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一軸圧縮下での表面ナノ修飾基板上固相結晶化による特異な酸化物構造誘起と超機能創出

研究課題

研究課題/領域番号 24360269
研究種目

基盤研究(B)

配分区分一部基金
応募区分一般
研究分野 無機材料・物性
研究機関東京工業大学

研究代表者

吉本 護  東京工業大学, 総合理工学研究科(研究院), 教授 (20174998)

研究分担者 淀 徳男  大阪工業大学, 工学部, 教授 (70288752)
連携研究者 松田 晃史  東京工業大学, 大学院総合理工学研究科, 講師 (80621698)
研究期間 (年度) 2012-04-01 – 2016-03-31
研究課題ステータス 完了 (2015年度)
配分額 *注記
14,950千円 (直接経費: 11,500千円、間接経費: 3,450千円)
2014年度: 3,250千円 (直接経費: 2,500千円、間接経費: 750千円)
2013年度: 3,510千円 (直接経費: 2,700千円、間接経費: 810千円)
2012年度: 8,190千円 (直接経費: 6,300千円、間接経費: 1,890千円)
キーワード結晶構造制御 / 一軸圧縮 / 酸化物薄膜 / 固相結晶化 / エピタキシャル成長 / 酸化バナジウム / 酸化モリブデン / 固相結晶成長 / 層状構造 / 酸化物 / 結晶構造 / 組織制御 / 超機能創出 / 表面ナノ修飾基板 / ナノインプリント
研究成果の概要

一軸圧縮下での固相結晶化による特異な酸化物構造誘起をねらった本研究では、主に非晶質酸化物(VOxやMoOx)薄膜を表面ナノパターン加工された基板に堆積した後に、上下から加圧下挟み込みでの熱処理による固相結晶化過程を検討した。その結果、低加圧ではエピタキシャルVO2薄膜となり、高加圧下ではエピタキシャルV2O3薄膜という相選択的固相成長が達成された。これは一軸圧縮下加熱時のVOx層状構造内での酸素脱離が重要な役割を果たしていることが示唆された。

報告書

(5件)
  • 2015 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2014 実績報告書
  • 2013 実績報告書
  • 2012 実績報告書
  • 研究成果

    (25件)

すべて 2016 2015 2014 2013 2012 その他

すべて 雑誌論文 (11件) (うち査読あり 11件、 謝辞記載あり 4件) 学会発表 (13件) (うち国際学会 2件、 招待講演 1件) 備考 (1件)

  • [雑誌論文] Atomic-scale Thermal Behavior of Nanoimprinted 0.3-nm-High Step Patterns on PMMA Polymer Sheets2016

    • 著者名/発表者名
      G. Tan, Y. Nozawa, T. Funabasama, K. Koyama, M. Mita, S. Kaneko, M. Komura, A. Matsuda and M. Yoshimoto
    • 雑誌名

      Polymer Journal

      巻: 48 号: 2 ページ: 225-227

    • DOI

      10.1038/pj.2015.99

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Subnano-scale nanoimprint fabrication of atomically stepped glassy substrates of silicate glass and acryl polymer2015

    • 著者名/発表者名
      Mamoru Yoshimoto
    • 雑誌名

      Physics A

      巻: 121 号: 2 ページ: 321-326

    • DOI

      10.1007/s00339-015-9247-4

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Atomic Step Patterning on Quartz Glass via Thermal Nanoimprinting2015

    • 著者名/発表者名
      Osamu Suga, Mamoru Yoshimoto, Chieko Okuyama, Akifumi Matsuda, Hiroshi Hiroshima, and Masaharu Takahashi
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 54 号: 9 ページ: 098001-098001

    • DOI

      10.7567/jjap.54.098001

    • NAID

      210000145692

    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Formation of 0.3-nm-High Stepped Polymer Surface by Thermal Nanoimprinting2014

    • 著者名/発表者名
      Geng Tan, Naoya Inoue, Tomoyuki Funabasama, Masahiro Mita, Norimichi Okuda, Junichi Mori, Koji Koyama, Satoru Kaneko, Masaru Nakagawa, Akifumi Matsuda and Mamoru Yoshimoto
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Exp. (APEX)

      巻: 7(5) 号: 5 ページ: 055202-055202

    • DOI

      10.7567/apex.7.055202

    • NAID

      210000137094

    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
    • 査読あり / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Formation of 0.3-nm-High Stepped Polymer Surface by Thermal Nanoimprinting2014

    • 著者名/発表者名
      Geng Tan, Naoya Inoue, Tomoyuki Funabasama, Masahiro Mita, Norimichi Okuda, Junichi Mori, Koji Koyama, Satoru Kaneko, Masaru Nakagawa, Akifumi Matsuda and Mamoru Yoshimoto
    • 雑誌名

      Appl. Phys. Exp.

