研究課題/領域番号 |
24360299
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研究種目 |
基盤研究(B)
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配分区分 | 一部基金 |
応募区分 | 一般 |
研究分野 |
材料加工・処理
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研究機関 | 山形大学 (2013-2014) 北海道大学 (2012) |
研究代表者 |
西山 宏昭 山形大学, 理工学研究科, 准教授 (80403153)
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研究分担者 |
西井 準治 北海道大学, 電子科学研究所, 教授 (60357697)
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研究期間 (年度) |
2012-04-01 – 2015-03-31
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研究課題ステータス |
完了 (2014年度)
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配分額 *注記 |
17,420千円 (直接経費: 13,400千円、間接経費: 4,020千円)
2014年度: 2,990千円 (直接経費: 2,300千円、間接経費: 690千円)
2013年度: 4,680千円 (直接経費: 3,600千円、間接経費: 1,080千円)
2012年度: 9,750千円 (直接経費: 7,500千円、間接経費: 2,250千円)
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キーワード | フェムト秒レーザ / 金属ナノ構造 / プラズモン / 表面プラズモン共鳴 / 光還元 / 非線形光学 / 立体的微細加工 |
研究成果の概要 |
立体的表面加工手法の高度化のため,フォトレジストおよび金属ナノ構造と,フェムト秒レーザとの相互作用について研究を行った.低開口数レンズでレジスト内に集光したフェムト秒レーザパルスは,特異的にチャネル伝搬し,その起源が,高繰り返しパルス由来の蓄熱効果であることを明らかにした.また,ある種の金属ナノ構造上では,フェムト秒レーザ光がプラズモンモードに結合し,局所的に強電場を生み出し,金属上の光還元反応に強く影響することを実験と理論両面から明らかにした.
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