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シリコン中ドーパントの超高分解能深さ分布測定法の開発

研究課題

研究課題/領域番号 24560027
研究種目

基盤研究(C)

配分区分基金
応募区分一般
研究分野 薄膜・表面界面物性
研究機関京都大学

研究代表者

中嶋 薫  京都大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (80293885)

研究期間 (年度) 2012-04-01 – 2015-03-31
研究課題ステータス 完了 (2014年度)
配分額 *注記
5,460千円 (直接経費: 4,200千円、間接経費: 1,260千円)
2014年度: 1,170千円 (直接経費: 900千円、間接経費: 270千円)
2013年度: 1,430千円 (直接経費: 1,100千円、間接経費: 330千円)
2012年度: 2,860千円 (直接経費: 2,200千円、間接経費: 660千円)
キーワード半導体物性 / 表面・界面物性 / 軽元素分析 / ドーパント / イオン散乱分光法 / 弾性反跳粒子検出法 / アトムプローブ / イオン散乱分光 / 二次イオン質量分析
研究成果の概要

高分解能ラザフォード後方散乱分光法(高分解能RBS)/高分解能弾性反跳粒子検出法(高分解能ERD)において、シリコン中のドーパントなどの軽元素に対する感度および深さ分解能の向上を目的にした改良を行った。シリコン基板または黒鉛基板上にフッ化リチウムおよびリチウムを蒸着した試料の高分解能ERD測定を行って、リチウムに対する感度・深さ分解能を評価した結果、表面のリチウム原子について検出下限が0.01原子層以下(3e13 atoms/cm2 程度)、深さ分解能が約0.5 nmが達成された。内部のリチウム原子に対しては、原子が存在する深さが5 nmの場合に深さ分解能は3 nm以下と見積もられた。

報告書

(4件)
  • 2014 実績報告書   研究成果報告書 ( PDF )
  • 2013 実施状況報告書
  • 2012 実施状況報告書
  • 研究成果

    (8件)

すべて 2014 2012 その他

すべて 雑誌論文 (1件) (うち査読あり 1件) 学会発表 (3件) 備考 (4件)

  • [雑誌論文] Emission of secondary ions after grazing impact of keV ions on solid surfaces2014

    • 著者名/発表者名
      K. Nakajima, J. Lienemann, P. Eberlein, K. Kimura, K. Maass, H. Winter
    • 雑誌名

      Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B

      巻: 340 ページ: 67-71

    • DOI

      10.1016/j.nimb.2014.07.035

    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
    • 査読あり
  • [学会発表] A compact high-resolution elastic recoil detection system for lithium depth profiling2014

    • 著者名/発表者名
      M. Nikko, K. Nakajima, K. Kimura
    • 学会等名
      The 26th International Conference on Atomic Collisions in Solids (ICACS-26)
    • 発表場所
      Debrecen, Hungary
    • 年月日
      2014-07-13 – 2014-07-18
    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [学会発表] Emission of Secondary Ions after Grazing Impact of keV Ions on Solid Surfaces2014

    • 著者名/発表者名
      K. Nakajima, J. Lienemann, P. Eberlein, K. Kimura, K. Maass, H. Winter
    • 学会等名
      The 20th International Workshop on Inelastic Ion-Surface Collisions (IISC-20)
    • 発表場所
      Wirrina Cove, Australia
    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [学会発表] High-resolution Elastic Recoil Detection for Boron Depth Profiling2012

    • 著者名/発表者名
      Kaoru Sasakawa
    • 学会等名
      25th International Conference on Atomic Collisions in Solids
    • 発表場所
      Kyoto
    • 関連する報告書
      2012 実施状況報告書
  • [備考] トップページ - 京都大学大学院工学研究科 マイクロエンジニアリング専攻

    • URL

      http://www.mi.t.kyoto-u.ac.jp/ja

    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [備考] ナノ物性工学 - 京都大学大学院工学研究科 マイクロエンジニアリング専攻

    • URL

      http://www.mi.t.kyoto-u.ac.jp/ja/information/laboratory/30ca30ce726960275de55b66

    • 関連する報告書
      2014 実績報告書
  • [備考] マイクロエンジニアリング専攻 - 京都大学 工学部・大学院工学研究科

    • URL

      http://www.t.kyoto-u.ac.jp/ja/divisions/departments/mi

    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書
  • [備考] ナノ物性工学 - 京都大学大学院工学研究科 マイクロエンジニアリング専攻

    • URL

      http://www.mi.t.kyoto-u.ac.jp/ja/information/laboratory/30ca30ce726960275de55b66

    • 関連する報告書
      2013 実施状況報告書

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公開日: 2013-05-31   更新日: 2019-07-29  

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