      巻: 7

    • NAID

      210000137094

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Homoepitaxial growth of α-Al2O3 thin films on atomically stepped sapphire substrates by pulsed laser deposition at room-temperature2013

    • 著者名/発表者名
      Daishi Shiojiri, Ryosuke Yamauchi, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, and Mamoru Yoshimoto
    • 雑誌名

      J. Ceram. Soc. Japan

      巻: 121

    • NAID

      130004480132

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Influence of Momentary Annealing on Surface Morphology of Room Temperature Pulsed Laser Deposited NiO(111) Epitaxial Thin Film grown on Atomically Stepped Sapphire (0001) Substrates2013

    • 著者名/発表者名
      Ryosuke Yamauchi, Geng Tan, Daishi Shiojiri, Koji Koyama, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, and Mamoru Yoshimoto
    • 雑誌名

      Mater. Res. Soc. Symp. Proc.

      巻: 1507

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Room-temperature synthesis of epitaxial oxide thin films for development of unequilibrium structure and novel electronic functionalization2013

    • 著者名/発表者名
      Mamoru YOSHIMOTO, Ryosuke YAMAUCHI, Daishi SHIOJIRI, Geng TAN, Satoru KANEKO and Akifumi MATSUDA
    • 雑誌名

      J. Ceram. Soc. Japan

      巻: 121

    • NAID

      130004950790

    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Room-temperature synthesis of epitaxial oxide thin films for development of unequilibrium structure and novel electronic functionalization2013

    • 著者名/発表者名
      M. YOSHIMOTO, R. YAMAUCHI, D. SHIOJIRI, G. TAN, S. KANEKO and A. MATSUDA
    • 雑誌名

      J. Ceram. Soc. Japan,

      巻: 121 ページ: 1-9

    • NAID

      130004950790

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Influence of Rapid Thermal Annealing and Substrate Terrace Width on Self-Organizing Formation of Periodic Straight Nanogroove Array on Ni0(111) Epitaxial Thin Film2012

    • 著者名/発表者名
      R. Yamauchi, G. Tan, D. Shiojiri, K. Koyama, S. Kaneko, A. Matsuda, and M. Yoshimoto
    • 雑誌名

      Jpn. J. Appl. Phys.

      巻: 51

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [雑誌論文] Anisotropic magnetization of epitaxial Ni nanogroove-arrays prepared by reduction of self-organized oxides2012

    • 著者名/発表者名
      A. Matsuda, R. Yamauchi, G. Tan, H. Nakai, K. Koyama, K. Sunakawa, S. Kaneko and M. Yoshimoto
    • 雑誌名

      Appl. Sur£Sci.

      巻: 259 ページ: 208-212

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] 一軸加圧下熱処理による非晶質酸化モリブデン薄膜の固相結晶化2016

    • 著者名/発表者名
      難波 諒太郎, 野沢 靖久, 譚 ゴオン,土嶺信男, 金子 智,松田 晃史,吉本 護
    • 学会等名
      応用物理学会 2016年春季年会
    • 発表場所
      東京工業大学
    • 年月日
      2016-03-19
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] Preparation of ultra-flat transparent conductive films on atomic step-and-terrace structured flexible polymer sheets2015

    • 著者名/発表者名
      Akifumi Matsuda, Goon Tan, Yasuhisa Nozawa, Daishi Shiojiri, Tatsuhiro Urakami, Satoru Kaneko, and Mamoru Yoshimoto
    • 学会等名
      MRS 2015 Fall Meeting
    • 発表場所
      Boston, USA
    • 年月日
      2015-11-29
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 一軸加圧下の熱処理による非晶質VOx 薄膜の相選択的エピタキシャル結晶化2015

    • 著者名/発表者名
      松田晃史、野沢靖久、難波諒太郎、吉本護、金子智
    • 学会等名
      日本セラミックス協会2015年秋季年会
    • 発表場所
      富山大学
    • 年月日
      2015-09-16
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] 一軸加圧熱処理による非晶質VOx薄膜の相選択的固相結晶化と配向制御2015

