高原子番号多価イオンを用いる高効率水の窓Ｘ線帯域放射光源の開発

• 研究課題/領域番号: 24560038
• 研究種目: 基盤研究(C)
• 配分区分: 基金
• 応募区分: 一般
• 研究分野: 応用光学・量子光工学
• 研究機関: 宇都宮大学
• 研究代表者: 東口 武史 宇都宮大学, 工学(系)研究科(研究院), 准教授 (80336289)
• 研究期間 (年度): 2012-04-01 – 2015-03-31
• 研究課題ステータス: 完了 (2014年度)
• 配分額: 5,330千円 (直接経費: 4,100千円、間接経費: 1,230千円); 2014年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円); 2013年度: 780千円 (直接経費: 600千円、間接経費: 180千円); 2012年度: 3,770千円 (直接経費: 2,900千円、間接経費: 870千円)
• キーワード: 水の窓軟X線光源 / 重元素 / 多価イオン / レーザー生成プラズマ / 軟X線 / EUV / 水の窓 / レーザー / プラズマ / スペクトル / 高Z

研究成果の概要

高原子番号多価イオンを用いる高効率水の窓Ｘ線帯域放射光源の開発を行った．これらの光源は，リソグラフィーやバイオイメージングへの適用を考えているものである．本研究では高い原子番号の元素（重元素）多価イオンから放射される unresolved transition array (UTA) スペクトル構造を最適化し，高出力水の窓軟X線光源を実現するための指針を得ることにした．

研究成果

• [雑誌論文] Determination of the polarization states of an arbitrary polarized terahertz beam: Vectorial vortex analysis (2015)
  • 著者名/発表者名: Toshitaka Wakayama, Takeshi Higashiguchi, Hiroki Oikawa, Kazuyuki Sakaue, Masakazu Washio, Motoki Yonemura, Toru Yoshizawa, J. Scott Tyo, and Yukitoshi Otani
  • 雑誌名: Scientific Reports 巻: 5 号: 1 ページ: 9416-9416
  • DOI: 10.1038/srep09416
  • 査読あり / オープンアクセス / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] Density and x-ray emission profile relationships in highly ionized high-Z laser-produced plasmas (2015)
  • 著者名/発表者名: K. Yoshida, S. Fujioka, T. Higashiguchi, T. Ugomori, N. Tanaka, M. Kawasaki, Y Suzuki, C. Suzuki, K. Tomita, R. Hirose, T. Ejima, H. Ohashi, M. Nishikino, A. Sunahara, B. Li, P. Dunne, G. O’sullivan, T. Yanagida, H. Azechi, and H. Nishimura
  • 雑誌名: Applied Physics Letters 巻: 106 号: 12 ページ: 121109-121109
  • DOI: 10.1063/1.4916395
  • 査読あり
• [雑誌論文] Quasi-Moseley’s law for strong narrow bandwidth soft x-ray sources containing higher charge-state ions (2014)
  • 著者名/発表者名: H. Ohashi, T. Higashiguchi, Y. Suzuki, G. Arai, Y. Otani, T. Yatagai, B. Li, P. Dunne, G. O’Sullivan, W. Jiang, A. Endo, H. Sakaue, D. Kato, I. Murakami, N. Tamura, S. Sudo, F. Koike, and C. Suzuki
  • 雑誌名: Applied Physics Letters 巻: 104 号: 23
  • DOI: 10.1063/1.4883475
  • 査読あり
• [雑誌論文] Efficient extreme ultraviolet emission from multiple laser-produced one-dimensional spherical plasmas (2014)
  • 著者名/発表者名: Kensuke Yoshida, Shinsuke Fujioka, Takeshi Higashiguchi, et al.
  • 雑誌名: Applied Physics Express 巻: 7 号: 8 ページ: 086202-086202
  • DOI: 10.7567/apex.7.086202
  • 査読あり / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] Evolution of laser-produced Sn extreme ultraviolet source diameter for high-brightness source (2014)
  • 著者名/発表者名: Amitava Roy, Goki Arai, Hiroyuki Hara, Takeshi Higashiguchi, Hayato Ohashi, Atsushi Sunahara, Bowen Li, Padraig Dunne, Gerry O'Sullivan, Taisuke Miura, Tomas Mocek, and Akira Endo
  • 雑誌名: Applied Physics Letters 巻: 105 号: 7 ページ: 074103-074103
  • DOI: 10.1063/1.4893611
  • 査読あり / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] Enhancement of the extreme ultraviolet emission from a potassium plasma by dual laser irradiation (2014)
  • 著者名/発表者名: Takeshi Higashiguchi, Mami Yamaguchi, Takamitsu Otsuka, Takeshi Nagata, Hayato Ohashi, Bowen Li, Rebekah D'Arcy, Padraig Dunne, and Gerry O'Sullivan
  • 雑誌名: Review of Scientific Instruments 巻: 85 号: 9
  • DOI: 10.1063/1.4894384
  • 査読あり / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] EUV spectroscopy of highly charged high Z ions in the Large Helical Device plasmas (2014)
  • 著者名/発表者名: Chihiro Suzuki, Fumihiro Koike, Izumi Murakami, Naoki Tamura, Shigeru Sudo, Hiroyuki Sakaue, Nobuyuki Nakamura, Shigeru Morita, Motoshi Goto, Daiji Kato, Tomohide Nakano, Takeshi Higashiguchi, Colm Harte, and Gerry O'Sullivan
