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柔軟なデュアル構造を有する超広帯域エレクトレットコンデンサセンサの開発

研究課題

研究課題/領域番号 24500196
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
研究分野 知覚情報処理・知能ロボティクス
研究機関埼玉大学

研究代表者

蔭山 健介  埼玉大学, 理工学研究科, 教授 (30272280)

研究期間 (年度) 2012-04-01 – 2015-03-31
研究課題ステータス 完了 (2014年度)
配分額 *注記
5,330千円 (直接経費: 4,100千円、間接経費: 1,230千円)
2014年度: 650千円 (直接経費: 500千円、間接経費: 150千円)
2013年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円)
2012年度: 3,900千円 (直接経費: 3,000千円、間接経費: 900千円)
キーワード非破壊評価 / フレキシブルセンサー / 振動 / 超音波 / 加速度 / アコースティック・エミッション / エレクトレット / 硬さ / 振動センサー / 触覚センサー / 硬さセンサー / 超音波センサー
研究成果の概要

マイクロギャップを有するフレキシブルエレクトレットコンデンサセンサ(フレキシブルECS)の製作を行った。その結果,折りたたみ可能な柔軟性を有するECSを製作できた。製作したECSは,心音の測定,植物のキャビテーションに伴う超音波AEを検出が可能で,広帯域の加速度も測定できた。さらに,素子を2枚積層したデュアルセンサを製作した。このデュアルセンサから得られる送受信波形の振幅と重心周波数を用いて,軟質材料の硬さを測定することができた。これらの結果から,目的に応じて素子の形状や構造を調節することで,1 Hzから100 kHzまでの超広帯域の振動に対応したフレキシブルECSを開発できると考えられる。

報告書

(4件)
  • 2014 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2013 実施状況報告書
  • 2012 実施状況報告書
  • 研究成果

    (10件)

すべて 2015 2014 2013 その他

すべて 雑誌論文 (2件) (うち査読あり 2件、 オープンアクセス 1件、 謝辞記載あり 1件) 学会発表 (6件) 備考 (1件) 産業財産権 (1件)

  • [雑誌論文] フィルム積層エレクトレットセンサを用いたデュアルセンサの製作と特性評価2015

    • 著者名/発表者名
      小野寺将,蔭山健介
    • 雑誌名

      日本実験力学会誌

      巻: 15 ページ: 64-68

    • NAID

      130005065395

    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
    • 査読あり / オープンアクセス / 謝辞記載あり
  • [雑誌論文] Fabrication and Evaluation of Electret Condensor Microphone with Film Lamination and Silica Spacers2013

    • 著者名/発表者名
      Kageyama, K. and Nagashima, H.
    • 雑誌名

      Journal of Advanced Mechanical Design, Systems, and Manufacturing

      巻: 7 号: 4 ページ: 655-665

    • DOI

      10.1299/jamdsm.7.655

    • NAID

      130003368579

    • ISSN
      1881-3054
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] 静電噴霧を用いたシリカ凝集体エレクトッにおける帯電量の向上2014

    • 著者名/発表者名
      呉 シンク
    • 学会等名
      第 31 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • 発表場所
      くにびきメッセ(島根県松江市)
    • 年月日
      2014-10-21
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] シリカ凝集体エレクトッを用いた薄型加速度センサの製作と特性評価2014

    • 著者名/発表者名
      櫻田 健
    • 学会等名
      第 31 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • 発表場所
      くにびきメッセ(島根県松江市)
    • 年月日
      2014-10-21
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] フィルム積層エレクトッセンサを用いたデュアセンサの製作と特性評価2014

    • 著者名/発表者名
      小野寺 将
    • 学会等名
      第 31 回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • 発表場所
      くにびきメッセ(島根県松江市)
    • 年月日
      2014-10-20
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] フィルム積層ECMを用いたフレキシブル加速度センサの製作と特性評価2013

    • 著者名/発表者名
      蔭山健介
    • 学会等名
      日本機械学会 機械第21回機械材料・材料加工技術講演会
    • 発表場所
      首都大学東京 南大沢キャンパス
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [学会発表] シリカ凝集体エレクトレットを用いたフィルム積層 ECM の製 作と特性評価2013

    • 著者名/発表者名
      八木 和昭
    • 学会等名
      第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • 発表場所
      東北大学仙台国際センター
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [学会発表] シリカ凝集体の静電噴霧によるエレクトレットフィルムの耐熱 性改善2013

    • 著者名/発表者名
      呉 シンク
    • 学会等名
      第30回「センサ・マイクロマシンと応用システム」シンポジウム
    • 発表場所
      東北大学仙台国際センター
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [備考] Material Sceinece & Enigneering Laboratory

    • URL

      http://mehp.mech.saitama-u.ac.jp/

    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
  • [産業財産権] デュアルエレクトレットセンサ、硬度測定方法及びデュアルエレクトレッ トセンサの製造方法2014

    • 発明者名
      蔭山健介
    • 権利者名
      埼玉大学
    • 産業財産権種類
      特許
    • 産業財産権番号
      2014-213028
    • 出願年月日
      2014-10-17
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書

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公開日: 2013-05-31   更新日: 2019-07-29  

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