| 研究課題/領域番号 |
24510179
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| 研究種目 |
基盤研究(C)
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| 配分区分 | 基金 |
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| 応募区分 | 一般 |
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| 研究分野 |
マイクロ・ナノデバイス
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| 研究機関 | 滋賀県立大学 |
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研究代表者 |
柳澤 淳一 滋賀県立大学, 工学部, 教授 (60239803)
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| 研究期間 (年度) |
2012-04-01 – 2016-03-31
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| 研究課題ステータス |
完了 (2015年度)
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| 配分額 *注記 |
5,460千円 (直接経費: 4,200千円、間接経費: 1,260千円)
2014年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2013年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2012年度: 3,380千円 (直接経費: 2,600千円、間接経費: 780千円)
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| キーワード | ナノ多孔構造 / ナノ突起構造 / 集束イオンビーム / 半導体基板表面 / ゲルマニウム / インジウムアンチモン / プラズマ酸化 / 接触角 / ナノ微細構造 / チタン / 酸化チタン / イオン照射 / シリコン / ガリウムアンチモン / 光触媒 / 表面修飾 |
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| 研究成果の概要 |
本研究では、半導体基板表面への集束イオンビーム（FIB）照射により特異的なナノ構造（Geにおけるナノ多孔構造、InSbにおけるナノ突起構造）の構造や形状が制御して形成できることを明らかにした。また、得られる構造がFIB照射パラメータにより変化することを明らかにするための知見を得ることができた。一方、スパッタリング法で形成した金属チタン薄膜を酸素プラズマで酸化して二酸化チタンを得る、という本研究で提案したプロセスを、これらのナノ構造を持つ基板表面に適用することで、光触媒機能の発現と機能性の向上が期待できる結果が得られた。
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