  • 雑誌名: Physica Scripta 巻: 89 号: 11 ページ: 114009-114009
  • DOI: 10.1088/0031-8949/89/11/114009
  • 査読あり / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] Development of a volume-limited dot target for a high brightness extreme ultraviolet microplasma source (2014)
  • 著者名/発表者名: Thanh-Hung Dinh, Yuhei Suzuki, Ryouichi Hirose, Hiroyuki Hara, Hayato Ohashi, Padraig Dunne, Gerry O’Sullivan, Atsushi Sunahara, and Takeshi Higashiguchi
  • 雑誌名: Review of Scientific Instruments 巻: 85 号: 11
  • DOI: 10.1063/1.4901934
  • 査読あり / 謝辞記載あり
• [雑誌論文] EUV露光光源の研究開発の現状 (2014)
  • 著者名/発表者名: 東口 武史，藤岡 慎介，砂原 淳，柳田 達哉，溝口 計
  • 雑誌名: レーザー研究 巻: 42 ページ: 14-22
  • NAID: 130007897471
  • 査読あり
• [雑誌論文] Tuning extreme ultraviolet emission for optimum coupling with multilayer mirrors for future lithography through control of ionic charge states (2014)
  • 著者名/発表者名: H. Ohashi, T. Higashiguchi, B. Li, Y. Suzuki, M. Kawasaki, T. Kanehara, Y. Aida, S. Torii, T. Makimura, W. Jiang, P. Dunne, G. O’Sullivan, and N. Nakamura
  • 雑誌名: Journal of Applied Physics 巻: 115 号: 3 ページ: 33302-33302
  • DOI: 10.1063/1.4862441
  • 査読あり
• [雑誌論文] Analysis of laser produced plasmas of gold in the 1-7 nm region (2014)
  • 著者名/発表者名: Bowen Li, Takeshi Higashiguchi, Takamitsu Otsuka, Noboru Yugami, Padraig Dunne, Deirdre Kilbane, Emma Sokell, and Gerry O'Sullivan
  • 雑誌名: Journal of Physics B : Atomic, Molecular, and Optical Physics 巻: 47 号: 7 ページ: 75001-75001
  • DOI: 10.1088/0953-4075/47/7/075001
  • 査読あり
• [雑誌論文] EUV光源開発の現状 (2013)
  • 著者名/発表者名: 東口 武史，遠藤 彰，溝口 計
  • 雑誌名: プラズマ・核融合学会誌 巻: 89 ページ: 341-348
  • NAID: 110009612748
  • 査読あり
• [雑誌論文] Recent progress in source development for lithography at 6.x nm (2013)
  • 著者名/発表者名: Gerry O’Sullivan, Thomas Cummins, Padraig Dunne, Akira Endo, Paddy Hayden, Takeshi Higashiguchi, Deirdre Kilbane, Bowen Li, Colm O’Gorman, Takamitsu Otsuka, Emma Sokell, and Noboru Yugami
  • 雑誌名: Physica Scripta 巻: T156 ページ: 14105-14105
  • DOI: 10.1088/0031-8949/2013/t156/014105
  • 査読あり
• [雑誌論文] 6.x nm 領域における希土類プラズマ極端紫外光源 (2013)
  • 著者名/発表者名: 大塚 崇光，東口 武史，湯上 登
  • 雑誌名: 電気学会論文誌A（基礎・材料・共通部門誌） 巻: 133 ページ: 526-531
  • 査読あり
• [雑誌論文] Efficient “water window” soft x-ray high-Z plasma source (2013)
  • 著者名/発表者名: Takeshi Higashiguchi, Takamitsu Otsuka, Weihua Jiang, Akira Endo, Bowen Li, Padraig Dunne, and Gerry O’Sullivan
  • 雑誌名: Journal of Physics: Conference Series 巻: 463 ページ: 12024-12024
  • DOI: 10.1088/1742-6596/463/1/012024
  • 査読あり
• [雑誌論文] プラズマと量子ビームによる短波長光源 (2013)
  • 著者名/発表者名: 東口 武史，大塚 崇光，鵜篭 照之，藤岡 慎介，西村 博明，鈴木 千尋，坂上 和之，鷲尾 方一，遠藤 彰
  • 雑誌名: プラズマ・核融合学会誌 巻: 89 ページ: 669-676
  • 査読あり
• [雑誌論文] Characteristics of extreme ultraviolet emission from mid-infrared laser-produced rare-earth Gd plasmas (2013)
  • 著者名/発表者名: T. Makimura, 他14名
  • 雑誌名: Optics Express 巻: vol.21 号: 26 ページ: 31837-31845
  • DOI: 10.1364/oe.21.031837
  • 査読あり
• [雑誌論文] The effect of viewing angle on the spectral behavior of a Gd plasma source near 6.7 nm (2012)
  • 著者名/発表者名: Colm O’Gorman, Takamitsu Otsuka, Noboru Yugami, Weihua Jiang, Akira Endo, Bowen Li, Thomas Cummins, Padraig Dunne, Emma Sokell, Gerry OSullivan, and Takeshi Higashiguchi
  • 雑誌名: APPLIED PHYSICS LETTERS 巻: 100 号: 14 ページ: 141108-141108
  • DOI: 10.1063/1.3701593
  • 査読あり
• [雑誌論文] Characteristics of argon plasma waveguide produced by alumina capillary discharge for short wavelength laser application (2012)
  • 著者名/発表者名: Takeshi Higashiguchi, Nadezhda Bobrova, Pavel Sasorov, Shohei Sakai, Yasuhiko Sentoku, Ryosuke Kodama and Noboru Yugami
