| 研究課題/領域番号 |
24360050
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| 研究種目 |
基盤研究(B)
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| 配分区分 | 一部基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
生産工学・加工学
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| 研究機関 | 東北大学 |
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研究代表者 |
高 偉 東北大学, 工学(系)研究科(研究院), 教授 (70270816)
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| 研究分担者 |
清水 裕樹 東北大学, 大学院工学研究科, 准教授 (70606384)
伊東 聡 東北大学, 大学院工学研究科, 助教 (00624818)
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| 研究期間 (年度) |
2012-04-01 – 2015-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2014年度)
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| 配分額 *注記 |
18,720千円 (直接経費: 14,400千円、間接経費: 4,320千円)
2014年度: 4,420千円 (直接経費: 3,400千円、間接経費: 1,020千円)
2013年度: 4,940千円 (直接経費: 3,800千円、間接経費: 1,140千円)
2012年度: 9,360千円 (直接経費: 7,200千円、間接経費: 2,160千円)
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| キーワード | 超精密計測 / 3軸レーザオートコリメータ / 多軸角度計測 / 回折格子 / 超精密位置決め / 計測 / 角度 / 誤差 / ステージ / 超高感度 / 光 / センサ / アッベ誤差 / アッべ誤差 / 角度センサ / レーザ / フォトダイオード / 感度 / 反射格子 / 分解能 |
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| 研究成果の概要 |
サブnmの位置決め精度を有する次世代超精密ステージ実現のために，超精密移動ステージの動的3軸角度誤差が一括検出できる3軸レーザオートコリメータという多軸角度計測の新原理を提案した．各光学部品を50mmx30mmx30mmのコンパクトなサイズに収めた，リニアエンコーダとスケールを共有するマイクロ光学センサヘッドを設計・試作して，ロール，ヨー測定分解能0.01arcsecond，ピッチ分解能0.2arcsecondを実現した．更に，シングル素子フォトダイオードのエッジ効果を利用した超高感度光位置検出法を提案し，目標分解能である0.001arcscondを超える測定分解能が得られることを実証した．
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