    • 著者名/発表者名
      野沢 靖久, 難波 諒太郎, 譚 ゴオン,金子 智,松田 晃史,吉本 護
    • 学会等名
      応用物理学会 秋季年会
    • 発表場所
      名古屋国際会議場
    • 年月日
      2015-09-13
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
  • [学会発表] Nanoimprint fabrication of atomic step-and-terrace structured polymer sheets towards developing the novel flexible substrates2015

    • 著者名/発表者名
      Goon Tan, Yasuhisa Nozawa, Tomoyuki Funabasama, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda and Mamoru Yoshimoto
    • 学会等名
      57th Electronic Materials Conference (EMC)
    • 発表場所
      The Ohio State University in Columbus, Ohio, USA
    • 年月日
      2015-06-24
    • 関連する報告書
      2015 実績報告書
    • 国際学会
  • [学会発表] 一軸圧縮下の熱処理による機能性酸化物薄膜の固相結晶挙動2015

    • 著者名/発表者名
      野沢 靖久,譚 ゴオン,船迫 友之,金子 智,松田 晃史,吉本 護
    • 学会等名
      応用物理学会 春季年会
    • 発表場所
      東海大学湘南キャンパス
    • 年月日
      2015-03-12 – 2015-03-13
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] Nanoimprint Fabrication and Application of Subnano-Scale Surface-Patterned Glassy Substrates2014

    • 著者名/発表者名
      Geng Tan, Yasuhisa Nozawa, Tomoyuki Funabasama, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda and Mamoru Yoshimoto
    • 学会等名
      13th International Conference on Nanoimprint and Nanoprint Technology (NNT 2014)
    • 発表場所
      Kyoto ANACrown Plaza Hotel
    • 年月日
      2014-10-23 – 2014-10-24
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
    • 招待講演
  • [学会発表] 透明導電性酸化物薄膜の固相結晶化における熱処理中の一軸圧縮応力印加の影響2013

    • 著者名/発表者名
      譚ゴオン・井上直哉・松田晃史・吉本護・大井秀雄・三田正弘・奥田徳路
    • 学会等名
      日本セラミックス協会春季年会
    • 発表場所
      東京工業大学
    • 年月日
      2013-03-17
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Nanoimprinting of self-organized atomic scale patterns of minerals onto the oxide glass surface2013

    • 著者名/発表者名
      N. Inoue, A. Matsuda, and M. Yoshimoto
    • 学会等名
      第26回マイクロプロセス・ナノテクノロジー国際会議(MNC 2013)
    • 発表場所
      ロイトン札幌ホテル
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] 室温レーザーMBE による酸化コバルト薄膜の相制御と評価2013

    • 著者名/発表者名
      松田晃史、吉本 護
    • 学会等名
      第74回 応用物理学会 秋季学術講演会
    • 発表場所
      同志社大学 京田辺キャンパス
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] 室温合成エピタキシャル酸化物薄膜の水素還元による磁気抵抗型積層薄膜の作製2013

    • 著者名/発表者名
      松田晃史、吉本 護
    • 学会等名
      日本セラミックス協会 第26回秋季シンポジウム
    • 発表場所
      信州大学 長野キャンパス
    • 関連する報告書
      2013 実績報告書
  • [学会発表] Solid-phase Crystallization of Transparent Conducting Oxide Thin Films Under Uniaxial Compression2012

    • 著者名/発表者名
      Geng Tan, Tsubasa Yamanoi, Hideo Oi, Masahiro Mita, Satoru Kaneko, Norimichi Okuda, Naoya Inoue, Noriko Kumagai, Ryosuke Yamauchi, Akifumi Matsuda, Mamoru Yoshimoto
    • 学会等名
      MRS Fall Meetin, Symp.F: Oxide Thin Films for Renewable Energy Applications,
    • 発表場所
      Boston, USA
    • 年月日
      2012-11-26
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [学会発表] Surface nanostructure control of indium tin oxide films on nanopatterne d glass substrates toward advanced thin film solar cells2012

    • 著者名/発表者名
      Geng Tan, Ryosuke Yamauchi, Satoru Kaneko, Akifumi Matsuda, Mamoru Yoshimoto
    • 学会等名
      European Material Research Society (E-MRS 2012) Spring Meeting, Symposium Y (Advanced materials and characterization techniques for solar cells)
    • 発表場所
      the Congress Center in Strasbourg, France
    • 年月日
      2012-05-14
    • 関連する報告書
      2012 実績報告書
  • [備考]

    • URL

      http://www.yoshimoto.iem.titech.ac.jp/

    • 関連する報告書
      2012 実績報告書

URL: 

公開日: 2012-04-24   更新日: 2019-07-29  

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