  • 雑誌名: JOURNAL OF APPLIED PHYSICS 巻: 093302 号: 9 ページ: 93302-93302
  • DOI: 10.1063/1.4712038
  • 査読あり
• [雑誌論文] Investigation of Gd and Tb Plasmas for Beyond Extreme Ultraviolet Lithography Based on Multilayer Mirror Performance (2012)
  • 著者名/発表者名: B. Li, T. Otsuka, T. Higashiguchi, N. Yugami, W. Jiang, A. Endo, P. Dunne, and G. O'Sullivanl
  • 雑誌名: Applied Physics Letters 巻: 101 号: 1 ページ: 13112-13112
  • DOI: 10.1063/1.4732791
  • 査読あり
• [雑誌論文] Analysis of tungsten laser produced plasmas in the extreme ultraviolet (EUV) spectral region (2012)
  • 著者名/発表者名: Colm S Harte
  • 雑誌名: JOURNAL OF PHYSICS B : ATOMIC, MOLECULAR AND OPTICAL PHYSICS 巻: 45 号: 20 ページ: 205002-205002
  • DOI: 10.1088/0953-4075/45/20/205002
  • 査読あり
• [雑誌論文] XUV spectra of laser-produced zirconium plasma (2012)
  • 著者名/発表者名: Bowen Li, Takeshi Higashiguchi, Takamitsu Otsuka, Weihua Jiang, Akira Endo, Padraig Dunne, and Gerry O’Sullivan
  • 雑誌名: Journal of Physics B 巻: 45 号: 24 ページ: 245004-245004
  • DOI: 10.1088/0953-4075/45/24/245004
  • 査読あり
• [雑誌論文] "Water window" sources : Selection based on the interplay of spectral properties and multilayer reflection bandwidth (2012)
  • 著者名/発表者名: Bowen Li
  • 雑誌名: APPLIED PHYSICS LETTERS 巻: 102 号: 4
  • DOI: 10.1063/1.4789982
  • 査読あり
• [学会発表] 光パラメトリック中赤外レーザーの開発 (2015)
  • 著者名/発表者名: 川崎 将人，ヂン タンフン，笹沼 淳史，藤井 雄介，三浦 泰祐，東口 武史
  • 学会等名: 第15回レーザー学会東京支部研究会
  • 発表場所: 東海大学高輪キャンパス
  • 年月日: 2015-03-05
• [学会発表] 高効率EUV光源のための短パルスCO2レーザーの開発 (2015)
  • 著者名/発表者名: 笹沼 淳史，ヂン タンフン，荒居 剛己，藤井 雄介，南都 健一郎，中村 大輔，髙橋 昭彦，岡田 龍雄，三浦 泰祐，東口 武史
  • 学会等名: 第15回レーザー学会東京支部研究会
  • 発表場所: 東海大学高輪キャンパス
  • 年月日: 2015-03-05
• [学会発表] レーザー生成マイクロプラズマによる高輝度EUV光源の放射特性 (2015)
  • 著者名/発表者名: 荒居 剛己，原 広行，ヂン タンフン，砂原 淳，三浦 泰祐，遠藤 彰，東口 武史
  • 学会等名: 第15回レーザー学会東京支部研究会
  • 発表場所: 東海大学高輪キャンパス
  • 年月日: 2015-03-05
• [学会発表] プラズマEUV光源の高効率化とその応用 (Efficient plasma EUV source and its applicatio (2014)
  • 著者名/発表者名: 東口 武史 (Takeshi Higashiguchi)
  • 学会等名: Plasma Conference 2014 (Plasma 2014
  • 発表場所: 朱鷺メッセ
  • 年月日: 2014-11-21
  • 招待講演
• [学会発表] LHDプラズマを用いた高Z元素多価イオンのEUV分光と原子モデルの構築 (EUV Spectroscopy and Atomic Model of Highly Charged Ions of High Z Elements Using LHD Plasmas) (2014)
  • 著者名/発表者名: 鈴木 千尋，村上 泉，小池 文博，田村 直樹，須藤 滋，坂上 裕之，中村 信行，森田 繁，後藤 基志，加藤 太治，仲野 友英，東口 武史，Colm S. Harte，Gerry O'Sullivan
  • 学会等名: Plasma Conference 2014 (Plasma 2014
  • 発表場所: 朱鷺メッセ
  • 年月日: 2014-11-21
  • 招待講演
• [学会発表] Welcome and Overview of recent work on soft-ray emission spectroscopy (2014)
  • 著者名/発表者名: Gerry O’Sullivan, Padraig Dunne, Paddy Hayden, Bowen Li, Ragava Lokasani, Elaine Long, Hayato Ohashi, Fergal O’Reilly, John Sheil, Emma Sokell, Chihiro Suzuki, Elgiva White, and Takeshi Higashiguchi
  • 学会等名: ISCA Japan-Ireland Workshop on extreme ultraviolet source development for lithography, surface morphology and biological imaging
  • 発表場所: University College Dublin
  • 年月日: 2014-11-06
  • 招待講演
• [学会発表] Tunable extreme ultraviolet and soft x-ray narrowband sources with laser produced high-Z plasmas (2014)
  • 著者名/発表者名: Hayato Ohashi, Takeshi Higashiguchi, Yuhei Suzuki, Goki Arai, Nobuyuki Nakamura, Bowen Li, Padraig Dunne, Gerry O’Sullivan, Hiroyuki A. Sakaue, Daiji Kato, Izumi Murakami, Naoki Tamura, Shigeru Sudo, Fumihiro Koike, and Chihiro Suzuki
  • 学会等名: ISCA Japan-Ireland Workshop on extreme ultraviolet source development for lithography, surface morphology and biological imaging
  • 発表場所: University College Dublin
  • 年月日: 2014-11-06
• [学会発表] Recent progress in Utsunomiya University: Development of compact, 10-Hz short pulse CO2 laser system for EUV & soft x-ray sources (2014)
  • 著者名/発表者名: Takeshi Higashiguchi
