers with Be-doped GaInAs Contact Layer (2012)
  • 著者名/発表者名: M. Futami
  • 学会等名: The 24th Int. Conf. Indium Phosphide and Related Materials (IPRM-2012)
  • 発表場所: Santa Barbara, USA
• [学会発表] Compact Optical/THz Signal Converter using Photo-generated Carrier Gate in THz Waveguide (2012)
  • 著者名/発表者名: D. Take
  • 学会等名: 2012 IEEE Photonics Conference (IPC-2012)
  • 発表場所: Burlingame, USA
• [学会発表] Thermal Analysis of Self-Heating Effect in GaInAsP/InP Membrane DFB Laser on Si Substrate (2012)
  • 著者名/発表者名: K. Doi
  • 学会等名: 2012 IEEE Photonics Conference (IPC-2012)
  • 発表場所: Burlingame, USA
• [学会発表] AlInAs Selective Oxidation for GaInAsP/Si Hybrid Semiconductor Laserusing Surface Activated Bonding (2012)
  • 著者名/発表者名: Y. Hayashi
  • 学会等名: 2012 IEEE Photonics Conference (IPC-2012)
  • 発表場所: Burlingame, USA
• [学会発表] Room-Temperature Continuous-Wave Operation of a 1.3-μm npn-AlGaInAs/InP Transistor Laser (2012)
  • 著者名/発表者名: N. Sato
  • 学会等名: The 23rd IEEE Int. Semiconductor Laser Conf. (ISLC-2012)
  • 発表場所: San Diego, USA
• [学会発表] Modulation Bandwidth of GaInAsP/InP Lateral-Current-Injection Membrane Laser (2012)
  • 著者名/発表者名: T. Shindo
  • 学会等名: The 23rd IEEE Int. Semiconductor Laser Conf. (ISLC-2012)
  • 発表場所: San Diego, USA
• [学会発表] GaInAsP横方向接合型薄膜フォトダイオードの特性評価 (2012)
  • 著者名/発表者名: 山原佳晃
  • 学会等名: 電子情報通信学会 2012年ソサイエティ大会
  • 発表場所: 富山大学（富山県）
• [学会発表] 金属ミラー付き多層アモルファスシリコン細線導波路間のグレーティングカプラ (2012)
  • 著者名/発表者名: 姜 晙炫
  • 学会等名: 電子情報通信学会 2012年ソサイエティ大会
  • 発表場所: 富山大学（富山県）
• [学会発表] AlInAs酸化狭窄層を有するGaInAsP/SiハイブリッドSOA多機能集積のための構造設計 (2012)
  • 著者名/発表者名: 福田渓太
  • 学会等名: 電子情報通信学会 2012年ソサイエティ大会
  • 発表場所: 富山大学（富山県）
• [学会発表] InP系横接合型半導体薄膜能動光素子と細線光導波路のテーパー結合 (2012)
  • 著者名/発表者名: 李 智恩
  • 学会等名: 電子情報通信学会 2012年ソサイエティ大会
  • 発表場所: 富山大学（富山県）
• [学会発表] 光励起キャリアゲート型光-テラヘルツ信号直接変換器の信号特性の検討 (2012)
  • 著者名/発表者名: 武 大助
  • 学会等名: 第73回秋季応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 愛媛大学（愛媛県）
• [学会発表] 表面活性化接合を用いたGaInAsP/Siハイブリッドファブリペローレーザ (2012)
  • 著者名/発表者名: 林 侑介
  • 学会等名: 第73回秋季応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 愛媛大学（愛媛県）
• [学会発表] 紫外線照射を用いた温度無依存シリコンスロットリング共振器の波長トリミング (2012)
  • 著者名/発表者名: サイファー たけし
  • 学会等名: 第73回秋季応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 愛媛大学（愛媛県）
• [学会発表] Beドープp-GaInAsコンタクト層を有する薄膜DFBレーザのしきい値低減 (2012)
  • 著者名/発表者名: 二見充輝
