| 研究課題/領域番号 |
24360014
|
|---|
| 研究種目 |
基盤研究(B)
|
| 配分区分 | 一部基金 |
|---|
| 応募区分 | 一般 |
|---|
| 研究分野 |
薄膜・表面界面物性
|
|---|
| 研究機関 | 長岡技術科学大学 |
|---|
研究代表者 |
安井 寛治 長岡技術科学大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (70126481)
|
|---|
| 研究分担者 |
梅本 宏信 静岡大学, 工学部, 教授 (80167288)
清水 英彦 新潟大学, 自然科学系, 准教授 (00313502)
|
|---|
| 連携研究者 |
加藤 孝弘 長岡技術科学大学, 工学部, 助教
|
|---|
| 研究期間 (年度) |
2012-04-01 – 2015-03-31
|
| 研究課題ステータス |
完了 (2014年度)
|
| 配分額 *注記 |
19,370千円 (直接経費: 14,900千円、間接経費: 4,470千円)
2014年度: 5,330千円 (直接経費: 4,100千円、間接経費: 1,230千円)
2013年度: 3,380千円 (直接経費: 2,600千円、間接経費: 780千円)
2012年度: 10,660千円 (直接経費: 8,200千円、間接経費: 2,460千円)
|
|---|
| キーワード | 化学気相堆積法 / 触媒反応 / 酸化亜鉛薄膜 / 酸化亜鉛 / 薄膜 |
|---|
| 研究成果の概要 |
次世代紫外LDや紫外LED、低抵抗透明導電膜作製を目指して触媒表面での水素、酸素の燃焼反応により生成した高エネルギーH2Oビームを用いたZnO結晶膜作製技術の構築を行った。
その結果、サファイア基板上で世界最高レベルの大きな電子移動度のZnO結晶膜の作製に成功した。窒素酸化物ガスによりドーピングを行った結果、電子濃度の減少、中性アクセプタ束縛励起子による発光を観測し、窒素ドーピングが確認された。H2Oビームについて反応空間での断熱膨張過程での冷却状態を観測したところ、開口角が大きいノズルからの噴出されたH2Oビーム程、低温になりノズル構造によってビームエネルギー分布に違いが生じることが分かった。
|