  • 学会等名: ISCA Japan-Ireland Workshop on extreme ultraviolet source development for lithography, surface morphology and biological imaging
  • 発表場所: University College Dublin
  • 年月日: 2014-11-06
  • 招待講演
• [学会発表] Sources for Water Window Imaging (2014)
  • 著者名/発表者名: Gerry O’Sullivan, Padraig Dunne, Paddy Hayden, Bowen Li, Ragava Lokasani, Elaine Long, Hayato Ohashi, Fergal O’Reilly, John Sheil, Emma Sokell, Chihiro Suzuki, Elgiva White, and Takeshi Higashiguchi
  • 学会等名: 2014 International Workshop on EUV and Soft X-Ray Sources
  • 発表場所: University College Dublin
  • 年月日: 2014-11-05
  • 招待講演
• [学会発表] Efficient EUV sources by short CO2 laser-produced plasmas (2014)
  • 著者名/発表者名: Reiho Amano, Thanh Hung Dinh, Masato Kawasaki, Atsushi Sasanuma, Yuhei Suzuki, Takeshi Higashiguchi, and Taisuke Miura
  • 学会等名: 2014 International Workshop on EUV and Soft X-Ray Sources
  • 発表場所: University College Dublin
  • 年月日: 2014-11-04
• [学会発表] A microplasma high-brightness EUV source at 13.5 nm (2014)
  • 著者名/発表者名: Goki Arai, Hiroyuki Hara, Yuhei Suzuki, Thanh Hung Dinh, and Takeshi Higashiguchi
  • 学会等名: 2014 International Workshop on EUV and Soft X-Ray Sources
  • 発表場所: University College Dublin
  • 年月日: 2014-11-04
• [学会発表] Radiation hydrodynamic simulation of a high-brightness 13.5-nm EUV microplasma (2014)
  • 著者名/発表者名: Hiroyuki Haya, Goki Arai, Takanori Miyazaki, Thanh-Hung Dinh, Takeshi Higashiguchi, and Atsushi Sunahara
  • 学会等名: 2014 International Workshop on EUV and Soft X-Ray Sources
  • 発表場所: University College Dublin
  • 年月日: 2014-11-04
• [学会発表] Quasi-Moseley’s law for UTA spectra in high-Z highly ion charge states for high power EUV & soft x-ray sources (2014)
  • 著者名/発表者名: Yuhei Suzuki, Goki Arai, Takanori Miyazaki, Thanh-Hung Dinh, and Takeshi Higashiguchi
  • 学会等名: 2014 International Workshop on EUV and Soft X-Ray Sources
  • 発表場所: University College Dublin
  • 年月日: 2014-11-04
• [学会発表] Possibility of high-Z plasma water window sources (2014)
  • 著者名/発表者名: Takanori Miyazaki, Yuhei Suzuki, Thanh Hung Dinh, and Takeshi Higashiguchi
  • 学会等名: 2014 International Workshop on EUV and Soft X-Ray Sources
  • 発表場所: University College Dublin
  • 年月日: 2014-11-04
• [学会発表] Characteristics of soft x-ray emission from optically thin high-Z plasmas in Large Helical Device (2014)
  • 著者名/発表者名: Hayato Ohashi, Takeshi Higashiguchi, Yuhei Suzuki, Goki Arai, Bowen Li, Padraig Dunne, Gerry O’Sullivan, Hiroyuki A. Sakaue, Daiji Kato, Izumi Murakami, Naoki Tamura, Shigeru Sudo, Fumihiro Koike, and Chihiro Suzuki
  • 学会等名: 2014 International Workshop on EUV and Soft X-Ray Sources
  • 発表場所: University College Dublin
  • 年月日: 2014-11-04
• [学会発表] Systematic observation of EUV spectra from heavy ions in optically thin and thick plasmas (2014)
  • 著者名/発表者名: Chihiro Suzuki, Fumihiro Koike, Takeshi Higashiguchi, Izumi Murakami, Naoki Tamura, Shigeru Sudo, Elgiva White, John Sheil, Elaine Long, Fergal O’Reilly, Emma Sokell, Padraig Dunne, and Gerard O’Sullivan
  • 学会等名: 9th International Conference on Atomic and Molecular Data and Their Applications (ICAMDATA)
  • 発表場所: University of Jena
  • 年月日: 2014-09-22
  • 招待講演
• [学会発表] Sources for beyond extreme ultraviolet lithography and water window imaging (2014)
  • 著者名/発表者名: Gerry O'Sullivan, Padraig Dunne, Paddy Hayden, Bowen Li, Ragava Lokasania, Elaine Long, Hayato Ohashi, Fergal O'Reilly, John Sheil, Emma Sokell, Chihiro Suzuki, Elgiva White, and Takeshi Higashiguchi
  • 学会等名: 9th International Conference on Atomic and Molecular Data and Their Applications (ICAMDATA)
  • 発表場所: University of Jena