  • 学会等名: 第73回秋季応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 愛媛大学（愛媛県）
• [学会発表] オンチップ光配線に向けた半導体薄膜レーザの熱特性に関する検討 (2012)
  • 著者名/発表者名: 土居恭平
  • 学会等名: 第73回秋季応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 愛媛大学（愛媛県）
• [学会発表] 透磁率の制御によるInP 系導波路型光変調器 (2012)
  • 著者名/発表者名: 雨宮智宏
  • 学会等名: 第73回秋季応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 愛媛大学（愛媛県）
• [学会発表] 金属側壁層を有するInP系プラズモニック導波路の曲げ特性評価 (2012)
  • 著者名/発表者名: 村井英淳
  • 学会等名: 第73回秋季応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 愛媛大学（愛媛県）
• [学会発表] オンチップ光配線に向けたGaInAsP薄膜レーザの極低消費電力動作構造の検討
  • 著者名/発表者名: 厚地祐輝
  • 学会等名: 電子情報通信学会 シリコンフォトニクス研究会
  • 発表場所: 東京
• [学会発表] Si上横方向注入型GaInAsP薄膜レーザの室温連続動作
  • 著者名/発表者名: 土居恭平
  • 学会等名: 電子情報通信学会 シリコンフォトニクス研究会
  • 発表場所: 東京
• [学会発表] Si基板上InP系薄膜光集積に向けたOMVPEによるGaInAsPのButt-Joint再成長
  • 著者名/発表者名: 井上大輔
  • 学会等名: 電子情報通信学会 シリコンフォトニクス研究会
  • 発表場所: 東京
• [学会発表] AlInAs酸化電流狭窄型GaInAsP/SOIハイブリッドレーザ構造の直接貼り付け・高温プロセスの検討
  • 著者名/発表者名: 林 侑介
  • 学会等名: 電子情報通信学会 シリコンフォトニクス研究会
  • 発表場所: 東京
• [学会発表] オンチップ光配線に向けた半導体薄膜レーザの極低消費電力構造の検討
  • 著者名/発表者名: 平谷拓生
  • 学会等名: 電子情報通信学会 レーザ・量子エレクトロニクス研究会
  • 発表場所: 東京
• [学会発表] InP/Siハイブリッド光デバイスにおける複数光機能一括貼り付け形成のための構造検討
  • 著者名/発表者名: 鈴木純一
  • 学会等名: 電子情報通信学会 レーザ・量子エレクトロニクス研究会
  • 発表場所: 東京
• [学会発表] オンチップ光配線に向けた半導体薄膜レーザ低しきい値動作への進展
  • 著者名/発表者名: 進藤隆彦
  • 学会等名: 電子情報通信学会 レーザ・量子エレクトロニクス研究会
  • 発表場所: 東京
• [学会発表] 3次元光インターコネクトに向けた金属ミラー付き多層アモルファスシリコン導波路間グレーティングカプラ
  • 著者名/発表者名: 姜 晙炫
  • 学会等名: 電子情報通信学会 光エレクトロニクス研究会
  • 発表場所: 東京
• [学会発表] Si導波路を用いた波長フィルタを有するAlInAs酸化狭窄型GaInAsP/Siハイブリッドレーザの検討
  • 著者名/発表者名: 林 侑介
  • 学会等名: 電子情報通信学会・光エレクトロニクス研究会
  • 発表場所: リゾーピア熱海（静岡県）
• [学会発表] GaInAsP/InP半導体薄膜DFBレーザの電流注入動作と熱特性解析
  • 著者名/発表者名: 土居恭平
  • 学会等名: 電子情報通信学会・レーザ・量子エレクトロニクス研究会
  • 発表場所: 東北大学（宮城県）
• [学会発表] GaInAsP/InP横方向電流注入型半導体薄膜レーザの低しきい値動作化
  • 著者名/発表者名: 進藤隆彦
  • 学会等名: 電子情報通信学会・レーザ・量子エレクトロニクス研究会
  • 発表場所: 機械振興会館（東京都）
• [学会発表] 窒素プラズマ活性化を用いたIII-V/Si直接貼付とそのハイブリッドレーザへの応用
  • 著者名/発表者名: 林 侑介
  • 学会等名: 電子情報通信学会・レーザ・量子エレクトロニクス研究会
  • 発表場所: 機械振興会館（東京都）
• [学会発表] オンチップ光回路のためのBCB貼り付けを用いたSi基板上InP薄膜受動素子の特性
  • 著者名/発表者名: 李 智恩
  • 学会等名: 電子情報通信学会・光エレクトロニクス研究会
  • 発表場所: 機械振興会館（東京都）
• [備考] 荒井・西山伸彦研究室 研究内容
  • URL: http://www.pe.titech.ac.jp/AraiLab/index.html
• [備考] 荒井・西山伸彦研究室 研究内容
  • URL: http://www.pe.titech.ac.jp/AraiLab/index.html
• [備考] 荒井・西山伸彦研究室 研究内容
  • URL: http://www.pe.titech.ac.jp/AraiLab/index.html