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酸化物基板上におけるグラフェンナノ構造作成技術の開発と原子分解能評価

研究課題

研究課題/領域番号 24510164
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
研究分野 ナノ材料・ナノバイオサイエンス
研究機関独立行政法人情報通信研究機構

研究代表者

田中 秀吉  独立行政法人情報通信研究機構, 未来ICT研究所ナノICT研究室, 研究マネージャー (40284608)

研究分担者 鈴木 仁  国立大学法人広島大学, 先端物質科学研究科, 准教授 (60359099)
研究期間 (年度) 2012-04-01 – 2015-03-31
研究課題ステータス 完了 (2014年度)
配分額 *注記
5,590千円 (直接経費: 4,300千円、間接経費: 1,290千円)
2014年度: 910千円 (直接経費: 700千円、間接経費: 210千円)
2013年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2012年度: 3,380千円 (直接経費: 2,600千円、間接経費: 780千円)
キーワードグラフェンナノ構造 / 原子間力顕微鏡 / CVD / LCPD / 酸化物基板 / 超高真空プロセス
研究成果の概要

基板上の特定部位でグラフェンを真空下CVD成長させる手法を構築し、得られたグラフェンナノ構造を外気に暴露することなく走査型プローブ顕微鏡によって観察した。その結果、Cu薄膜上における成長初期段階では三角型と六角型の2種類のクラスタが出現するが成長が進むにつれて六角型のみとなり、特定の条件下ではその一部が横幅10nm程度のリボン構造となることが分かった。さらにプロセスが進行すると、表面に0.18~0.33nm程度の基本ステップを持つシート構造がスタッキング形成されるようになり、その局所仕事関数の値がスタッキング数の増加に伴ってグラファイトの仕事関数値に近い4.7eVに収束する様子が観測された。

報告書

(4件)
  • 2014 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2013 実施状況報告書
  • 2012 実施状況報告書
  • 研究成果

    (10件)

すべて 2015 2014 2013

すべて 学会発表 (10件)

  • [学会発表] Properties of Nano-Carbon Composite deposited on Metal Substrates Investigated by Scanning Probe Microscope in Ultra High Vacuum2015

    • 著者名/発表者名
      S. Tanaka, M. Tominari, H. Suzuki
    • 学会等名
      18th International Conference on Non Contact Atomic Force Microscopy
    • 発表場所
      Cassis Convention Center、France
    • 年月日
      2015-09-07 – 2015-09-11
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] Non-contact Atomic Force Microscopy of Nanocarbon Fabricated on Cu(111) Surface2015

    • 著者名/発表者名
      H.Suzuki, M. Tominari, S. Tanaka
    • 学会等名
      13th European Conference on Molecular Electronics
    • 発表場所
      University of Strasbourg、France
    • 年月日
      2015-09-01 – 2015-09-05
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] 真空局所CVDプロセスにより形成された基板上ナノカーボン構造の物性評価2015

    • 著者名/発表者名
      田中秀吉、富成征弘、鈴木仁
    • 学会等名
      日本物理学会 第70回年次大会
    • 発表場所
      早稲田大学、東京都、新宿区
    • 年月日
      2015-03-21 – 2015-03-24
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] Growth Properties of Nano-Carbon Composite on Metal Substrate Investigated by Scanning Probe Microscope in Ultra High Vacuum Condition2014

    • 著者名/発表者名
      S. Tanaka, M. Tominari, H. Suzuki
    • 学会等名
      11th International Conference of Nano-Molecular Electronics
    • 発表場所
      Kobe International Conference Center、兵庫県、神戸市
    • 年月日
      2014-12-17 – 2014-12-19
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] 非接触原子間力顕微鏡による銅基板上ナノカーボンの評価2014

    • 著者名/発表者名
      鈴木 仁,  富成 征弘,  田中 秀吉
    • 学会等名
      第75回 応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      北海道大学札幌キャンパス、北海道、札幌
    • 年月日
      2014-09-17 – 2014-09-20
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] 局所CVDプロセスにより形成された基板上ナノ構造の物性評価2014

    • 著者名/発表者名
      田中秀吉、鈴木仁、富成征弘
    • 学会等名
      日本物理学会 2014秋季大会
    • 発表場所
      中部大学春日井キャンパス、愛知県、春日井市
    • 年月日
      2014-09-07 – 2014-09-10
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] SPM study of growth properties of nano-carbon composite on metal substrates2014

    • 著者名/発表者名
      S. Tanaka, H. Suzuki, Y. Tominari
    • 学会等名
      7th International Conference on Molecular Electronics (ElecMol2014)
    • 発表場所
      University of Strasbourg、France
    • 年月日
      2014-08-24 – 2014-08-29
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] 超高真空下プロセスによるナノ構造の作成と評価2014

    • 著者名/発表者名
      田中秀吉、鈴木仁、富成征弘
    • 学会等名
      日本物理学会 第69回年次大会
    • 発表場所
      神奈川県東海大学湘南キャンパス
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [学会発表] 超高真空下プロセスによる基板上ナノ構造の作成と評価2013

    • 著者名/発表者名
      田中秀吉、鈴木仁、富成征弘
    • 学会等名
      日本物理学会 2013年秋季大会
    • 発表場所
      徳島県徳島大学三島キャンパス
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [学会発表] in-situプロセスによる基板上ナノ構造の作成と評価2013

    • 著者名/発表者名
      田中秀吉、鈴木仁、富成征弘
    • 学会等名
      日本物理学会 第68回年次大会
    • 発表場所
      広島大学東広島キャンパス、広島県
    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書

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公開日: 2013-05-31   更新日: 2019-07-29  

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