  • 年月日: 2014-09-22
  • 招待講演
• [学会発表] 重元素プラズマによるEUV・軟X線光源開発 (2014)
  • 著者名/発表者名: 東口 武史
  • 学会等名: 2014年度 原子分子データ応用フォーラムセミナ
  • 発表場所: 核融合科学研究所
  • 年月日: 2014-09-12
• [学会発表] Tunable narrowband soft x-ray sources with laser-produced high-Z plasmas (2014)
  • 著者名/発表者名: Hayato Ohashi, Hiroaki Ito, Yuhei Suzuki, Goki Arai, Bowen Li, Gerry O’Sullivan, Fumihiro Koike, Chihiro Suzuki, and Takeshi Higashiguchi
  • 学会等名: 5th Euro-Arian Pulsed Power Conference (EAPPC 2014)
  • 発表場所: Kumamoto University
  • 年月日: 2014-09-10
• [学会発表] 重元素による高効率EUV・軟X線プラズマ光源とその応用 (2014)
  • 著者名/発表者名: 東口 武史
  • 学会等名: 「プラズマ科学のフロンティア」研究会
  • 発表場所: 核融合科学研究所
  • 年月日: 2014-08-06
  • 招待講演
• [学会発表] 高輝度EUV光源プラズマの放射流体数値解析 (2014)
  • 著者名/発表者名: 原 広行，荒居 剛己，鈴木 悠平，廣瀬 僚一，三浦 泰祐，遠藤 彰，ROY Amitava, MOCEK Tomas, 東口 武史，砂原 淳
  • 学会等名: 「プラズマ科学のフロンティア」研究会
  • 発表場所: 核融合科学研究所
  • 年月日: 2014-08-06
• [学会発表] 重元素プラズマUTA光源の原子番号依存性 (2014)
  • 著者名/発表者名: 鈴木 悠平，大橋 隼人，荒居 剛己，宮崎 孝基，LI Bowen，DUNNE Padraig，O’SULLIVAN Gerry，鈴木 千尋，田村 直樹，須藤 滋，坂上 裕之，加藤 大治，村上 泉，小池 文博，東口 武史
  • 学会等名: 「プラズマ科学のフロンティア」研究会
  • 発表場所: 核融合科学研究所
  • 年月日: 2014-08-06
• [学会発表] 光パラメトリック法によるサブナノ秒中赤外レーザーの開発 (2014)
  • 著者名/発表者名: 川崎 将人，笹沼 淳史，藤井 雄介，天野 玲保，三浦 泰祐，遠藤 彰，MOCEK Tomas，東口 武史
  • 学会等名: 「プラズマ科学のフロンティア」研究会
  • 発表場所: 核融合科学研究所
  • 年月日: 2014-08-06
• [学会発表] 高効率EUV光源用炭酸ガスレーザー再生増幅器の開発 (2014)
  • 著者名/発表者名: DINH Thanh Hung，天野 玲保，笹沼 淳史，川崎 将人，藤井 雄介，高橋 昭彦，中村 大輔，岡田 龍雄，三浦 泰祐，遠藤 彰，MOCEK Tomas，東口 武史
  • 学会等名: 「プラズマ科学のフロンティア」研究会
  • 発表場所: 核融合科学研究所
  • 年月日: 2014-08-06
• [学会発表] Laser-produced multi-charged heavy ions as efficent soft x-ray sources (2014)
  • 著者名/発表者名: Takeshi Higashiguchi
  • 学会等名: The 5th China-Japan-Korea Joint Seminar on Atomic and Molecular Processes in Plasma (AMPP2014)
  • 発表場所: Northwest Normal University
  • 年月日: 2014-07-31
  • 招待講演
• [学会発表] 『水の窓』波長域のレーザー生成プラズマ光源の開発 (2014)
  • 著者名/発表者名: 東口 武史
  • 学会等名: 「軟X線による細胞内形態解析」研究会
  • 発表場所: 宮城蔵王ロイヤルホテル
  • 年月日: 2014-07-26
• [学会発表] 重元素によるレーザー生成多価イオンプラズマ光源とその応用 (2014)
  • 著者名/発表者名: 東口 武史
  • 学会等名: 多摩シンポジウム～Tokyo-EBIT 20周年に向けて～
  • 発表場所: 電気通信大学
  • 年月日: 2014-07-05
  • 招待講演
• [学会発表] Radiation hydrodynamic simulation of a high-brightness 13.5-nm EUV microplasma by use of a dot target (2014)
  • 著者名/発表者名: Hiroyuki Hara, Goki Arai, Yuhei Suzuki, Hayato Ohashi, Takeshi Higashiguchi, and Atsushi Sunahara
  • 学会等名: Photomask Japan 2014
  • 発表場所: Pacifico Yokohama
  • 年月日: 2014-04-15
• [学会発表] Beyond extreme ultraviolet sources for next generation lithography (2014)
  • 著者名/発表者名: Takeshi Higashiguchi, Yuhei Suzuki, Masato Kawasaki, Goki Arai, and Hayato Ohashi
  • 学会等名: Photomask Japan 2014
  • 発表場所: Pacifico Yokohama
  • 年月日: 2014-04-15
• [学会発表] Investigation of laser produced high-Z plasma soft X-ray sources (2013)
  • 著者名/発表者名: Takamitsu Otsuka, Padraig Dunne, Gerry O’Sullivan, Takeshi Higashiguchi, and Noboru Yugami
  • 学会等名: IEEE Pulsed Power & Plasma Science
  • 発表場所: Hyatt Regency, San Francisco, California
• [学会発表] Recent progress in source development in the extreme ultraviolet for lithography and water window imaging (2013)
  • 著者名/発表者名: Gerry O’Sullivan, Padraig Dunne, Takeshi Higashiguchi, Takamitsu Otsuka, Bowen Li, Imam Kambali, Akira Endo, Fergal O’Reilly, and Deirdre Kilbane
  • 学会等名: 11th EUROPEAN CONFERENCE ON ATOMS, MOLECULES AND PHOTONS (ECAMP11)
  • 発表場所: Aarhus University, Aarhus, Denmark
  • 招待講演
• [学会発表] EUV spectroscopy of highly charged high Z ions in the Large Helical Device plasmas (2013)
  • 著者名/発表者名: C. Suzuki, F. Koike, I. Murakami, N. Tamura, S. Sudo, H. A. Sakaue, N. Nakamura, S. Morita, M. Goto, D. Kato, T. Nakano, T. Higashiguchi, C. S. Harte, G. O’Sullivan
