研究課題
基盤研究(C)
顕微赤外分光の空間分解能は回折限界で数μmに制限される。小型化が進む積層セラミックコンデンサの更なる性能向上のためには、ナノメートルオーダーの空間分解能で各層の状態を調べる必要がある。本研究では、赤外放射光を利用して、赤外近接場装置を開発した。装置は、AFM装置とFTIR分光系を組み合わせて構築した。装置改造の結果、空間分解能200 nmを達成し、スペクトルは開発初期と比較してS/N比約 6倍、S/B比約 8 倍改善した。SiCのフォノンスペクトルの測定が可能となり、更に、SiC基盤上のAuアイランド(幅150 nm)部分をスペクトル測定で判別することができた。
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