| 研究課題/領域番号 |
24360020
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 一部基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
薄膜・表面界面物性
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| 研究機関 | 大阪電気通信大学 |
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研究代表者 |
生田 孝 大阪電気通信大学, 工学部, 教授 (20103343)
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| 研究分担者 |
日坂 真樹 大阪電気通信大学, 医療福祉工学部, 准教授 (40340640)
川﨑 忠寛 (川崎 忠寛) 名古屋大学, 工学研究科, 客員准教授 (10372533)
児玉 哲司 名城大学, 理工学部, 教授 (50262861)
松谷 貴臣 近畿大学, 理工学部, 准教授 (00411413)
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| 研究期間 (年度) |
2012-04-01 – 2015-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2014年度)
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| 配分額 *注記 |
18,850千円 (直接経費: 14,500千円、間接経費: 4,350千円)
2014年度: 5,200千円 (直接経費: 4,000千円、間接経費: 1,200千円)
2013年度: 6,630千円 (直接経費: 5,100千円、間接経費: 1,530千円)
2012年度: 7,020千円 (直接経費: 5,400千円、間接経費: 1,620千円)
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| キーワード | 電子顕微鏡 / 走査型透過電子顕微鏡 / 球面収差補正 / 静電型Csコレクター / 円環状対物瞳 / 3次元収束プロファイル / 電子ビーム露光 / 微細加工技術 / 走査型電子顕微鏡 / 電子光学系 / ３次元収束プロファイル |
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| 研究成果の概要 |
電子顕微鏡においてサブオングストロームの分解能を達成するには球面収差の補正が不可欠である。今日多極子電子レンズで構成される球面収差補正装置（Csコレクター）が用いられているが、きわめて高価である。本研究では、円環状対物瞳と補助近接円孔電極間の軸対象静電場による、シンプルかつ安価なCsコレクターを設計するとともに、200kV走査型透過電子顕微鏡（STEM）を用いてその効果を評価した。
Csコレクターオンの状態では、球面収差補正効果を示すCeO2微粉末の3.12A格子像が鮮明に観察された。この事は本研究のシンプルかつ低コストな静電型Csコレクターが電子顕微鏡用として実用的であることを示している。
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