  • 学会等名: 11th International Colloquium on Atomic Spectra and Oscillator Strengths for Astrophysical and Laboratory Plasmas (ASOS-11)
  • 発表場所: University of Mons, Mons, Belgium
  • 招待講演
• [学会発表] パルスエネルギーによるBEUV～水の窓軟X線光源 (2013)
  • 著者名/発表者名: 東口 武史
  • 学会等名: 核融合科学研究所研究会「パルスパワー技術による高エネルギー密度プラズマ」
  • 発表場所: 核融合科学研究所
• [学会発表] 高原子番号元素による軟X線光源の放射特性 (2013)
  • 著者名/発表者名: 東口 武史，大塚 崇光，Padraig Dunne, Gerry O’Sullivan
  • 学会等名: 電気学会，プラズマ パルスパワー 放電 合同研究会
  • 発表場所: まちなかキャンパス長岡
• [学会発表] Dynamics of the ultrashort laser pulse in a capillary discharge-preformed argon plasma channel (2012)
  • 著者名/発表者名: Takeshi Higashiguchi, Nadezhda Bobrova, Shohei Sakai, Noboru Yugami, Yasuhiko Sentoku, and Ryosuke Kodama
  • 学会等名: International Conference on High Energy Density Sciences 2012 (HEDS2012)
  • 発表場所: Pacifico Yokohama
• [学会発表] Fundamental Property of 6.X-nm EUV Emission (2012)
  • 著者名/発表者名: Takeshi Higashiguchi, Takamitsu Otsuka, Noboru Yugami, Thomas Cummins, Colm O’Gorman, Bowen Li, Deirdre Kilbane, Padraig Dunne, Gerry O’Sullivan, Weihua Jiang, and Akira Endo
  • 学会等名: 2012 International Workshop on EUV Lithography
  • 発表場所: Sheraton Maui Resort
  • 招待講演
• [学会発表] Investigating the Effects of Laser Power Density, Pulse Duration and Viewing Angle on a 6.7nm BEUV Source (2012)
  • 著者名/発表者名: Colm O'Gorman, Thomas Cummins, Takamitsu Otsuka, Noboru Yugami, Weihua Jiang, Akira Endo, Bowen Li, Padraig Dunne, Emma Sokell, Gerry O'Sullivan, and Takeshi Higashiguchi
  • 学会等名: 2012 International Workshop on EUV Lithography
  • 発表場所: Sheraton Maui Resort
• [学会発表] 次世代リソグラフィーのためのBeyond EUV 光源 (2012)
  • 著者名/発表者名: 大塚 崇光，東口 武史，湯上 登，江 偉華，遠藤 彰，DUNNE Padraig，O’SULLIVAN Gerry
  • 学会等名: 次世代リソグラフィー技術研究会
  • 発表場所: 東京工業大学蔵前会館
• [学会発表] Efficient “water window” soft x-ray high-Z plasma source (2012)
  • 著者名/発表者名: Takamitsu Otsuka, Takeshi Higashiguchi, Noboru Yugami, Weihua Jiang, Akira Endo, Bowen Li, Padraig Dunne, and Gerry O’Sullivan
  • 学会等名: The 11th International Conference on X-ray Microscopy (XRM2012)
  • 発表場所: The Hope Hotel (Shanghai, China)
• [学会発表] レーザー生成プラズマ極端紫外（EUV）光源の放射特性 (2012)
  • 著者名/発表者名: 東口 武史
  • 学会等名: 2012年秋季 第73回応用物理学会学術講演会シンポジウム「高強度XUV～X線ビームの発生とその応用」
  • 発表場所: 愛媛大学城北地区
  • 招待講演
• [学会発表] 高原子番号物質を用いる極端紫外光源の研究 (2012)
  • 著者名/発表者名: 大塚 崇光，東口 武史， 江 偉華，遠藤 彰，湯上 登，DUNNE Padraig，O’SULLIVAN Gerry
  • 学会等名: 2012年秋季 第73回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 愛媛大学城北地区
• [学会発表] 多価イオンからの軟 X 線放射 (2012)
  • 著者名/発表者名: 大塚 崇光，東口 武史，江 偉華，湯上 登，遠藤 彰，DUNNE Padraig, O'Sullivan Gerry
  • 学会等名: レーザー学会，第432回研究会
  • 発表場所: 足利まちなか遊学館
• [学会発表] Characteristics of 6.X-nm Beyond EUV sources (2012)
  • 著者名/発表者名: Takeshi Higashiguchi
  • 学会等名: 2012 International Symposium on Extreme Ultraviolet Lithography
  • 発表場所: SQUARE Brussels Meeting Centre
• [学会発表] Possibility of High-Z Plasma Water Window Sources (2012)
  • 著者名/発表者名: Takeshi Higashiguchi
  • 学会等名: 2012 International Workshop on EUV and Soft X-Ray Sources
  • 発表場所: University College Dublin
• [学会発表] Plasma-based UTA Emission in BEUV & Water Window Spectral Regions (2012)
  • 著者名/発表者名: Takeshi Higashiguchi
  • 学会等名: 2012 International Workshop on EUV and Soft X-Ray Sources
  • 発表場所: University College Dublin
  • 招待講演
• [学会発表] 高原子番号物質プラズマによるUTA EUV光源 (2012)
  • 著者名/発表者名: 東口 武史
  • 学会等名: 2012年度 原子分子データ応用フォーラムセミナー
  • 発表場所: 核融合科学研究所
• [学会発表] 高原子番号元素による軟X線光源の放射特性
  • 著者名/発表者名: 東口 武史，大塚 崇光，Padraig Dunne, Gerry O’Sullivan
  • 学会等名: 電気学会，プラズマ パルスパワー 放電 合同研究会
  • 発表場所: まちなかキャンパス長
• [学会発表] Progress in Laser-Plasma Sources - 13.5 nm & Beyond
