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電界成長を用いた自己組織化による高輝度ナノカーボン電子源の作製と評価

研究課題

研究課題/領域番号 24560024
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
研究分野 薄膜・表面界面物性
研究機関名古屋大学

研究代表者

中原 仁  名古屋大学, 工学(系)研究科(研究院), 助教 (20293649)

連携研究者 齋藤 弥八  名古屋大学, 大学院工学研究科, 教授 (90144203)
研究期間 (年度) 2012-04-01 – 2015-03-31
研究課題ステータス 完了 (2014年度)
配分額 *注記
4,030千円 (直接経費: 3,100千円、間接経費: 930千円)
2014年度: 1,040千円 (直接経費: 800千円、間接経費: 240千円)
2013年度: 1,300千円 (直接経費: 1,000千円、間接経費: 300千円)
2012年度: 1,690千円 (直接経費: 1,300千円、間接経費: 390千円)
キーワード電界放出電子源 / 電子顕微鏡 / ナノカーボン / 電界誘起成長 / 電界成長
研究成果の概要

本研究では、電界放出誘起成長(FEIG)法を用いて、電子顕微鏡用の電子源として使用可能な高輝度ナノカーボン電子源の作製を行うことに成功した。作製したナノカーボン電子源は直径1nm程度のカーボンナノカプセルで構成されており、一般的な単結晶タングステンより1桁以上高い輝度を達成した。FEIG法の自己整合性により、作製したナノカーボン電子源は電子線の軸調整が容易である。また、作製したナノカーボン電子源は、単結晶タングステンと同程度の引き出し電圧で駆動でき、既存の電界放出電子銃への適応性が極めて高いことが実証された。

報告書

(4件)
  • 2014 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2013 実施状況報告書
  • 2012 実施状況報告書
  • 研究成果

    (9件)

すべて 2015 2014 その他

すべて 雑誌論文 (1件) (うち査読あり 1件) 学会発表 (8件)

  • [雑誌論文] Fabrication of Self-Aligned Nano-Structured Electron Emitters for Field Emission Scanning Electron Microscopy2014

    • 著者名/発表者名
      Hitoshi Nakahara, Shinichi Ito, Shunsuke Ichikawa, Yahachi Saito
    • 雑誌名

      e-Journal of Surface Science and Nanotechnology

      巻: 12

    • NAID

      130004438876

    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] 電界放出誘起成長ナノ電子源の計算機シミュレーションによる輝度評価2015

    • 著者名/発表者名
      中原 仁、伊藤 真一、齋藤 弥八
    • 学会等名
      第62回応用物理学会春季学術講演会
    • 発表場所
      東海大学
    • 年月日
      2015-03-12
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] 電界成長を用いた自己組織化による高輝度ナノ電子源の作製と評価 IV2014

    • 著者名/発表者名
      伊藤 真一,中原 仁,齋藤 弥八
    • 学会等名
      第75回応用物理学会秋季学術講演会
    • 発表場所
      北海道大学
    • 年月日
      2014-09-19
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] Self-Organized Nano-Structured Field Emitter Fabricated by Field Emission Induced Growth2014

    • 著者名/発表者名
      Shinichi Ito and Hitoshi Nakahara and Yahachi Saito
    • 学会等名
      The 47th Fullerenes-Nanotubes-Graphene General Symposium
    • 発表場所
      名古屋大学
    • 年月日
      2014-09-03
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] 電界成長を用いた自己組織化による高輝度ナノ電子源の作製と評価 III

    • 著者名/発表者名
      中原 仁,伊藤 真一,市川 俊介,齋藤 弥八
    • 学会等名
      第74回 応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      同志社大学
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [学会発表] Application of Self-Organized Nano-Structured Emitter on Field Emission Scanning Electron Microscope

    • 著者名/発表者名
      Hitoshi Nakahara, Shinichi Ito, Shunsuke Ichikawa, Yahachi Saito
    • 学会等名
      9th International Symposium on Atomic Level Characterizations for New Materials and Devices 2013
    • 発表場所
      Hawaii, USA
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [学会発表] Self-Aligned Nano-Structured Point Electron Source for Scanning Electron Microscopy Fabricated by Field Emission Induced Growth

    • 著者名/発表者名
      Hitoshi Nakahara, Shinichi Ito, Shunsuke Ichikawa, Yahachi Saito
    • 学会等名
      Symposium on Surface and Nano Science 2014
    • 発表場所
      富良野
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [学会発表] 電界成長を用いた自己組織化による高輝度ナノカーボン電子源の作製と評価 I

    • 著者名/発表者名
      中原仁、市川俊介、齋藤弥八
    • 学会等名
      第73回応用物理学会学術講演会
    • 発表場所
      愛媛大学
    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
  • [学会発表] 電界成長を用いた自己組織化による高輝度ナノカーボン電子源の作製と評価 II

    • 著者名/発表者名
      中原仁、市川俊介、齋藤弥八
    • 学会等名
      第60回応用物理学界春季学術講演会
    • 発表場所
      神奈川工科大学
    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書

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公開日: 2013-05-31   更新日: 2019-07-29  

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