  • 著者名/発表者名: Padraig Dunne, Takeshi Higashiguchi, Takamitsu Otsuka, Weihua Jiang, Akira Endo, Bowen Li, Colm O’Gorman, Thomas Cummings, Patrick Hayden, Tony Donnelly, Fergal O’Reilly, and Gerry O’Sullivan
  • 学会等名: 2013 International Workshop on EUV Lithography
  • 発表場所: Makena Beach Golf Resort, Maui, Hawaii
  • 招待講演
• [学会発表] Beyond Extreme Ultra Violet (BEUV) Radiation from Spherically symmetrical High-Z plasmas
  • 著者名/発表者名: Kensuke Yoshida, Shinsuke Fujioka, Takeshi Higashiguchi, Teruyuki Ugomori, Nozomi Tanaka, Masato Kawasaki, Yuhei Suzuki, Chihiro Suzuki, Kentaro Tomita, Ryouichi Hirose, Takeo Ejima, Hayato Ohashi, Masaharu Nishikino, Enda Scally, Hiroaki Nshimura, Hiroshi Azechi, and Gerard O’Sullivan
  • 学会等名: The Eighth International Conference on Inertial Fusion Sciences and Applications (IFSA2013)
  • 発表場所: Nara Prefectural New PublicHall, Japan
• [学会発表] Characteristics of extreme ultraviolet emission from high-Z plasmas
  • 著者名/発表者名: Takeshi Higashiguchi, Yuhei Suzuki, Masato Kawasaki, Chihiro Suzuki, Kentaro Tomita, Masaharu Nishikino, Shinsuke Fujioka, Akira Endo, Bowen Li, Takamitsu Otsuka, Padraig Dunne, and Gerry O’Sullivan
  • 学会等名: The Eighth International Conference on Inertial Fusion Sciences and Applications (IFSA2013)
  • 発表場所: Nara Prefectural New PublicHall, Japan
• [学会発表] 高輝度EUV光源用ドットターゲットの開発
  • 著者名/発表者名: 東口 武史，廣瀬 僚一，鈴木 悠平，川崎 将人，砂原 淳，遠藤 彰
  • 学会等名: 2013年秋季 第74回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 同志社大学京田辺キャンパス
• [学会発表] 水の窓・炭素の窓領域のレーザー生成プラズマ軟X線光源の放射特性
  • 著者名/発表者名: 東口 武史，鈴木 悠平，川崎 将人，大谷 幸利，谷田貝 豊彦，Bowen Li，Padraig Dunne，Gerry O'sullivan
  • 学会等名: 2013年秋季 第74回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 同志社大学京田辺キャンパス
• [学会発表] 球対称BEUV放射プラズマの電子密度計測
  • 著者名/発表者名: 鵜篭 照之，吉田 健祐，錦野 将元，藤岡 慎介，西村 博明，東口 武史，江島 丈雄，富田 健太郎，鈴木 千尋，大橋 隼人，田中 のぞみ，疇地 宏，鈴木 悠平，川崎 将人，廣瀬 僚一
  • 学会等名: 2013年秋季 第74回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 同志社大学京田辺キャンパス
• [学会発表] 球対称ガドリニウムプラズマからのB-EUV放射特性とスペクトル特性
  • 著者名/発表者名: 吉田 健祐，藤岡 慎介，鵜篭 照之，田中 のぞみ，西村 博明，東口 武史，鈴木 悠平，川崎 将人，江島 丈雄，廣瀬 僚一，富田 健太郎，鈴木 千尋，大橋 隼人，錦野 将元，疇地 宏
  • 学会等名: 2013年秋季 第74回応用物理学会学術講演会
  • 発表場所: 同志社大学京田辺キャンパス
• [学会発表] Characteristics of 6.X-nm Beyond EUV sources
  • 著者名/発表者名: Takeshi Higashiguchi, Takamitsu Otsuka, Thomas Cummins, Colm O’Gorman, Bowen Li, Deirdre Kilbane, Padraig Dunne, Gerry O'Sullivan, Weihua Jiang, and Akira Endo
  • 学会等名: 2013 International Symposium on Extreme Ultraviolet Lithography
  • 発表場所: Toyama International Conference Center
• [学会発表] Fundamental properties of the beyond EUV source
  • 著者名/発表者名: Takeshi Higashiguchi, Hayato Ohashi, Yuhei Suzuki, Masato Kawasaki, Bowen Li, Deirdre Kilbane, Padraig Dunne, Gerry O’Sullivan, Weihua Jiang, and Akira Endo
  • 学会等名: 2013 International Symposium on Extreme Ultraviolet Lithography
  • 発表場所: Toyama International Conference Center
• [学会発表] Microplasma high-brightness EUV source at 13.5 nm
  • 著者名/発表者名: Takeshi Higashiguchi, Yoichi Hirose, Hayato Ohashi, Yuhei Suzuki, Masato Kawasaki, Hiroyuki Hara, Atsushi Sunahara, Akira Endo, Padraig Dunne, and Gerry O’Sullivan
  • 学会等名: 2013 International Symposium on Extreme Ultraviolet Lithography
  • 発表場所: Toyama International Conference Center
• [学会発表] Optimising emission from EUV sources
  • 著者名/発表者名: Gerry O’Sullivan, Bowen Li, Takeshi Higashiguchi, Thomas Cummins, Padraig Dunne, Paddy Hayden, Deirdre Kilbane, Imam Kambali, Colm O’Gorman, Hayato Ohashi, Takamitsu Otsuka, Chihiro Suzuki, Emma Sokell, Noboru Yugami, Sergey Zakharov, Vasily Zakharov
  • 学会等名: レーザー学会，第450回研究会
  • 発表場所: 早稲田大学西早稲田キャンパス
  • 招待講演
• [学会発表] 球対称プラズマを用いたBEUV光源データベースの構築
  • 著者名/発表者名: 吉田 健祐，藤岡 慎介，東口 武史，鵜篭 照之，田中 のぞみ，川崎 将人，鈴木 悠平，鈴木 千尋，富田 健太郎，廣瀬 僚一，江島 丈雄，大橋 隼人，錦野 将元，Enda Scally, Gerard O'Sullivan，西村 博明，畦地 宏
  • 学会等名: レーザー学会，第450回研究会
  • 発表場所: 早稲田大学西早稲田キャンパス
• [学会発表] 重元素プラズマによる短波長光源
  • 著者名/発表者名: 東口 武史
  • 学会等名: レーザー学会，第450回研究会
  • 発表場所: 早稲田大学西早稲田キャンパス
• [学会発表] 電子ビームイオントラップを用いたプラズマ光源関連イオンのEUV分光
  • 著者名/発表者名: 大橋 隼人，東口 武史，坂上 裕之，中村 信行
  • 学会等名: レーザー学会，第450回研究会
  • 発表場所: 早稲田大学西早稲田キャンパス
• [学会発表] Homework for table-top, efficiency, high-brightness high-Z plasma EUV-soft x-ray sources for in vivo bio-imaging applications
  • 著者名/発表者名: Takeshi Higashiguchi
  • 学会等名: Ireland Japan Collaboration Workshop
  • 発表場所: University College Dublin
  • 招待講演
• [学会発表] Observations of EUV Spectra from Highly Charged Heavy Ions in Optically Thin Plasmas for Benchmarking of Models
  • 著者名/発表者名: Chihiro Suzuki, Fumihiro Koike, Izumi Murakami, Naoki Tamura, Shigeru Sudo, Takeshi Higashiguchi, Gerry O'Sullivan
  • 学会等名: 2013 International Workshop on EUV and Soft X-Ray Sources,
  • 発表場所: University College Dublin
  • 招待講演
• [学会発表] Fundamental Atomic Process in Source Development for Beyond EUV Lithography and “Water Window” Imaging
  • 著者名/発表者名: Bowen Li, Takeshi Higashiguchi, Takamitsu Otsuka, Weihua Jiang, Akira Endo, Emma Sokell, Padraig Dunne, and Gerry O’Sullivan
  • 学会等名: 2013 International Workshop on EUV and Soft X-Ray Sources,
  • 発表場所: University College Dublin
• [学会発表] Efficient Light Sources at BEUV & Water Window Soft X-ray Wavelengths
  • 著者名/発表者名: Takeshi Higashiguchi, Yuhei Suzuki, Masato Kawasaki, Hayato Ohashi 他
  • 学会等名: 2013 International Workshop on EUV and Soft X-Ray Sources,
  • 発表場所: University College Dublin
  • 招待講演
• [学会発表] プラズマ光源関連イオンの EBIT による分光測定
  • 著者名/発表者名: 金原達彦，岸良子文，大橋隼人，東口武史，中村信行
  • 学会等名: 原子衝突学会第38回年会
  • 発表場所: 理化学研究所 (和光) 鈴木梅太郎記念ホール
• [学会発表] Feasibility study of efficient high-Z plasma soft x-ray sources
  • 著者名/発表者名: Takeshi Higashiguchi
  • 学会等名: The 12th Symposium on X-ray Imaging Optics
  • 発表場所: Osaka University Nakanoshima Center
  • 招待講演
• [学会発表] 球対称プラズマを用いたBEUV光源データベースの構築
  • 著者名/発表者名: 吉田 健祐，藤岡 慎介，東口 武史，鵜篭 照之，田中 のぞみ，大橋 隼人，川崎 将人，鈴木 悠平，鈴木 千尋，富田 健太郎，廣瀬 僚一，江島 丈雄，錦野 将元，Enda Scally，西村 博明，疇地 宏，Gerard O’Sullivan
  • 学会等名: レーザー励起X線源とその応用研究会
  • 発表場所: 日本原子力研究開発機構敦賀本部アトムホール
• [学会発表] レーザー生成プラズマEUV光源プラズマの放射特性
  • 著者名/発表者名: 東口 武史，鈴木 悠平，川崎 将人，大橋 隼人
  • 学会等名: レーザー学会，第455回研究会
  • 発表場所: 日本原子力研究開発機構敦賀本部アトムホール
• [学会発表] 重元素プラズマ軟X線光源の放射特性
  • 著者名/発表者名: 東口 武史，大橋 隼人，鈴木 悠平，川崎 将人
  • 学会等名: レーザー学会，第456回研究会
  • 発表場所: 大阪大学レーザーエネルギー学研究センター
• [学会発表] 炭酸ガスレーザー生成希土類プラズマ光源の放射特性
  • 著者名/発表者名: 東口 武史，鈴木 悠平，川崎 将人，大橋 隼人，中村 大輔，髙橋 昭彦，岡田 龍雄，鳥井 周一，牧村 哲也
  • 学会等名: レーザー学会創立40周年記念学術講演会 第34回年次大会
  • 発表場所: 北九州国際会議場
• [学会発表] 水の窓軟X線光源としての重元素希薄プラズマの放射特性
  • 著者名/発表者名: 大橋 隼人，鈴木 悠平，川崎 将人，荒居 剛己，東口 武史，大谷 幸利，谷田貝 豊彦，鈴木 千尋，村上 泉，田村 直樹，須藤 滋，小池 文博，Gerry O'Sullivan
  • 学会等名: 第61回応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 青山学院大学相模原キャンパス
• [学会発表] 球対称プラズマを用いたBEUV光源データベースの構築
  • 著者名/発表者名: 吉田 健祐，藤岡 慎介，東口 武史，江島 丈雄，錦野 将元，Enda Scally，鈴木 悠平，大橋 隼人，鈴木 千尋，富田 健太郎，廣瀬 僚一，鵜篭 照之，田中 のぞみ，川崎 将人，Gerard O'Sullivan，西村 博明，疇地 宏
  • 学会等名: 第61回応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 青山学院大学相模原キャンパス
• [学会発表] レーザー生成プラズマUTA 放射光源の原子番号依存性
  • 著者名/発表者名: 鈴木悠平，大橋隼人，荒居剛己，東口武史
  • 学会等名: 第61回応用物理学関係連合講演会
  • 発表場所: 青山学院大学相模原キャンパス
• [図書] Extreme Ultraviolet Emission from Multi-Charged State Ions in Potassium Plasmas (2015)
  • 著者名/発表者名: T. Higashiguchi, B. Li, R D'Arcy, P. Dunne and Gerry O'Sullivan
  • 総ページ数: 10
  • 出版者: Royal Society of Chemistry
• [図書] 普及版「EUV光源の開発と応用」 (2013)
  • 著者名/発表者名: 東口 武史，窪寺 昌一
  • 総ページ数: 273
  • 出版者: シーエムシー出版